- 요약
- Abstract
- 1. 서론
- 2. 습식 식각에 의한 실리콘 팁 어래이의 형성
- 3. 실리콘 팁을 갖는 전계 방출 소자 어래이의 제조
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1995
Korean
학술저널
1241-1245(5쪽)
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다층 및 불균일 SiON 박막을 이용한 광간섭필터의 설계, 제작 및 평판디스플레이에의 응용