SiH₄와 CO₂ 레이저빔을 이용한 실리콘 나노입자 합성공정의 반응영역 에너지 특성에 관한 연구 = Study on the Energy Properties of Reaction Zone during Silicon Nanoparticle Synthesis Process using SiH₄ and CO₂ Laser Beam

목차 (Table of Contents)

• □ 표 목 차 ⅰ
• □ 그 림 목 차 ⅱ
• □ 기 호 설 명 ⅲ
• I 서론 1
• 1. 레이저를 이용한 실리콘 나노입자의 생산 1
• 2. 연구 목적 2
• II 실험 및 결과 분석4
• 1. 실란의 에너지 흡수와 분해4
• 2. 실험 방법 6
• 2.1 실험 장치 구성6
• 2.2. 실리콘 나노입자 합성 실험 7
• 2.2.1. 리액터 압력 변수에 따른 반응 실험 9
• 2.2.2. 레이저 출력 변수에 따른 반응 실험 14
• 2.2.3. 실란 유량 변수에 따른 반응 실험 20
• 2.3. 측정 결과 분석 26
• III 결론 31
• □ 참고문헌 33
• □ Abstract 36