중학생의 부모-자녀 의사소통과 또래관계기술의 관계에서 공감의 매개효과

심연숙 전주대학교 대학원 2016 국내석사

障碍人 便宜施設의 改善方案에 關한 硏究 : 光州廣域市를 中心으로

전주섭 전남대학교 행정대학원 2000 국내석사

인간의 존엄성의 입장에서 지난 100여년간은 여성과 아동, 노약자 그리고 장애인과 같은 소외 계층의 권익 신장과 이들을 위한 제도적인 장치 마련으로 많은 변화가 있었던 시기였다. 물론 소외받던 계층들이 아직 완전히 사회통합적인 복지 증진이라는 틀 안에서 그들의 삶을 영위하고 있는 것은 아니지만, 국가를 비롯한 사회 각 분야에서 지속적인 관심과 의식 변화를 경험하고 있는 것은 사실이다. 본 연구의 주요 대상인 장애인에 대한 사회적인 인식이나 제도적인 장치도 최근 들어 가시적인 발전을 이루고 있다. 이런 맥락에서 본 연구는 사회 구성원으로서 장애인이 편리하고 원활한 사회생활을 할 수 있도록 하는 장애인 편의시설에 대한 전체적인 조명을 시도하였다. 본 연구는 이런 입장에서 장애인 복지에 대한 낙관적인 시각으로 우리나라 특히 광주광역시의 장애인과 장애인 편의시설 현황에 대해 분석코자 했다. 장애인의 사회통합적인 복지 증진이라는 궁극적인 목표를 달성하기 위해, 본 연구에서는 크게 물리적 측면, 행정과 제도적 측면, 사회 문화적 측면으로 접근을 시도하였다. 먼저, 물리적 시설물로서 장애인 편의시설이 갖는 양적·질적 상태를 점검하여, 장애인 이용자들을 위주로 한 시설물 설치의 당위성과 장애인 이용자들의 수요를 만족해 줄 수 있는 기술적인 설계 방향을 제시코자 했다. 다음으로 행정과 제도적인 측면에서, 장애인에 대한 접근이 더 이상 가외적 시각에서 이루어져서는 안될 것과 사회 필수 시설로서 편의시설이 다루어져야 할 것을 강조했다. 장애인 편의시설은 장애인 뿐만 아니라 사회 구성원 모두가 편리하게 이용할 수 있는 시설물로서 다루어져야 한다는 것이다. 그리고 제도적 장치나 행정 조직의 한계를 극복할 수 있도록 보다 다양하고 전문화된 조직 운영과 관리가 뒷받침될 것을 강조했다. 끝으로 위에서 언급한 내용과 같이 사회 전체적인 환경이나 문화적인 흐름에있어서 장애인에 대한 차별이나 특혜가 아닌 동등한 사회 구성원으로서 그들을 바라볼 수 있는 그리고 이들이 더불어 함께 사는데 어려움이 없는 사회적인 분위기가 조성되어야 한다는 것을 강조코자 했다. 특히 이러한 모든 접근들이 광주광역시라는 지역 사회에 있어서 자율적이고 주체적으로 이루어질 수 있도록 장애인과 장애인 편의시설에 대한 이 지역의 현황과 문제점을 분석하는데 심여를 기울였다. 그리고 이러한 진단을 통해 보다 나은 개선방안을 도출코자 했다. 본 연구는 추진과정에서 연구의 주요 방법이었던 문헌과 자료 수집에 있어 아직은 구체화되지 않고 전문화되지 않은 장애인 편의시설 분야의 제도적인 한계로 인해 보다 명확한 접근을 시도하는데 한계가 있었음을 밝힌다. 장애인이 불편 없이 대등하게 삶의 질을 향유하고, 자유로운 사회 참여를 할 수 있을 때 진정한 사회 구성원으로 그들이 통합되는 것이다. 사회적 특혜의 대상으로 또는 가외적 대상으로 존재할 때, 진정한 장애인 사회통합적 복지는 이루어질 수 없는 것이다. 장애인을 비롯한 소외된 이들의 사회 통합적인 공동체 형성을 위해 사회 각 분야에서 지속적이고 체계적인 변화와 개선의 몸짓을 생활화 할 때, '우리'라는 대등한 사회적 관계가 형성될 수 있을 것으로 희망한다. We have witnessed, in the last 100-year period, a variety of changes in rights and institutions of the alienated people, such as women, children, the elderly and the handicapped, which are based on the concept of human dignity. It's a matter of course that they are not relishing their own lives at a full tilt, despite the orientation of society as a whole towards 'welfare enhancement' , full of social integration with the able people. However, we cannot deny the reality that fast and deep interest and mentality, from all works of life, for the alienated, are set in by degrees. In particular, the visible developments, up to date, have been put on stone, in terms of social recognition and institutional instruments of the incapacitated, which is the main focus of this paper. In this line, this study tries to shed lights on use facilities for the disabled. Those facilities are intended to provide them with convenient and useful life in society. This study, on top of that, aims at analyzing the current situation of the disabled and their facilities in Gwangju City with a rosy perspective. This study, to the effects of attaining the ultimate goal, 'socio-integration welfare enhancement', approached the subject with three dimensions; physical, administrative and institutional and socio-cultural ones. First, this study investigates the facility's status quo, as physical facilities, in quantity and quality terms, in order to suggest a direction of technical designs, fulfilling installing legitimacy and needs of the disabled. Second, this paper puts an emphasis on, in terms of public management and institution, the significance that the handicapped should not be the object in darkness, thus use facilities being the indispensible ones. Further, various and professional management and operation should be introduced, so as to overcome the limits of institutional instrument and administrative organization. Lastly, new societal environs are needed to get along with, whether being the able or the disabled, in the social environments and cultural flows aforementioned. Especially, these inputs are created by keeping mind a local community, for instance, Gwangju City. This study has many loopholes and limits itself though, particularly in the methodology, referring to texts and collecting data. This lies, partly, in the institutional limitations ; use facility arena, unspecified and unspecialized by far. When the disabled enjoy their life equally and take part in social activities freely, they will be integrated to true social members. If they exist as objects for social preference, the disabled welfare for integration cannot be achieved. To establish the integrated community for the alienated people including the disabled, changes on every parts and improvement should be continued systematically, so that it leads to the equal social relationship of 'We'.

