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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      저자 : 느반더(L. V. Tho) (검색결과 1 건)
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      • KCI등재

        CoFeHfO 박막의 자기적 특성

        이광은(K. E. Lee),느반더(L. V. Tho),김상훈(S. H. Kim),김철기(C. G. Kim),김종오(C. O. Kim) 한국자기학회 2006 韓國磁氣學會誌 Vol.16 No.4

        Amorphous alloys of Co-rich magnetic amorphous films are well known as typical soft magnetic alloys. They are used for many kinds of electric and electronic parts such as magnetic recording heads, transformers and inductors. CoFeHfO thin films were prepared by RF magnetron reactive sputtering. The films were deposited onto Si(100) substrates with a power of 300W at room temperature. The reactive gas was introduced up to 10% (O₂/(Ar + O₂)) during deposition, and the Co<SUB>39</SUB>Fe<SUB>34</SUB>Hf<SUB>9.5</SUB>O<SUB>17.5</SUB> thin film exhibit excellent soft magnetic properties : saturation magnetization (4πM<SUB>s</SUB>) of 19 kG, magnetic coercivity (H<SUB>c</SUB>) of 0.37 Oe, anisotropy field (H<SUB>k</SUB>) of 48.62 Oe, and an electrical property is also shown to be as high as 300 μΩcm. It is assumed that the good soft magnetic properties of Co<SUB>39</SUB>Fe<SUB>34</SUB>Hf<SUB>9.5</SUB>O<SUB>17.5</SUB> thin film results from high electrical resistivity and large anisotropy field.

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