폴리머 애자 코팅을 위한 스퍼터링 되어진 TiO₂ 박막의 특성|RISS 상세보기

국문 초록 (Abstract)

본 연구에서는 폴리머 애자의 자가세정 코팅을 위한 소재로써 TiO₂ 박막을 실리콘과 유리, 폴리머애자 기판위에 증착하였다. TiO₂ 박막은 TiO₂ 세라믹 타겟이 부착된 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 증착하였다. TiO₂ 박막은 스퍼터링의 다양한 공정조건 중 RF 파워의 크기에 따라 100 ㎚의 두께로 증착하였다. RF 파워에 따라 증착되어진 TiO₂ 박막의 접촉각, 표면거칠기등 표면 특성을 확인하였으며, UV-visible등 광학적 특성을 고찰하여, 구조적 특성과의 관계를 고찰하였다.

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본 연구에서는 폴리머 애자의 자가세정 코팅을 위한 소재로써 TiO₂ 박막을 실리콘과 유리, 폴리머애자 기판위에 증착하였다. TiO₂ 박막은 TiO₂ 세라믹 타겟이 부착된 RF 마그네트론 스퍼터...

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this work, we have fabricated the TiO₂ thin films on Si and glass, polymer insulator substrates as the self-cleaning coating of polymer insulator. TiO₂ films were deposited by RF magnetron sputtering method with TiO₂ ceramic target and TiO₂ films of 100 ㎚ thickness were fabricated with various RF powers. We have investigated the optical and surface, and structural properties of TiO₂ films prepared with various RF powers. As a result, the value of the contact angle of TiO₂ thin film is increased with increasing RF power and the value of the rms surface roughness is increased. The transmittance is decreased with increasing RF power. These results indicate that the variation of the surface and optical properties of TiO₂ thin films is related to the sputtering effects by increasing RF power.

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