Characteristics of Linear 2.45GHz Microwave PECVD System with TE-TEM Mode Power Coupling

한문기 부산대학교 대학원 2016 국내박사

산업전반에 걸쳐 신뢰가 높고 안정적으로 동작되며 플라즈마 균일도가 높은 대면적 증착이 가능한 PECVD 장치에 대한 관심이 높아지고 있다. 특히 마이크로웨이브 플라즈마는 기존의 RF 플라즈마보다 구성 시스템이 간단하고 저진공에도 높은 플라즈마 밀도 형성이 가능하며, 전극 없이도 플라즈마가 발생하므로 부식성 기체를 사용하는 공정에 유리한 장점이 있어, 마이크로웨이브 플라즈마에 대해 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 TE-TEM 파워커플링을 통한 선형 초고주파 마이크로 웨이브 PECVD 장치를 개발하여 쿼츠 튜브 표면에서 발생되는 플라즈마의 기본특성 연구 및 응용연구를 진행하였다. 관내 파장의 1/4 또는 3/4지점에 안테나를 설치하면 안정적인 파워 커플링이 이루어지며 낮은 파워에도 Quartz Tube 표면에 2~3 x 1017m-3 정도의 플라즈마가 형성되며, standing wave 형태로 전기장이 형성되는 것을 확인하였다. 선형 초고주파 플라즈마는 쿼츠튜브를 따라 플라즈마 밀도가 낮아지는 단점이 있으나, 본 연구에서 제작된 길이 500mm 시스템에서는 1개의 마이크로웨이브 파워 소스만으로도 쿼츠 튜브 표면에서 30mm 이상 되는 지점에서 비교적 균일한 플라즈마가 형성되는 것을 확인하였다. 압력과 파워가 높아지는 경우 표면에 플라즈마가 높게 형성되어 마이크로웨이브가 벌크 플라즈마로 파워가 전달되기가 어려우므로 임계 밀도 이상에서는 자장을 이용하여 쿼츠 튜브 표면에서 높게 발생되는 플라즈마를 확산시켜 벌크 플라즈마에 파워가 잘 전달될수 있도록 개선이 필요한 것으로 판단된다. 이러한 기본 연구를 토대로 선형 초고주파의 균일도를 개선하기 위한 안테나 가이드가 제안되었다. 여러종의 가스를 사용할 경우 낮은 파워에서는 플라즈마 형성이 어렵지만, 안테나 가이드를 사용할 경우 낮은 파워에도 플라즈마가 넓게 형성되는 것을 확인하였다. 본 연구에서 개발된 선형초고주파 PECVD를 이용하여 몰드로 이용되는 기판의 내구성 및 소수성 특성을 높이기 위해 비정질 카본 필름 또는 비정질 플루오르 카본 필름을 증착하였고 필름의 기계적, 화학적 특성평가를 진행하였다. 선형 초고주파 PECVD를 이용하여 기존 몰드 기판 재질보다 내마모성이 우수하고, 소수성 특성이 좋은 비정질 카본 필름(a-C:H film)이 만들어짐을 확인하였다. 1개의 마이크로웨이브 소스만으로도 340mm 기판에서 박막이 균일하게 형성되었다. 플루오린을 도핑함으로써 비정질 카본 필름의 소수성 및 내마모성을 평가하였다. Ar/CH4/CF4를 혼합하여 플루오르 카본 필름 증착시 소수성은 증가하였으나 F에 의한 C-C bond 의 cross-linking 이 줄어들어 경도가 감소하였다. 비정질 카본 필름 표면을 CF4 가스로 표면처리할 경우 기존의 비정질 카본 필름이 가진 경도를 유지하면서 소수성 특성이 많이 개선됨을 확인하였다. 이와 같이 선형 마이크로웨이브 장치를 통하여 우수한 막질이 형성됨을 확인하였고 향후 Roll to Roll 공정 기법에 선형 초고주파 마이크로웨이브 PECVD 장치가 널리 활용될 것으로 기대된다.

