TV드라마에 나타난 모성의 서사전략과 상징적 경계의 구축

홍지아 이화여자대학교 대학원 2009 국내박사

이 연구는 사람이나 행위, 대상이나 시간과 공간을 구별하고 가치판단을 내리기 위한 목적으로 사회구성원들에 의해 합의된 인위적 생산물인 상징적 경계를 모성의 영역에 접목해 한국사회가 어떠한 어머니를 이상적인 어머니로 구별하는지를 살펴보며 이러한 모성의 상징적 경계가 어머니에 대한 사회적 차별을 정당화하는 정서적 기제로서 작용하는 맥락을 논의한다. 이 논문은 근대 이후 한국사회의 자연스러운 가치로 자리잡아온 전업주부 형 희생적 모성도 사회의 다른 가치와 마찬가지로 상징적 경계에 의해 정당성을 확보한 상대적 가치이며 나아가 전업주부 형 희생적 어머니를 좋은 어머니로 구별하는 모성의 상징적 경계가 결국은 취업이나 경제적 이득 같은 물질적 자원과 성공과 존경, 권위 등의 비물질적 자원의 분배에서 여성, 특히 어머니에 대한 차별대우를 정당화하는 정서적 기제로 활용되어왔음에 주목한다. 또한 남녀평등을 지향하는 사회의 변화가 모성의 상징적 경계에 어떠한 변화를 이끌어내고 있는지를 살펴보며 상징적 경계의 변화가능성에 대해 논의하려 한다. 모성의 상징적 경계에 대한 논의의 장으로 이 연구는 대중적이며 가장 설득력 있는 서사물인 TV드라마를 선택한다. 먼저 2000년부터 2007년까지 시청률 상위 50위권에 든 드라마 가운데 사극 등 장르적 특색이 강한 드라마를 제외한 26편을 연구대상으로 선정하였다. 또한 논의의 다양화를 위해 언론과 학계, 시민단체에 의해 진보적인 여성상을 담은 것으로 평가된 6편의 드라마를 추가로 선정했다. 연구방법으로는 평형-비평형-평형으로 이어지는 갈등구도에서 갈등을 유발하거나 해결하는 힘의 특성과 성공적 결말을 맞이하는 인물의 특성을 파악함으로 서사물이 지지하는 가치를 파악하는 토도로브(Todorov)의 서사구조 분석법을 사용하였다. 이를 위해 등장하는 어머니들을 특성에 따라 유형별로 분류하고 다음 단계로 갈등의 유발과 해결, 결말의 성공과 패배로 구별되는 어머니의 유형별 특성을 구분하였다. 또한 드라마가 특정한 유형의 어머니를 다른 어머니보다 우월한 어머니로 이상화하기 위해 사용하는 서사전략을 분석하고 이러한 서사전략을 통해 재생산되는 모성의 상징적 경계를 파악하였다. 구체적인 연구문제는 드라마가 재현하는 어머니의 유형은 어떤 종류가 있으며 갈등을 유발하는 어머니와 갈등을 해결하는 어머니의 유형, 성공하는 어머니와 처벌받는 어머니의 유형은 어떻게 다른가, 특정한 유형의 어머니와 어머니가 수행하는 어머니 노릇을 이상화하기 위해 드라마가 사용하는 서사전략은 무엇인가, 또한 서사전략을 통해 드라마가 재생산하는 모성의 상징적 경계는 무엇이며 문화적 실천인 모성의 상징적 경계가 어머니에 대한 사회적 제약이나 차별과 어떻게 연결되는가이다. 분석결과 특정한 유형의 어머니를 다른 어머니와 차별화하기 위해 드라마가 사용하는 8가지 서사전략을 도출하였다. 보다 자세히 살펴보면 악인으로 등장하는 시어머니를 가부장 가치의 수호자라는 명분으로 존경과 사랑의 대상으로 보호하는 ?권력형 시어머니 합리화? 전략, 어머니의 정서적 특성을 강조하고 정서적 존재인 어머니를 권력으로부터 소외하는 ?탈 권력 어머니 이상화? 전략, 모성을 여성의 본능으로 신비화하는 ?모성본능의 신화화? 전략, 가부장제가 지정한 남편 외의 남성을 욕망한 어머니의 처벌을 당연시하는 ?회개와 용서?의 전략, 어머니의 젊음과 아름다움을 높게 평가하는 ?젊음과 미모의 권력화? 전략, 모성실천과 어머니의 직업을 결부해 어머니의 사회참여를 제한하는 ?여성적인 슈퍼맘 우대? 전략, 어머니의 정서적 특징이 이성적 남성보다 열등함을 정당화하는 ?갈등해결의 타자 의존? 전략을 모성재현의 주요 서사전략으로 사용하고 있음을 분석했다. 이러한 서사전략은 모성의 속성을 여성이라면 누구나 지닌 여성만의 본능으로 규정하는 모성의 상징적 경계를 재생산함으로 어머니의 희생적 모성실천을 당연시하고 가족을 위한 정서적 돌보미로서 획일적 형태의 어머니노릇을 이상적인 가치로 재생산한다. 또한 탈 권력적인 순수한 어머니의 외모와 가정 안에 머무는 젊고 아름다운 몸을 이상적 어머니의 상징으로 제시하는 한편 어머니의 섹슈얼리티가 아버지를 위한 것이 아닐 때 처벌의 대상이 됨을 보여줌으로 결과적으로 어머니의 몸의 소유주, 즉 가부장의 권한을 확장한다. 또한 어머니의 정서적 속성이 권력과 불화하는 예를 강조함으로 정서적 존재인 어머니는 공적영역과 권력행사로부터 분리된 존재라는 상징적 경계를 재생산한다. 이러한 모성의 상징적 경계는 우선 어머니는 자식을 위해 헌신하는 것이 당연한 존재이며 이러한 모성실천은 어머니의 본능으로 노력이나 사회적 보상이 필요하지 않다는 모성이데올로기를 재생산한다. 또한 사회가 요구하는 아름다움의 가치로 어머니를 속박하는 한편 어머니의 욕망을 가부장제의 이름으로 제한한다. 마지막으로 어머니를 갈등을 유발하고 권력을 제대로 다루지 못하는 정서적 존재로 규정함으로 어머니의 권력을 빼앗아 아버지의 권력을 확장하는 한편 어머니의 활동공간을 모성실천이 가능한 한정된 공간으로 제한함으로 사회자원의 배분에서 남성과 여성을 차별하는 성역할 가치를 사회의 주류담론으로 재생산한다. 결국 어머니다움을 구별하는 문화적 실천인 상징적 경계가 어머니의 개인적 형편과 특성을 고려하지 않은 획일적 형태의 모성실천을 요구하고 차별적 성역할을 지지함으로 가부장 질서의 강화와 어머니와 여성에 대한 크고 작은 차별을 정당화하는 정서적 기제로 작용함을 알 수 있다. 반면, 드라마가 재현하는 모성실천과 모성의 상징적 경계 재생산에 있어 진보적 여성상을 반영한 것으로 평가받는 드라마에서는 어느 정도의 대안적 경계를 제시하는 모습을 보인다. 진보적 여성상을 다룬 드라마에서는 권력을 지닌 어머니가 갈등을 유발하는 대신 전문가다운 리더십을 발휘하고 어머니의 직업이 모성실천과 독립적으로 다루어지며 자신의 욕망에 충실하고 자식을 향한 무제한의 희생을 거부하는 새로운 형태의 어머니 노릇이 처벌의 대상에서 제외되는 사례를 찾아볼 수 있다. 