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이국녕(Kook-Nyung Lee),정석원(Suk-Won Jung),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2009 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2009 No.7
떠 있는 열선 구조를 채택한 고온 구동 마이크로 MEMS히터의 특성을 평가하고 분석하였다. 고온 MEMS 히터는 적외선을 이용한 광학식 가스센서의 주요한 핵심 부품인 적외선 발광원으로 활용할 수 있다. MEMS 기술을 이용하여 대량생산이 가능하여 가격을 낮출 수 있고 소비전력이 작아 적외선 센서의 광원으로 응용되는 등 관련 분야의 연구가 많이 이루어지고 있다. 본 논문에서는 실리콘 기판으로부터 떠 있는 실리콘 지지구조물 위에 형성된 백금 저항성으로 고온 발열 동작하는 새로운 구조의 MEMS 히터에 대한 온도 특성을 고해상도 적외선 카메라로 측정한 이미지를 이용하여 분석하였다.
이경건(Kyounggun Lee),조정아(Jungah Cho),이민호(Min-Ho Lee),정석원(Suk-Won Jung),이국녕(Kook-Nyung Lee),김유래(Yu-Rae Kim),백창욱(Chang-Wook Baek),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
본 논문에서는 당뇨병 검출을 위한 당 센서의 제작을 보고하였다. 마이크로 머시닝 공법을 통하여 웨이퍼 레벨로 전극이 제작되었으며, 표면 처리 기술을 이용하여 당 산화 효소의 흡착을 하였다. 당 산화 효소와 당이 반응하여 발생 시키는 과산화 수소를 측정함으로써 당의 농도를 측정할 수 있었다. 작업 전극에 0.7 (vs. Ag/AgCl)의 전위를 인가하였을 때, 5 mM의 PBS 기반의 당 용액에서 ~250 ㎁, 35 mM 용액에서 ~600 ㎁가 흐르는 것으로 측정되었다. 제작된 센서의 평가를 위하여 당 농도에 대하여 실시간 측정이 성공적으로 이루어져 센서로서의 가능성을 보았다. 또한 웨이퍼 레벨의 제작을 통하여 상용화의 가능성을 볼 수 있었다.
김유래(Yu-Rae Kim),이국녕(Kook-Nyung Lee),백창욱(Chang-Wook Baek),이경건(Kyounggun Lee),정석원(Suk-Won Jung),이경일(Kyung-Il Lee),성우경(Woo-Kyeong Seong) 대한전기학회 2010 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.2010 No.7
In this paper, a novel acoustic chamber structure of a capacitive microphone was presented. Acoustic chamber cavities of the proposed microphone were produced by using tetramethylammoniumhydroxide(TMAH) wet etching. Benefitting from anisotropic etching property of TMAH, we can obtain sufficient volume of acoustic chamber and mechanically stable structure without any critical damping effect. The resonance frequencies of the membranes were measured to be 96, 54, and 37 ㎑ for the 1.5 × 1.5, 2 × 2, and 2.5 × 2.5 ㎟ membranes on average, respectively. The measured resonance frequencies were in good agreement with analytic calculation and FEM simulation results. Assuming the source voltage of 200 V, the sensitivities were calculated to be -52.3 ㏈, -46.3 ㏈ and -41.4 ㏈ at 1 ㎑.