Diagnostics and Simulation Study on the Magnetized Inductively Coupled Plasma for Large Area Processing

손의정 부산대학교 대학원 2019 국내박사

The characteristics of magnetized inductively coupled plasma were analyzed through experiments and simulations. The electromagnetic wave simulation was performed depending on the external magnetic field and direction, the reliability of the cutoff probe was experimentally confirmed in various conditions. In the present system, the same cutoff frequency was measured in the case of E∥B_0 and E⊥B_0 due to relatively weak external magnetic field. And, the fluid simulation was performed in terms of plasma uniformity optimization depending on the aspect ratio in experimentally impossible conditions. A lower aspect ratio is advantageous in terms of plasma uniformity. However, if it is lower than aspect ratio 0.25, the plasma uniformity can be negatively affected because the electron density distribution changes to M-shape. When designing the chamber, not only the aspect ratio of the chamber but also the surface area versus volume must be considered due to the discrepancy of the tendency in plasma characteristics. In addition, when the pressure is low and the aspect ratio is high, the effect of the external magnetic field was maximized. When segmented metal windows were applied, the changed tendency and characteristics were confirmed compared to the existing dielectric windows ICP. The segmented metal windows ICP is not good in terms of matching stability because of the low efficiency and high Q-value. However, the windows thickness can be reduced about half compared to the general ICP. In addition, the capacitive coupling can be reduced by using windows of faraday shield type and uniform gas feeding system can be designed by using metal frame.

Effects of Process Parameters on the Plasma Chemistry of N2/NH3/SiH4 and Ar/H2 Inductively Coupled Plasma

서권상 부산대학교 대학원 2019 국내박사

In this study, the variation of the plasma chemistry for various conditions were analyzed by using fluid simulation. First, the effects of process parameters such as pressure and gas mixture ratio on the ion and neutral gas density in a large area N2/NH3/SiH4 inductively coupled plasma source was analyzed. It has been found that the density of specific ions and neutral gases can be controlled by controlling the pressure and gas mixture ratio. A dual power driven has been proposed to improve the uniformity at high pressure conditions. Plasma chemistry variations in the Ar/H2 inductively coupled plasma source were observed by pulse modulation driving. By controlling the input power in the form of pulses, various changes in plasma chemistry occurred in afterglow. The variations in ion density during the plasma on-off time were different depending on which reaction was dominant. We observed how plasma chemistry variations through process variables such as mixed gas ratio, duty cycle, and pulse frequency. Finally, the effect of neutral gas temperature on the plasma chemistry in Ar/H2 inductively coupled plasma was analyzed. Since the neutral gas density is affected by the neutral gas temperature, effects of the neutral gas temperature on plasma were analyzed. 본 연구에서는 유체 시뮬레이션을 이용하여 다양한 조건에 대한 플라즈마 화학의 변화에 대한 분석을 하였다. 먼저, 대면적 N2/NH3/SiH4 유도 결합형 플라즈마 소스에서 압력 및 혼합 가스 비율이 이온과 중성 기체 밀도에 미치는 영향을 분석하였다. 압력과 혼합 가스의 비율을 조절하여 특정 이온 및 중성 기체의 밀도를 제어할 수 있다는 것이 밝혀졌다. 압력 증가시 문제가 되는 균일도를 개선하기 위한 이중 파워 구동이 제안되었다. Ar/H2 유도 결합 플라즈마 소스에서 펄스 변조 구동을 통한 플라즈마 화학 변화를 관찰하였다. 입력 파워를 펄스 형태로 제어함으로써 Afterglow에서 발생되는 다양한 플라즈마 화학의 변화가 관찰되었다. 어떤 반응에 의한 생성이 지배적인가에 따라 플라즈마 on-off 시간 동안 이온 밀도 변화가 다르게 나타났다. 혼합 가스 비율, duty cycle, 펄스 주파수등의 공정 변수를 통해 플라즈마 화학이 어떻게 변하는지 관찰하였다. 마지막으로 Ar/H2 유도 결합 플라즈마에서 중성 기체의 온도가 플라즈마 화학에 어떠한 영향을 주는지에 대한 분석을 하였다. 중성 기체 밀도는 중성 기체 온도에 따라 변하므로 이로 인해 플라즈마에 미치는 영향에 대해 분석하였다.

