초음파를 활용한 TFT-LCD용 대기 로봇 감속기의 성능 평가

국문 초록 (Abstract)

TFT-LCD 를 생산하는 공장 구조물에는 C/R(Clean Room) 이 있으며, C/R 내에는 각 생산 공정의 특성에 맞는 정밀장비가 설치되어 있다. TFT-LCD 생산공정은 TFT 및 Color Filter(C/F) 기판 공정과 Cell 공정이 있으며, Cell 공정 이후 TFT-LCD 모듈을 완성하는 모듈 공정이 있다. 각 공정별 정밀장비는 다양한 부품으로 구성되어 있다. 특히 ATM(Atmosphere) Robot 의 경우는 각 공정마다 있는 공통 장비로서 4 축 관절 및 다관절 로봇으로 구분되며, 감속기는 각 축을 이루는 핵심 부품이다. 이러한 감속기의 열화가 진행됨에 따라 로봇의 정상운용에 문제가 발생되며, 품질문제를 유발하기도 한다. 본 논문에서는 TFT-LCD C/R 내 ATM Robot 의 감속기에 대해 초음파를 활용한 성능 평가를 하였고, 확인된 결과를 자사 생산 설비에 실제 적용 하였으며, 적용 결과 감속기에 의한 ATM 로봇의 고장이 감소됨을 확인하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Structures to produce TFT-LCD factory in the C/R (Clean Room) has, C/R within the precision of each production process according to the characteristics of the equipment is installed. TFT-LCD production process has TFT, Color Filter (C/F) and Cell process. After Cell process is completed, TFT-LCD process has the module process. Each process is composed of various parts of precision equipment. In particular ATM (Atmosphere) Robot in the case of common equipment for each process as a four-axis articulated robot joints and is divided into each axis of gear is a key component. Depending on the progress of the degradation of the speed reducer of the normal operation of the robot problems, and may cause problems to the quality. In this paper, TFT-LCD C/R of the gear for my ATM Robot Using Ultrasonic evaluation of performance were identified and their results were actually applied in production facilities, applying the result of gear failure due to decreased ATM robot confirmed was.

목차 (Table of Contents)

• 초록
• Abstract
• 1. 서론
• 2. ATM Robot 구성 및 감속기 종류
• 3. 평가 방법
• 4. 평가 결과
• 5. 결론
• 참고문헌