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Finite Element Analysis and Fabrication of a 3 MHz Megasonic System for Semiconductor Cleaning
김현세, 임의수,이양래 한국생산제조학회 2022 p.147-153
Gui-Lin Zhang, 염윤택,김선규,조영태,우용득,임광희 한국생산제조학회 2022 p.154-161