즉, 진보적 여성상을 다룬 드라마에서는 모성을 본능이라기보다 훈련과 선택으로, 어머니가 권력행사에 있어서 이성적인 가부장과 다름없는 리더십을 발휘할 수 있음을, 또한 어머니의 활동공간이 공정영역으로 확대될 수 있음을 보여준다. 그러나 이는 어디까지나 예외적인 소수 사례로 우리사회의 이상적인 어머니노릇을 규정하는 상징적 경계를 이동할 만큼의 영향력은 행사하지 못한다. 분석대상이 된 드라마의 제작시기가 2000년 이후로 한정된 점, 분석의 대상이 다른 가족 구성원을 제외한 어머니에게만 집중되어 가부장 가치의 상대적 구현이라는 측면에서 보다 풍성한 논의를 이끌어내지 못한 점이 연구의 한계로 지적될 수 있다. 또한 유목별 분석에서 기능적 판단을 넘어서 가치판단을 요하는 경우가 적지 않아 유사한 연구를 기획한다면 분석의 정교함을 위한 방법론의 보강이 필요할 것으로 판단된다. This study examines how 21stcentury Korean society draws the line between an ideal mother and a less-ideal mother by applying symbolic boundaries?conceptual distinctions agreed upon by members of the society to distinguish and exert value judgements of people or their behaviors, objects, time and space. The study first tracks how a full-time,self-sacrificing mother has become a model of ideal motherhood in Korea since the 1950s and suggests that self-sacrificing motherhood is a relative value, like others in society, justified by symbolic boundaries. Furthermore, the study observes that the symbolic boundaries of motherhood, which set apart a full-time self-sacrificing mother as a good mother, ultimately justifies the discrimination against women, particularly mothers, in sources of financial gain, such as employment,and well as non-financial gain including success, respect and authority. Finally, the study examines how changes in society that gravitate toward gender equality redefine the symbolic boundaries of motherhood, and discusses possible boundary changes. For the basis of discussion, this study uses the television drama series, a popular and influential medium. Twenty-six drama series were selected among 50 top-rated television dramas during 2000 and 2007, excluding those with strong genre features such as Korean history. To diversify the discussion, six dramas containing a progressive image of women, according to the press, academic circles and civic groups were added. Todorov?s narrative analysis is used as the research methodology. It grasps values supported by the narrative by recognizing the characteristics of power that causes or resolves conflict and by identifying traits of characters in plots that move from a state of equilibrium to disequilibrium and then a final state of equilibrium. To this end, I grouped the mother characters in the dramas into trouble-maker vs. trouble shooter and those with a successful ending vs. those who suffer failure and studied their characteristics. Based on the criteria, I examined the symbolic boundaries of motherhood presented in the dramas by analyzing where they delineate between powerful, trouble-shooting mothers or successful mothers and others. Major research questions include: what kinds of mothers are reproduced in television dramas; what divides trouble-making mother characters