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- 저자 : 정희숙 (검색결과 207 건)
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정희숙,송형운 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.1
극한환경 하에서 초고온 핵심부품의 내구성을 향상시키기 위해 내열, 내산화, 내부식 등의 한계를 극복하는 것이 필요하다. 이를 위해 부품의 소재에 대한 많은 연구들이 이루어지고 있다. 그러나 부품의 소재를 전부 교체하기에는 내구성이 뛰어난 소재는 가격적인 면에서 경쟁력이 떨어지기 때문에 모재에 코팅이나 클래딩을 이용하여 내구성을 향상시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 전자산업공정에서 사용하는 스크러버 내의 초고온 환경 하에 챔버는 고내구성을 요하기 때문에 이러한 코팅층의 최적화가 매우 중요하다. 그러나 소재에 따라 코팅재와 모재의 열팽창계수가 다르기 때문에 코팅층의 균열이나 박리현상이 일어나서 더 큰 열응력이 발생 할 수 있다. 본 연구에서는 고속화염 용사 니켈 합금 코팅을 적용한 챔버 코팅층의 열응력 해석을 통해 코팅층 최적조건을 도출하고자 한다.
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니켈합금 열용사 코팅을 적용한 반도체 스크러버 챔버의 내구성 평가
정희숙,송형운 한국공업화학회 2016 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2016 No.1
반도체 제조공정에서 사용하는 스크러버 내의 챔버는 내식성을 요하며 이에 대한 많은 연구들이 이루어지고 있다. 그러나 내식성이 뛰어난 소재로 부품 전체를 교체하기에는 가격적인 면에서 경쟁력이 떨어지기 때문에 모재에 코팅이나 클래딩을 이용하여 내구성을 향상시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 따라서 본 연구에서는 부품의 내구성 및 수명을 향상시키기 위해 니켈합금을 코팅재로 적용한 코팅시편을 제작하여 고온과 HF가스의 극한 환경 하에서의 내구성을 평가하였다.
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수소 융복합스테이션 적용을 위한 고내구성 건식개질 촉매 대용량 제조 및 활성 향상 연구
정희숙,전동환,송형운,엄성현 한국공업화학회 2019 한국공업화학회 연구논문 초록집 Vol.2019 No.1
연간 바이오가스 총 생산량 중 발전 등으로 활용되지 못하고 방출되거나 연소되는 양은 20%가 넘는 수준으로 이러한 미활용 바이오가스를 수소생산에 활용한다면 1,380톤의 수소 생산이 가능하며 이것은 대략 수소버스 55,000대를 충전할 수 있는 용량이다. 메탄의 건식 개질 반응은 메탄과 이산화탄소의 반응으로 온실가스인 이산화탄소를 연료로 활용할 수 있다는 장점 이외에도 바이오가스의 고질화 공정을 생략할 수 있는 매력적인 공정이다. 하지만, 열역학적으로 탄소 생성에 관련한 화학반응들이 증가하기 때문에 내구성이 확보된 고활성 촉매 개발은 기술적 난이도가 매우 높다. 본 연구에서는 페롭스카이트 구조 바륨지르코네이트 위에 니켈 촉매를 건식 코팅함으로써 고내구성 건식 개질촉매를 제조하였다. 특히 바륨지르코네이트를 사출성형하여 톱니형 구조체를 제조하고 니켈 전구체를 건식코팅하는 방식으로 촉매를 제조함으로써 실제 환경에 효과적으로 적용할 수 있는 촉매 제조 공정을 완성하였다.
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