수직온도구배 성장 공법을 적용한 갈륨비소 잉곳 성장 기술 연구 = A Study on GaAs Ingot Growth Technique Applied to VGF(Vertical gradient freeze) Growth Method

국문 초록 (Abstract)

항공기 및 우주 구조물에 갈륨비소 기판은 다양하게 적용된다. 본 연구에서 온도 제어기술을 활용하여 수치해석을 통해 4인치 이상의 대구경 갈륨비소 잉곳의 성장에 관한 기술을 제시하였다. 본 연구를 통해 온도 시뮬레이션 기술을 기반으로 다양한 온도 변화와 주위 환경의 변화에 따른 제작 기술을 확보하였다. 잉곳 기술 개발을 통하여 편차가 작은 특성 결과를 도출하여 향후 적용 가능성을 최대화 하였다.

참고문헌 (Reference)

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