태양전지용 실리콘 웨이퍼를 위한 레이저산란 검사 메커니즘 설계 및 실험계획법 기반 레이저산란 매개변수의 선정

국문 초록 (Abstract)

본 논문에서는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 표면을 검사하기 위하여 레이저산란 메커니즘을 기반으로 매개변수를 선정하고, 레이저산란 패턴을 분석하였다. 우선, 광산란 속성과 영향인자를 조사하여 매개변수를 분석하고, 제어 가능한 주요인자의 상관관계를 고려하여 단일 암시야 레이저산란 검사 메커니즘을 설계하였다. 이를 기반으로 마이크로 결함이 있는 웨이퍼 표면과 없는 표면에서 실험을 수행한 결과 결함 표면에서 약 37%정도 산란광 성분이 증가함을 보였다. 또한 다양한 형태의 마이크로 결함에 대한 강건하고 고품질의 레이저산란 영상을 얻기 위해 실험계획법을 적용하여 매개변수들의 최적조건을 선정하였다. 선정된 매개변수들을 적용하여 레이저산란 패턴을 분석한 결과 결함의 크기가 커지면서 산란광 성분이 선형적으로 증가하였고, 결함의 깊이가 광편향에 지배적인 영향을 미치는 것을 확인하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this paper, parameters of laser scattering based on a novel mechanism are selected and laser scattering patterns have been analyzed for surface inspection of silicon wafer in solar cell. First of all, scattering parameters are identified through the detail investigation of light scattering attributes and scattering influence factors. Then, dark-field laser scattering inspection mechanism is designed by considering the correlation of the primary factors. As a result of experiments with this mechanism, scattered lights are increased approximately 37% in wafer surface with micro defects, in comparison to no micro ones. In addition, optimum parameters using the design of experiment are selected for obtaining robust and high quality laser scattering images against micro defects of various shapes. It is shown that scattered light components are linearly increased according to the increase of micro defect sizes, and the depth of micro￢defects give a large influence on optical deflection.

목차 (Table of Contents)

• 초록
• Abstract
• 1. 서론
• 2. 광산란 속성
• 3. 레이저산란 검사 메커니즘
• 4. 레이저산란 매개변수의 최적조건
• 5. 결론
• 후기
• 참고문헌