TCAD를 이용한 내부 전계 링을 갖는 LDMOST의 항복전압 특성 분석 = Analysis of Breakdown Voltage Characteristics of LDMOST with Internal Field Ring Using TCAD

국문 초록 (Abstract)

내부 전계 링을 갖는 LDMOST는 상대적으로 간단한 공정과 소자 구조를 가지면서도 BV 특성을 크게 향상 시킬 수 있다. 본 논문에서는 내부 전계 링을 갖는 LDMOST에서 내부 전계 링의 파라미터 변화에 따른 BV 특성을 이차원 TCAD 시뮬레이션을 이용하여 분석하였다. 계산에 사용된 내부 전계 링의 파라미터는 링 사이즈, p-well과 링 사이거리, 이온주입 도즈량, 이온주입 에너지이다. 본 연구의 TCAD 시뮬레이션 결과는 내부 전계 링을 갖는 LDMOST의 소자 최적화에 사용될 수 있을 것으로 기대된다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

LDMOST with internal field ring can improve BV characteristics remarkably with relatively simple process and device structure. In this paper, the BV characteristics of LDMOST with internal field ring were analyzed using two dimensional TCAD simulations. The size of the ring, distance between the p-well and the ring, the dose of ion implantation, and the energy of ion implantation were used as parameters of the internal field ring. It is expected that the TCAD simulation results can be used in the device optimization of LDMOST with internal field ring.