FET형 반도체 마이크로센서 개발(Ⅱ) = Development of FET type semiconductor microsensor(Ⅱ)

국문 초록 (Abstract)

현재 의료진단, 화학공정의 모니터링이나 환경공학적 감시 및 제어 등의 분야에서 사용되고 있는 기존의 센서는 고가이며 용적이 클 뿐만 아니라 분석시간이 길고 사용하기 까다로운 것 등 여러 가지 문제점이 있다. 또한 측정환경에 영향을 주지 않을 만큼 충분히 작으며 빠른 분석시간을 가진 센서를 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 기존의 센서들의 난점을 극복할 수 있는 새로운 형태의 FET형 전해질(electrolyte : H^+, K^+, Ca^2+, Na^+)분석 시스템, 용존가스(O_2, CO_2)분석 시스템의 개발을 중점적으로 추진하며, FET형 압력센서, 습도센서, 방사형 온도센서 등의 개별 FET형 센서에 관한 연구도 병행하고자 한다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Recently various kinds of sensors have been developed, being applicated to their own purpose. There are lots of difficulties to apply them to measurements in which the real-time monitoring is required without disturbing the surrounding environment. FET type semiconductor sensors, fabricated by the semiconductor integration technologies, have many advantages for their miniaturization, standardization, mass-production and in vivo/in situ monitoring. They also hold a very proper configuration for multi-functional sensors or integrated smart sensors, and wide availability by forming various kinds of physical or chemical sensing materials onto their sensing gates.