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GaAs 기판표면의 Tilt각도가 InGaP 에피막의 탄성특성 및 결정질에 미치는 영향
이종원, 이철로,김창수,오명석,임성욱 한국마이크로전자및패키징학회 1999 p.1-10
Hong, Chang-Bae, Lee, Kyoung-Ho The Korean Microelectronics and Packaging Society 1999 p.11-21
주병권, 이상조,박재석,이윤희,전동렬,오명환 한국마이크로전자및패키징학회 1999 p.65-73
염소 플라즈마를 이용한 알루미늄 식각 공정이 저유전상수 층간절연막 polyimide에 미치는 영향
문호성, 김상훈,이홍구,우상균,김경석,안진호 한국마이크로전자및패키징학회 1999 p.75-79
Micromachining을 이용한 초소형 자왜 센서 제작공정 연구
김경석, 고중규,임승택,박성영,이승윤,안진호 한국마이크로전자및패키징학회 1999 p.81-89