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김정선(J. S. Kim),여환욱(H. W. Yeo),박종윤(C. Y. Park) 한국진공학회(ASCT) 1994 Applied Science and Convergence Technology Vol.3 No.4
초고진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세 가지 형태의 60(l/s)형 이온펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다. For the improvement in pumping characteristics, we constructed the sputter ion pumps of new three types made of a different materials and structures, with 60(l/s). The pumping speed of pumps which were consisted of the Ta-welded cathode plate and the anode cells of a modified structure improved in pumping speed by ~50% more than that of the conventional sputter ion pump.