1 방진혁, "힘 및 변위 감지기구를 적용한 초정밀 가공시스템 개발" 한국정밀공학회 22 (22): 42-50, 2005
2 이성환, "음향방출과 다구찌 방법을 이용한 나노머시닝 가공조건의 최적화" 한국정밀공학회 21 (21): 163-170, 2004
3 신관우, "나노 박막의 표면분석을 위한 열중성자 기반 수평형 반사율장치의 몬테카를로 시뮬레이션" 한국진공학회 14 (14): 119-125, 2005
4 Ando, M., "Multiple-Imaging Charged Particle-Beam Exposure System"
5 Gerlach, R. L., "Multi-Column Fib for Nano fabrication Applications"
6 Principe, E., "Method and Apparatus for Quantitative Three-Dimensional Reconstruction in Scanning Electron Microscopy"
7 Aita, K., "Focused Ion Beam apparatus"
8 최헌종, "FIB를 이용한 마이크로 플라즈마 전극 개발" 한국정밀공학회 22 (22): 175-180, 2005
9 Yasuda, H., "Electron Beam Exposure Method and Electron Beam Exposure Apparatus"
10 박정우, "AFM 기반 Tribo-Nanolithography를 위한 초미세 다이아몬드 팁 켄틸레버의 제작" 한국정밀공학회 23 (23): 39-46, 2006
1 방진혁, "힘 및 변위 감지기구를 적용한 초정밀 가공시스템 개발" 한국정밀공학회 22 (22): 42-50, 2005
2 이성환, "음향방출과 다구찌 방법을 이용한 나노머시닝 가공조건의 최적화" 한국정밀공학회 21 (21): 163-170, 2004
3 신관우, "나노 박막의 표면분석을 위한 열중성자 기반 수평형 반사율장치의 몬테카를로 시뮬레이션" 한국진공학회 14 (14): 119-125, 2005
4 Ando, M., "Multiple-Imaging Charged Particle-Beam Exposure System"
5 Gerlach, R. L., "Multi-Column Fib for Nano fabrication Applications"
6 Principe, E., "Method and Apparatus for Quantitative Three-Dimensional Reconstruction in Scanning Electron Microscopy"
7 Aita, K., "Focused Ion Beam apparatus"
8 최헌종, "FIB를 이용한 마이크로 플라즈마 전극 개발" 한국정밀공학회 22 (22): 175-180, 2005
9 Yasuda, H., "Electron Beam Exposure Method and Electron Beam Exposure Apparatus"
10 박정우, "AFM 기반 Tribo-Nanolithography를 위한 초미세 다이아몬드 팁 켄틸레버의 제작" 한국정밀공학회 23 (23): 39-46, 2006
11 Moon, J. I., "A Study on the Cutting Conditions in Machining for Nanometer Surface" 15 (15): 152-157, 1998