- 1. 서론
- 2. 대 면적 검사의 필요성
- 3. 실험 및 결과
- 4. 결론
- 후기
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2006
Korean
550
학술저널
9-10(2쪽)
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LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발
LCD glass 위의 Pole 높이 측정을 위한 백색광 간섭계 개발