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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      CVD에 의한 TiC 증착 = Deposition of TiC by CVD

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      https://www.riss.kr/link?id=A2089613

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      국문 초록 (Abstract)

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      영어
      CVD방법에 의하여 공구강 위에 TiC를 증착하였다. 그 결과 성장율은 성장시간, C와 Ti의 몰비?에 따라 선형적으로 증가하였고 TiCl₄와 CH₄의 총유량이 140cc/min이하일때는 성장율이 우량에 선형적으로 증가하였다.
      한편 X-ray측정 결과 mc/T1≤1.25에서 증착한 시료는 (200) 결정면의 성장이 강하게 나타났으며, mc/T1≥1.25에서 증착한 시료는 (111)면의 성장이 우세하게 나타남을 알았다.
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      CVD방법에 의하여 공구강 위에 TiC를 증착하였다. 그 결과 성장율은 성장시간, C와 Ti의 몰비?에 따라 선형적으로 증가하였고 TiCl₄와 CH₄의 총유량이 140cc/min이하일때는 성장율이 우량에 선형...

      CVD방법에 의하여 공구강 위에 TiC를 증착하였다. 그 결과 성장율은 성장시간, C와 Ti의 몰비?에 따라 선형적으로 증가하였고 TiCl₄와 CH₄의 총유량이 140cc/min이하일때는 성장율이 우량에 선형적으로 증가하였다.
      한편 X-ray측정 결과 mc/T1≤1.25에서 증착한 시료는 (200) 결정면의 성장이 강하게 나타났으며, mc/T1≥1.25에서 증착한 시료는 (111)면의 성장이 우세하게 나타남을 알았다.

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

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      We deposited TiC on tool steel by CVD method. The growth rate was increased linearly as an increasing time, mc/T1 and total flow rate of TiCl₄ and CH₄ below 140cc/min.. X-ray spectra reveal that the specimen deposited with mc/T1≤1.25 has (200) preferred orientation, (111) perferred orientation above mc/T1=1.25.
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      We deposited TiC on tool steel by CVD method. The growth rate was increased linearly as an increasing time, mc/T1 and total flow rate of TiCl₄ and CH₄ below 140cc/min.. X-ray spectra reveal that the specimen deposited with mc/T1≤1.25 has (200) p...

      We deposited TiC on tool steel by CVD method. The growth rate was increased linearly as an increasing time, mc/T1 and total flow rate of TiCl₄ and CH₄ below 140cc/min.. X-ray spectra reveal that the specimen deposited with mc/T1≤1.25 has (200) preferred orientation, (111) perferred orientation above mc/T1=1.25.

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