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      SCOPUS KCI등재

      Specification of a Software Architecture and Protocols for Automated VLSI Manufacturing System Operation

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      https://www.riss.kr/link?id=A60289962

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      목차 (Table of Contents)

      • 요약
      • Ⅰ. Introduction
      • Ⅱ. The proposed coordination architecture
      • Ⅲ. Specification of lot coordinator
      • Ⅳ. Specification of generic cell controller
      • 요약
      • Ⅰ. Introduction
      • Ⅱ. The proposed coordination architecture
      • Ⅲ. Specification of lot coordinator
      • Ⅳ. Specification of generic cell controller
      • Ⅴ. Conclusion
      • References
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