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Fu, C. C.; Michel, B. Springer Science + Business Media 2013 p.299
Kido, H.; Kuroki, T.; Okubo, M.; Utsumi, Y. Springer Science + Business Media 2013 p.301-307
Fabrication of high precision microstructure using ICP etching for capacitive inclination sensor
Noda, D.; Kuboyama, Y.; Hattori, T. Springer Science + Business Media 2013 p.309-313
Fabrication of glass-like carbon molds to imprint on glass materials by MEMS processing technologies
Mekaru, H.; Okuyama, C.; Ueno, A. Springer Science + Business Media 2013 p.315-323
Effect of buffer materials on thermal imprint on plastic optical fiber
Mekaru, H.; Ohtomo, A.; Takagi, H. Springer Science + Business Media 2013 p.325-333
3D deep X-ray lithography for producing a multi-channel Fourier transform interferometer
Heussler, S. P.; Moser, H. O.; Kalaiselvi, S. M. Springer Science + Business Media 2013 p.335-341
Manufacture of a micro-sized piezoelectric ceramic structure using a sacrificial polymer mold insert
Kim, J. H.; Choi, S. Y.; Jeon, J. H.; Lim, G.; Chang, S. S. Springer Science + Business Media 2013 p.343-349
Horade, M.; Sugiyama, S. Springer Science + Business Media 2013 p.351-356
Influence of developer temperature on the shape of structures fabricated by deep X-ray lithography
Horade, M.; Sugiyama, S. Springer Science + Business Media 2013 p.357-362
Deposition property investigation of a focused ion beam for a high-aspect-ratio metal tip
Choi, D. K.; Lee, S. H. Springer Science + Business Media 2013 p.363-370
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