모바일 디스플레이 박판 유리용 초음파적용 휠 scriber 가공 특성에 관한 연구 = Study on mobile flat panel display thin glass scriber process a characteristic

국문 초록 (Abstract)

영상디스플레이장치로 각광을 받고 있는 평판디스플레이는 상판과 하판에 투명 유리 기판을 사용하고 있다.
이 투명 유리 기판을 정밀 절단하기 위해서는 생산성 측면에서 scriber 6 - head에 균일한 정압 제어와 패널부에 헤드부가 일정한 하중을 주어야만 완전 절단 되는 조건, 정밀 스테이지 비전 측정, 휠 마모 테스트, 대응 가능 fine pitch, 초음파 진동과 scriber wheel을 사용한 절단면을 관찰하여 최적의 가공 조건을 검토하였다.
패널부에 1 kg의 하중을 가하는 UM 타입의 스프링이 성능면에서 우수한 결과를 도출하였다. 정압에 따른 패널부가 받는 하중을 측정한 결과 정압의 범위는 48 kPa ~ 117 kPa가 휠 헤드부의 적절한 정압으로 측정되었다.
스테이지 평탄도 변화량 측정에서는 최대 0.006의 편차가 발생하였으며, 모터 정밀 가공이 스테이지 평탄도에 영향을 주는 것을 확인 하였다.
wheel 교체 시기는 휠 사용 거리가 120 m 이전 100 m ~110 m 적당한 것으로 평가 되었다.
시스템에서 가장 안정적인 피치는 68 mm로 측정 되었고, 기존 시스템을 보완 후 최소피치는 40 mm로 줄일 수 있었다.
초음파 휠 사용 시 주파수는 4 kHz (20 V)에서는 절단속도 200 mm/s에서 우수한 성능을 나타내었다.
따라서, 초음파가 적용된 휠에서 휠의 정압이 48 kPa ~ 117 kPa이고, 휠속도는 200 mm/s, 초음파 주파수 4 kHz(20 V), 휠 교체 시기는 100 m ~110 m 사용 후 교체가 박형 scriber 최적 가공 조건이었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

A flat panel display known as imaging display application utilizes transparent glass substrate on the top and bottom sides. As the aspect of production, put the equal static pressure to scriber with 6-head and head part has to put constant load to panel so as to saw precisely transparent glass substrate. These two conditions set forth above include the measurement of precise stage vision, the wheel abrasion test, fine pitch, ultrasonic vibrations and scriber. The cutting plane was observed by using conditions mentioned above and this inspection the best process condition showed as following below.
UM type spring which is designed to put 1 kgf loading to panel is shown outstanding performance. As a result of the test to gauge a load to panel, the appropriate static pressure to wheel head is between 48 kPa and 117 kPa.
The max 0.006 deviation is determined at the test of stage flatness variation and micro manufacturing technology of motor is identified to affect stage flatness. Wheel replacement life is suitable between 100 m and 110 m less than 120 m prior to used wheel range. The most stable pitch on the system is measured 68 mm and the minimum pitch was able to be lowered after improving the existing system. As using ultrasonic waves wheel, frequency and cutting speed was shown excellent performance at 4 kHz (20 V) and 200 mm/s, respectively.
Therefore, the optimum process condition for of thin scriber that as using ultrasonic waves wheel, voltage, speed, frequency, and change frequency of wheel was 48 ~117 kPa, 200 mm/s, 4 kHz (20 v), and 100 ~ 110m, respectively.

목차 (Table of Contents)

• 제1장 서론 3
• 제1절 연구의 배경 3
• 제2장 이론적 배경 7
• 제1절 유리 기판의 종류 및 특성 7
• 제2절 유리 기판 절단 가공 방법 14
• 제3절 스크라이버 휠 특성 21
• 제3장 실험 방법 26
• 제1절 실험 기구의 준비 26
• 1. 멀티 스크라이버 H/W 특성 27
• 제2절 휠 압력 제어 시스템의 구성 40
• 제3절 초음파 진동 시스템의 구성 42
• 제4장 실험 결과 및 고찰 44
• 제1절 헤드부 상태에 따른 압력 실험 44
• 제2절 정밀 위치 제어 실험 52
• 제3절 휠 마모 실험 62
• 제4절 미세 피치 실험 67
• 제5절 초음파 진동 실험 72
• 제5장 결론 86
• 제6장 참고문헌 88
• 부록 90
• ABSTRACT 124