from trouble-shooters, what differentiates mothers who succeed from those who are punished; and what criteria is used to separate powerful, problem-solving mothers and mothers with successful endings from the rest. The analysis found the following results: the characteristic of powerful mothers who wield authority to resolve conflicts is that they are defenders of patriarchal values. Conversely, mothers who challenge patriarchal values only cause trouble and are not given the power to resolve it. Therefore, the symbolic boundary in television dramas which separates powerful, problem-solving mothers from powerless mothers is not their socio-economic position, jobs or personality but whether they play a positive role in defending patriarchal values. Furthermore, the television drama highlights solid support for the family system by suggesting that the primary example of a mother who ends up being punished is the one who attempts to disrupt the family system. In other cases, mothers who only stay in private spaces called homes are depicted as inferior and ignorant of the world, while patient and self-sacrificing mothers who take up traditional woman?s work are valued as superior, indicating that television dramas have high expectations for the ?super mom,? who is committed to both family and work while still maintaining feminine values. A mother in her 50s or 60s usually does not play the heroine role; she typically offers emotional support to the main character. Casting older mothers simply as fill-in characters not relevant to the storyline suggests that age discrimination exists in television dramas. On the other hand, dramas that drew critical acclaim for projecting a progressive image of women are more favorable toward mothers who work. They casually portray work as a healthy means of making a living and display mothers with a variety of jobs. In addition, these dramas demonstrate a widened scope of a successful mother, suggesting integrity, care and understanding for others and economic independence lie within the parameters. Lastly, the study discusses how the symbolic boundaries of motherhood found in the research is reproduced in television dramas and goes on to examine the context in which the symbolic boundary, a cultural practice, is used as a emotional means to justify forms of social discrimination against mothers. It may be pointed out that only dramas produced in 2000 and after were analyzed, and that the study falls short of presenting a broad discussion of patriarchal values, since the research only focused on mother characters and excluded other family members. Furthermore, since there were many cases in the category analysis where judgment of value beyond functional judgment was required, reinforcement in the methodology for more sophisticated analysis would be necessary if a similar research is undertaken in the future.

