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Gronheid, R. ; Pret, A.V. ; Rathsack, B. ; Hooge, J. ; Scheer, S. ; Nafus, K. ; Shite, H. ; Kitano, J.
2011년
eng
1932-5150
1932-5134
SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF MICRO NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
013017 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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