디지털 홀로그래픽 현미경을 이용한 미소부피 측정 = Sub-Nanoliter Volume Measurement by Using a Digital Holographic Microscope

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Fast sub-nanoliter volume measurement with non-contact are desirable for use in the fabrication of organic light-emitting diodes (OLEDs). We set up a digital holographic microscope (DHM), which included rotating ground glass (RGG), for measuring the liquid volume in sub-nanometer OLEDs. The DHM was based on an interferometric principle that allowed non-contact monitoring. We measured the volume of a dye liquid in the range of sub-picoliters by using the DHM. The DHM method prevents contamination and loss of media. Therefore, the proposed method is well suited for high precision and fast non-contact online monitoring of the dye liquid's volume in the microdispensing process for various applications.

국문 초록 (Abstract)

가간섭 길이를 조절할 수 있는 RGG (rotating ground glass)를 이용한 반사형 디지털 홀로그래피 현미경을 구성하여 유기발광 다이오드 (organic light-emitting diodes, OLEDs) 디스플레이 제작 공정에 사용되는 피코리터 이하의 형광용매 부피를 측정하였다. OLEDs 디스플레이 제작 공정에서 일정한 미소량 형광용매 도포는 필수적이며, RGG를 이용하여 발광 유기용매의 스펙클 잡음을 감소시킴으로서 잡음이 적은 홀로그램을 얻을 수 있어 3차원 형상 측정이 가능하였다. 디지털 홀로그래피 현미경은 비접촉이며, 한 장의 홀로그램 영상으로 3차원 측정이 가능하여 공정에서 실시간으로 이용할 수 있는 장점이 있다.

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