烈女設話 硏究

홍지아 경성대학교 교육대학원 2006 국내석사

Effects of Orthotic Insole on Peak Plantar Pressure, Center of Pressure Trajectory, and Muscle Activity of Lower Limb During One Leg Standing in Adults With Flexible Flat Foot

홍지아 연세대학교 대학원 2012 국내석사

대학(원)생의 창업교육이 창업역량을 매개로 창업의지에 미치는 영향

홍지아 계명대학교 글로벌창업대학원 2025 국내석사

최근 창업이 고용 창출과 국가 경제 성장을 핵심 요소로 드러남에 따라, 대학과 관련 기관에서 창업교육을 강화하려는 시도가 지속되어지고 있다. 하지만 국내 창업교육은 여전히 일부 대학에 집중되어 있으며, 실습 중심의 체험적 교육이 부족하다는 지적이 지속적으로 제기되고 있다. 따라서 본 연구는 창업교육을 이론교육과 실습교육으로 나누어 창업역량과 창업의지에 어떠한 영향을 미치는지 분석하였다. 창업 경험이 있거나 창업을 준비 중인 대학(원)생을 대상으로 설문조사를 실시하였으며, 분석 결과 창업교육은 창업역량에 통계적으로 유의한 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 창업역량 역시 창업의지에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 확인되었다. 이러한 결과는 창업교육이 단순한 지식 전달을 넘어, 실천 역량의 내면화를 통해 예비창업자의 실제 창업 행동을 유도할 수 있는 효과적인 수단임을 나타난다. 특히, 실습 중심의 창업교육은 창업역량을 실질적으로 향상시키며, 이는 다시 창업 실행 의지를 높인다는 점에서 창업교육 설계 및 정책 개발에 있어 중요한 시사점을 제공한다. 첫째, 창업교육은 이론적 전달만으로는 한계가 있으며, 체험 중심의 실습교육을 강화해야 한다. 둘째, 창업역량은 창업의지 형성의 핵심 매개요소로, 창업교육 과정에서 창의성, 문제해결력, 대인관계 등 다양한 역량 요소를 내재화할 수 있도록 설계되어야 한다. 셋째, 창업교육의 효과는 단기적 지식 습득이 아닌, 심리적 태도와 실행력으로 이어지는 과정에 대한 종합적인 접근이 필요하다. 넷째, 대학 및 정책기관은 실전형 창업교육을 확대하고, 개별 역량 수준에 맞는 맞춤형 교육 및 멘토링 체계를 구축할 필요가 있다. 본 연구는 대학(원)생을 중심으로 한 한정된 표본을 대상으로 하였으며, 자기보고식 설문조사 방식에 따른 신뢰도의 한계가 존재한다. 또한, 시간의 흐름에 따라 변화나 창업의 성공 여부에 따른 차이를 분석하지 못한 점 역시 한계로 작용한다. 향후 연구에서는 실제 창업자 집단을 포함한 종단적 분석과 정성적 자료를 병행하여, 보다 정밀하고 현실적인 창업교육 효과 분석이 이루어질 필요가 있다. As entrepreneurship has emerged as a key driver of job creation and national economic growth, efforts to strengthen entrepreneurship education in universities and related institutions have continued. However, entrepreneurship education in Korea remains concentrated in a limited number of institutions, and criticisms persist regarding the lack of experiential, practice-based programs. Therefore, this study categorizes entrepreneurship education into theoretical and practical education and analyzes how each affects entrepreneurial competency and entrepreneurial intention. A survey was conducted among university (graduate) students who have either had entrepreneurial experience or are preparing to start a business. The analysis revealed that entrepreneurship education has a statistically significant and positive effect on entrepreneurial competency. Furthermore, entrepreneurial competency also positively influences entrepreneurial intention. These findings suggest that entrepreneurship education serves as an effective means not only for delivering knowledge but also for internalizing practical competencies that drive actual entrepreneurial behavior among aspiring entrepreneurs. Particularly, practice-oriented education significantly enhances entrepreneurial competency, which in turn boosts entrepreneurial intention, providing important implications for the design and development of entrepreneurship education programs and policy. First, entrepreneurship education must go beyond theoretical delivery and focus on strengthening experiential learning. Second, entrepreneurial competency is a key mediating factor in the formation of entrepreneurial intention and must be designed to embed diverse elements such as creativity, problem-solving, and interpersonal skills. Third, the effectiveness of entrepreneurship education should be approached comprehensively, not just as short-term knowledge acquisition, but as a process leading to psychological readiness and execution capability. Lastly, universities and policy-making institutions should expand practice-based entrepreneurship education and establish customized programs and mentoring systems tailored to individual competency levels. This study is limited in that it focused solely on a sample of university (graduate) students and relied on self-reported survey data, which may raise concerns about reliability. Additionally, it did not account for temporal changes or differences related to entrepreneurial success. Future research should include longitudinal analyses with actual entrepreneurs and incorporate qualitative data to enable more detailed and realistic evaluations of the effectiveness of entrepreneurship education.

