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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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Α Β Γ Δ Ε Ζ Η Θ Ι Κ Λ Μ Ν Ξ Ο Π Ρ Σ Τ Υ Φ Χ Ψ Ω α β γ δ ε ζ η θ ι κ λ μ ν ξ ο π ρ σ τ υ φ χ ψ ω
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А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я а б в г д е ё ж з и й к л м н о п р с т у ф х ц ч ш щ ъ ы ь э ю я
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§ ※ ☆ ★ ○ ● ◎ ◇ ◆ □ ■ △ ▽ → ← ↑ ↓ ↔ 〓 ◁ ◀ ▷ ▶ ♤ ♠ ♡ ♥ ♧ ♣ ⊙ ◈ ▣ ◐ ◑ ▒ ▤ ▥ ▨ ▧ ▦ ▩ ♨ ☏ ☎ ☜ ☞ † ‡ ↕ ↗ ↙ ↖ ↘ ♭ ♩ ♪ ♬ ㉿ ㈜ № ㏇ ™ ㏂ ㏘ ℡ ＃ ＆ ＊ ＠ ª º
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      진동 실험을 바탕으로 한 정렬 스테이지 등가 모델링

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      https://www.riss.kr/link?id=A100050444

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 스테이지 진동실험
      • 3. 등가 스테이지 모델링
      • 4. 결론
      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 스테이지 진동실험
      • 3. 등가 스테이지 모델링
      • 4. 결론
      • 참고문헌
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      참고문헌 (Reference)

      1 Lee, K. W, "Vibration Analysis of a Nano Imprinting Stage Using CAE" 579-584, 2008

      2 Park, I. S, "Deformation of a Mold for Large Area UV- nanoimprint Lithography in Alignment and Curing Processes" 1939-1943, 2008

      3 이승윤, "CAE를 이용한 Visual Alignment System의 진동해석 연구" 한국소음진동공학회 19 (19): 838-842, 2009

      4 Lee, S. H, "Analysis of Z-axis Displacement for Precision of a Nano Imprinting Stage" 100-, 2008

      5 Lee, J. S, "Analysis of Displacement by External Force of Nano Imprinting Stage" 96-100, 2009

      1 Lee, K. W, "Vibration Analysis of a Nano Imprinting Stage Using CAE" 579-584, 2008

      2 Park, I. S, "Deformation of a Mold for Large Area UV- nanoimprint Lithography in Alignment and Curing Processes" 1939-1943, 2008

      3 이승윤, "CAE를 이용한 Visual Alignment System의 진동해석 연구" 한국소음진동공학회 19 (19): 838-842, 2009

      4 Lee, S. H, "Analysis of Z-axis Displacement for Precision of a Nano Imprinting Stage" 100-, 2008

      5 Lee, J. S, "Analysis of Displacement by External Force of Nano Imprinting Stage" 96-100, 2009

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      2020-01-01 평가 등재학술지 유지 (재인증) KCI등재
      2017-01-01 평가 등재학술지 유지 (계속평가) KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2009-02-05 학회명변경 영문명 : Korean Society For Noise And Vibration Engeering (Ksnve) -> Korean Society for Noise and Vibration Engineering(KSNVE) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2006-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2001-07-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      1999-01-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
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      학술지 인용정보

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      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.28 0.28 0.26
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.25 0.23 0.457 0.05
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