Development of an over-excitation protection method to prevent black-out at marine electric system

조경신 부산대학교 산업대학원 2014 국내석사

용량결합형 플라즈마에서의 유전체 기판 표면 전위분포 연구

윤용수 부산대학교 대학원 2016 국내석사

There are several problems, micro arc discharges, remaining static electricity in cleaning, dry etching and sputtering process which use plasma. These problems causing breakdown of process materials and damage to electric device can increase fraction defective. Accumulation of charges that ease in relatively long time on substrate surface make remaining static electricity observed well at surface of dielectric substrate used for the insulation purpose. In this study, we measured electric potential profile transiting in time of substrate surface in capacitively coupled plasma source chamber structured cylinderical parallel-plates electrode. In similar and smaller geometry, Fluid simulation is conducted to compare with measurement. Consequentially, The remaining time, sign(+,-) and voltage level of static electricity after turning off plasma depend on geometry and capacitance of dielectric substrate.

유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션

차주홍 부산대학교 대학원 2015 국내석사

An inductively coupled plasma source driven by 13.56MHz was prepared for the deposition of a-C:H and hydro-fluorocarbon thin film. Properties of the plasma source are investigated by fluid simulation including Navier-Stokes equations and home-made tuned single Langmuir probe. Signal attenuation ratios of the Langmuir probe at first and second harmonic frequency were 49dB and 46dB respectively. Dependencies of plasma parameters on process parameters were well agreed with simulation results. It was found that gas flow field significantly affect spatial distribution of electron density and temperature even in inert gas feeding case. Higher electron density and lower temperature was observed near the gas inlet area. Ar/CH4 plasma simulation results shown that hydrocarbon radical densities have their lowest value at the vicinity of gas feeding line due to high flow velocity. For input power density of 0.07W/cm3, CH radical density qualitatively follows electron density distribution. On the other hand, central region of the chamber become deficient in CH3 radical due to high dissociation rate accompanied with high electron density. The result suggest that optimization of discharge power is important for controlling deposition film quality in high density plasma sources. Key Words : Inductively Coupled Plasma, Plasma Fluid Simulation, RF matching, Single Langmuir probe

Self-Pulsing 스트리머 및 글로우 방전의 제어와 시뮬레이션

이제현 부산대학교 대학원 2014 국내석사

We investigated streamer-to-spark transition in a transient spark by using a self-pulsing high-voltage RC circuit under atmospheric pressure air and elevated pressure(380torr) argon. Also, in order to understand the effect of the polarity and the electrical characteristic, positive discharge and negative discharge were comparison analysis. Streamer propagation and formation of a discharge channel was visualized using numerical simulations based on drift-diffusion approximation. The obtained spark channel image from an experiment was also presented. Plasma parameters were analyzed using results of simulation according to growth of streamer.

대면적 유도결합 및 자화유도결합 플라즈마의 진단과 시뮬레이션에 관한 연구

김윤기 부산대학교 2014 국내박사

Magnetized inductively coupled plasma(MICP) source was proposed and con- structed. An essential feature of this system is a weak axial static magnetic field which was applied to the plannar and spiral antenna. The experimental chamber is 540mm diameter and has a 190mm gap between the RF window and wafer holder. The electro-magnet for axial static magnetic field is a type of Helmholtz coil. The characteristics of the plasma were measured by using single Langmuir probe. Electron density was increased and plasma potential was decreased with magnetic field application in low pressure plasma. Also electron temperature was decreased in MICP. Those results are becouse of electron confinement by magnetic eld. However, the gradient of electron temperature in radial direction was increased due to decreas of electron diffusion coeffcient. The self-consistent simulation based on the drift-diffusion approximation with anisotripic transport coefficients was performed. The wave propagation was observed in MICP and this wave was refracted toward the high-density region. The calculated impedance seen from the antenna terminal shows that resistance component of MICP is a higher than that of ordinary ICP. Becouse of a higher resistance, the power transfer efficiency was improved to 95%. This property is practically important for large-size, low-pressure plasma sources becouse high resistance corresponds to high power-transfer efficiency and stable impedance matching characteristics.