다품종 소량생산 공정을 위한 규칙기반 공정관리 시스템

국문 초록 (Abstract)

다품종 소량생산 공정에서는 동일 특성을 가지는 제품의 제작 개수가 절대적으로 적기 때문에 전통적인 공정제어 기법인 통계적 공정관리(Statistical Process Control)를 적용하기에는 어려움이 많이 존재한다. 그러므로 통계적인 접근법과 아울러 다양한 제품 특성을 규정짓기 위한 다양한 조건의 조합으로 이루어지는 SPEC규칙, 그리고 엔지니어의 경험에 기반한 노하우가 응집되어 있는 KNOWHOW규칙을 유연하게 설정하여 공정을 제어할 수 있는 규칙기반 공정관리 기술의 접목이 필요하다. 본 연구는 다품종 소량생산 공정에 적용 가능한 규칙기반 공정관리(Rule-based Process Control) 시스템을 제안하고, 이 시스템을 실제 반도체 생산공정에 적용하여 그 성과를 검증하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

There have been many problems to apply SPC(Statistical Process Control) which is a traditional process control technology to the process of multi-product, small-sized production because a machine in the process manufactures small numbers, but various kinds of products. Therefore, we need the new process control system that can flexibly control the process by setting up the SPEC rules and the KNOWHOW rules. The SPEC rule contains the combination of diverse conditions to specify the characteristics of various products. The KNOWHOW rule is based on engineers’ know-how. The study suggests the Rule-base Process Control that can be optimized to the multi-product, small-sized production. It was validated in the process of semiconductor production.

목차 (Table of Contents)

• 요약
• Abstract
• 1. 서론
• 2. 관련연구
• 3. 규칙기반 공정관리(RPC, Rule-based Process Control)
• 4. 응용 사례
• 5. 결론 및 향후 연구방향
• 참고문헌

참고문헌 (Reference)

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