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        급속 열처리 방법에 의한 Sn 솔더 범프의 리플로와 금속간 화합물 형성

        양주헌,조해영,김영호,Yang, Ju-Heon,Cho, Hae-Young,Kim, Young-Ho 한국마이크로전자및패키징학회 2008 마이크로전자 및 패키징학회지 Vol.15 No.4

        본 실험에서는 두가지 리플로 시스템에 따라 솔더 범프 내에 생성되는 금속간 화합물의 성장거동에 대하여 연구하였다. 산화막이 증착된 Si 기판 위에 직류 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 Ti(50 nm), Cu($1{\mu}m$), Au(50 nm), Ti(50 nm)의 박막을 형성한 후, 전해 도금을 이용하여 $5{\mu}m$두께의 Cu 범프와 $20{\mu}m$ 두께의 Sn 범프를 형성하였다. 급속열처리장치(RTA)와 일반 리플로를 이용하여 전해 도금으로 형성된 Sn($20{\mu}m$)/Cu($5{\mu}m$) 범프를 동일한 온도에서 각각 리플로 공정을 진행한 결과, 급속열처리장치를 이용하여 리플로를 할 때, 플럭스를 사용하지 않고 범프로 형성할 수 있었으며, 솔더 계면에 형성된 금속간 화합물이 일반 리플로의 경우보다 더 얇게 형성되었다. We studied a growth behavior of Intermetallic compounds(IMCs) during solder bumping with two reflow methods. Ti(50 nm), Cu($1{\mu}m$), Au(50 nm) and Ti(50 nm) thin films were deposited on $SiO_2$/Si wafer using the DC magnetron sputtering system as the under bump metallization(UBM). And the $5{\mu}m$ thick Cu bumps and $20{\mu}m$ thick Sn bumps were fabricated on UBM by electroplating. Sn bumps were reflowed in RTA(Rapid Thermal Annealing) system and convection reflow oven. When RTA system was used, reflow was possible without using flux and IMC thickness formed in the solder interface was thinner than that of a convectional method.

      • KCI등재
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        흰쥐 중추신경계내 난소로 투사하는 미주신경로에 관한 연구

        김명주(Myeong-Joo Kim),장명세(Myeong-Se Chang),고미희(Mi-Hee Ko),노해숙(Hae-Sook Noh),조해영(He-Young Cho),오문유(Moon-You Oh),이봉희(Bong-Hee Lee) 대한체질인류학회 2000 해부·생물인류학 (Anat Biol Anthropol) Vol.13 No.1

        본 실험은 부교감신경의 하나인 미주신경이 난소를 지배하는 신경으로 관여하고 있는지를 pseudora. bies 바이러스를 이용하여 난소신경로와 난소주사후 미주신경정단을 통하여 조사한 연구 보고이다. 이를 위하여 Sprague Dawley계 암흰쥐를 대상으로 pseudorabies 바이러스를 난소에 주사한 무리와 난소 주사후 미주신경을 정단한 우리에서 뇌를 적출하여 pseudorabies 바이러스에 대한 연역조직화학 염색을 시행하여 비교하였다. 본 실험결과 미주신경 중추신경로내의 상위신경핵들이 pseudorabies 바이러스에 대하여 양성반응이 줄어들었거나 관창되지 않는 차이를 보였다 즉 적색핵, 종말판혈관기판, 줄무늬체, 침상핵과 이마엽겉질은 부분적으호 난소의 미주신경로에 관여하고 있으며 미주신경동쭉핵, 고립로핵, 최후영역, 청색반정, 팔옆핵, 코리케퓨즈핵 , 흑색질 및 시각교차위핵은 양성반응이 관찰되지 않아 미주신경으로 투사하는 부교감신경핵으로 조사되었다.

      • 흰쥐 중추신경계내 난소로 투사하는 미주신경로에 관한 연구

        김명주,장명세,고미희,노해숙,조해영,오문유,이봉희 濟州大學校 基礎科學硏究所 2001 基礎科學硏究 Vol.14 No.1

        본 실험은 부교감신경의 하나인 미주신경이 난소를 지배하는 신경으로 관여하고 있는지를 pseudorabies 바이러스를 이용하여 난소신경로와 난소주사후 미주신경절단을 통하여 조사한 연구 보고이다. 이를 위하여 Sprague Dawley계 암흰쥐를 대상으로 pseudorabies 바이러스를 난소에 주사한 무리와 난소 주사후 미주신경을 절단한 무리에서 뇌를 적출하여 pseudorabies 바이러스에 대한 면역조직화학 염색을 시행하여 비교하였다. 본 실험결과 미주신경 중추신경로내의 상위신경핵들이 pseudorabied 바이러스에 대하여 양성반응이 줄어들었거나 관찰되지 않는 차이를 보였다. 즉 적색핵, 종말판혈관기관, 줄무늬체, 침상핵과 이마엽겉질은 부분적으로 난소의 미주신경로에 관여하고 있으며 미주신경등쪽핵, 고립로핵, 최후영역, 청색반점, 팔옆핵, 코리케퓨즈핵, 흑색질 및 시각교차위핵은 양성반응이 관찰되지 않아 미주신경으로 투사하는 부교감신경핵으로 조사되었다. The mammalian ovary has been known as receiving its innervation by sympathetic and sensory neurons of the peripheral nervous system from the brain. Recently, there were several functional reports that the vagus nerves were also regulating the ovarian function, but the vagus nerve had not been identified by clear morphological evidence. A viral transneuronal tracing technique has been used to demonstrate the morphological evidence for the central vagal involvement in ovarian innervation in brain areas. Bartha strain of pseudorabies virus injection was made into the ovary of Sprague Dawley rats. In experimental group, the vagus nerve of the same injection side was removed right after ovarian injection. At five days after initial injection, all the rats were sacrificed and brains were processed for immunohistochemistry. Several central nuclei including hypothalamic paraventricular nucleus showed strong bilateral positive labelings after unilateral injection in control rats, but the positive labelings were disappeared or decreased in several hypothalamic nuclei and nuclei of the vagus nerve. I n conclusion, these results provide the morphological evidence that vagus nerve has neural connection to ovary and by which the central nervous system may maintains the state of ovulation and reproduction as a possible parasympathetic routes in mammals.

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