- ABSTRACT
- 1. 서론
- 2. 1자유도계 유압실리더의 감쇠계수
- 3. 유한요소해석
- 4. 해석결과 및 고찰
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2001
Korean
550
학술저널
765-768(4쪽)
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MEMS actuator를 이용한 나노 레벨 웨이퍼 형상 측정