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        기저층 및 열처리 효과가 Co / Cu 다층박막의 자기저항에 미치는 영향

        김미양(Mee-Yang Kim), 최규리(Kyu-Lee Choi), 최수정(Soo-Jung Choi), 송은영(Eun-Young Shong), 이장로(Jang-Roh Rhee), 황도근(Do-Guwn Hwang), 이상석(Sang-Suk Lee), 박창만(Chang-Man Park), 이기암(Ky-Am Lee) 한국자기학회 1997 韓國磁氣學會誌 Vol.7 No.2

        DC magnetron sputtering 방법에 의해 Corning glass 위에 기저층인 Fe와 Cu의 두께를 다르게 하면서 buffer/[Co(17Å)/Cu(tÅ)]_N의 형태로 다층박막을 제작하여 자기저항비의 비자성층 Cu 층 두께, 기저층 종류와 두께, 다층박막의 층 수 의존성을 조사하였다. 제작된 시료를 500℃ 까지의 열처리를 행한 후 열처리가 이 시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 영향을 조사하기 위하여 X-선 회절분석, 시료진동형자기계 (VSM) 분석, 자기저항 측정을 하였다. Fe 기저층의 두께가 50Å이고 Cu 두께가 24Å일때 극대 자기저항비 21%가 관찰되었다. 낮은 base 압력 중에서 막의 증착은 산화를 억제하여 자기저항비를 증가시켰다. 400℃ 까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 grain size를 갖게 하여 극대 자기저항비를 나타내는 Cu 두께를 갖는 시료들은 열처리 후 반강자성적으로 결합한 막의 부분이 증가함으로써 자기저항비가 증가하다가 500℃에서는 계면의 확산에 의해 감소하였다. Dependence of magnetoresistance on the thickness of Cu, type and thickness of buffer layer, and the stacking number of multilayer in the form buffer /[Co(17Å)/Cu(tÅ)]_(20) were investigated. To evaluate effect of annealing on this samples, X-ray diffraction analysis, vibrating sample magnetometer analysis, and magnetoresistance measurement(4-probe method) were performed. The magnetoresistance ratio exhibits a maximum of 21% for the multilayer with Cu thickness of 24Å and Fe buffer layer thickness of 50Å. Deposition of film under low base pressure induces in increase magnetoresistance ratio by preventing oxidation. The multilayer annealed below 300℃ temperature allowed larger textured grain without loss in the periodicity. Magnetoresistance ratios of the multilayer with Cu thickness of 24Å and 36Å were increased due to the increase in the antiferromagnetically coupled fraction after annealing.

      • 버퍼층 및 열처리 효과가 CoFe/Cu 다층박막의 자기저항에 미치는 영향

        오미영,송은영,이장로,김희중,김경민,김미양 숙명여자대학교 자연과학연구소 1996 자연과학논문집 Vol.- No.7

        DC magnetron sputtering방법에 의해 Corning glass기판 위에 ?? 형태로 다층박막을 제작하여 버퍼층 종류(Fe, Cu, Cr, Ta)와 두께, 비자성층인 Cu두께 변화에 관한 자기저항비의존성을 조사하였다. 또한 이들 시료에 대하여 열처리를 행한 후 열처리가 이 시료의 구조, 자기적 성질 및 자기저항에 미치는 영향을 조사하였다. Fe버퍼층의 두께가 60Å일 때 극대 자기저항비가 14%인 자기저항이 관찰되었고 Fe버퍼층과 Cr버퍼층을 갖는 시료를 비교한 경우 자기저항비는 그다지 차이가 없으나 Fe버퍼층이 있는 경우에 더 큰 포화자기장 및 자기 이력현상을 나타내었다. 250℃까지의 시료에 대한 열처리는 다층박막의 주기성을 유지한채 더 큰 결정립을 갖게 하여 자기저항비는 증가하였으나 그 이상의 온도에서는 계면 혼합 및 계면 확산에 의한 감소를 나타내었다. Giant magnetoresistance (GMR) and magnetic properties of CoFe/Cu multilayers prepared by dcmagnetron sputtering has been studied. We investigated the effect of Fe buffer layer thickness, different buffer layers, and annealing condition on GMR. For the 60Å Fe buffer layer thickness, maximum MR ratio 14% was found. When we have used different buffer layers, multilayers with Cr and Fe buffer show similar GMR magnitude, but multilayers with an Fe buffer have much higher saturation fields and hysteresis. The study of the dependence of the MR behaviors on annealing temperature, the MR ratio was increased to 250℃, but reduced at the temperature higher than 300℃ because of the interfacial diffuse.

      • Buffer/CoFe/Cu/Co 샌드위치 박막의 자기저항 특성

        김희중,김미양,오미영,이장로,송은영,김경민 숙명여자대학교 자연과학연구소 1996 자연과학논문집 Vol.- No.7

        DC magnetron sputtering방법으로 Corning glass 기판위에 버퍼층을 Fe와 ??로 바꾸어가면서 보자력이 다른 ??와 Co를 이용하여 buffer/CoFe(35Å)/Cu(tÅ)/Cu(35Å)의 형태로 샌드위치 박막을 제작하고 자기저항비의 버퍼층 두께 및 비자성층 Cu층 두께, 자성층 두께 의존성을 조사하였다. 자기저항비와 포화 자기장(??)은 버퍼층의 두께가 두꺼워짐에 따라 증대하다가 극대치 3%를 보인 후 완만하게 감소하였다. NiFe, Fe버퍼층을 갖는 시료를 비교한 경우, 각각 CoFe층과 Co층 사이의 결합 자기장(??)은 큰 차이가 없었으나 NiFe버퍼층을 갖는 시료가 minor자기저항 곡선의 반가폭 ??는 감소하고 자기저항(MR) slope와 관련된 field senditivity(%/Oe)는 향상되었다. Buffer(tÅ)/CoFe(35Å)/Cu(50Å)/Co(35Å) sandwiches prepared by dc magnetron sputtering on a corning glass substrate using ?? and Co possess different coercivities. Dependence of magnetoresistance on the type and thickness of buffer layer, thickness of Cu and thickness of magnetic layer in buffer/CoFe/Cu/Co sandwiches were investigated. Magnetoresistance ratio and saturation field ?? increased as the thickness of buffer layer becomes thicker, then decreased smoothly after maximum value. Improved field sensitivity was realized by the use of ?? buffer layer.

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