日本企業の構造改革と韓国企業への示唆 : 日産自動車と松下電器産業を中心に

洪志妸 韓國外國語大學校 國際地域大學院 2006 국내석사

일본경제는 1980년대 중반 미국 레이건 정권의 플라자합의 이후 ‘잃어버린 10년’이라고 일컬어질 정도로 10여 년간에 걸친 장기불황을 경험했다. 플라자합의로 인한 급격한 엔고가 일본경제를 버블상태로 몰아갔으며, 이러한 버블상태를 진정시키기 위해 단행된 부동산융자의 총량규제를 계기로 버블은 붕괴하기 시작, 일본경제는 심각한 장기불황에 돌입하게 된 것이다. 이러한 장기불황 하에서 일본기업들은 ‘과잉설비, 과잉채무, 과잉고용’이라는 ‘3대 과잉’ 문제를 떠안게 되었고, 수출이 저하되는 등 많은 타격을 입게 되었다. 그러나 최근 일본기업들의 수익력은 버블경제 이후 최고 수준을 갱신하면서 급속히 증가하고 있다. 일본의 장기불황으로 실적이 악화되었던 기업들 중 이를 극복하고 극적인 기업개혁을 이룬 우수한 기업들이 생겨나고 있는 것이다. 이러한 일본기업들의 수익 개선은 첫째, 1990년대 후반부터 ‘3대 과잉’을 해소하기 위한 ‘구조개혁’을 지속적으로 해왔다는 점, 둘째, ‘선택과 집중’ 전략을 통하여 기업의 경영자원을 성장산업에 주력해 왔다는 점 등에 의한 총체적인 결실이라고 평가할 수 있다. 본 논문에서는 우선 일본의 장기불황의 타격으로 1990년대 말 도산 직전의 위기에 봉착했으나 철저한 ‘구조개혁’의 노력으로 불과 1년 만에 과거 최고 수익을 올려 기적의 부활에 성공한 닛산자동차를 분석한다. 다음으로 버블 붕괴와 함께 도래한 엔고로 4년 연속 거의 제로에 가까운 성장을 보이며 수출이 저하되고 있었지만 ‘선택과 집중’ 전략을 통하여 V자 회복을 실현한 마쯔시다전기산업을 분석한다. 한편 한국경제는 1980년대 중반 플라자합의에 의한 급격한 엔고로 저달러와 저금리 현상 그리고 국제유가 하락으로 인한 저유가의 이른바 ‘3저 호황’으로 높은 경제성장을 달성했다. 그러나 대외적 요인의 영향을 크게 받는 한국경제는 1989년 3저 현상이 소멸되자 침체국면에 빠지고 큰 폭의 무역적자를 기록하였다. 그 이후 1997년 IMF체제에 돌입, 이러한 한국경제의 영향을 받은 한국기업들은 경영위기에 빠지게 되었다. 본 논문에서는 불황이라는 한·일 양국의 경제환경 하에서, 한 때 심각한 경영난에 빠졌지만 극적인 부활에 성공한 일본의 닛산자동차와 IMF체제 돌입 이후 몰락한 한국의 대우자동차의 차이를 ‘구조개혁’에서 찾는다. 또한 ‘선택과 집중’ 전략으로 V자 회복을 이룬 일본의 마쯔시다전기산업으로부터의 교훈으로 무리한 사업다각화를 추진했던 LG그룹에의 시사점을 대신한다. 본 논문은 일본의 닛산자동차와 마쓰시다전기산업이 이룬 극적인 경영개혁이 한국의 대우자동차와 LG그룹에 주는 시사점을 중심으로 고찰하고 있다. 그러나 현재에도 많은 한국기업들은 대우자동차와 LG그룹이 겪은 문제점을 가지고 있다고 할 수 있다. 앞으로 한국경제가 건전한 경제발전을 달성해 나가기 위해서는 기업개혁이 불가피하다. 이 때 일본의 닛산자동차와 마쓰시다전기산업의 대담하고 신속한 기업개혁이 주는 시사점은 한국기업에 커다란 방향성을 제시해 줄 수 있을 것이라고 생각되며, 이는 본 논문의 최대 주안점이라 할 수 있겠다. Japanese economy had been experienced long term recession almost ten years since Reagan administration’s plaza agreement, so called ‘Lost ten years’. Because of Plaza agreement, Japanese Yen’s increasing value makes Japanese economy bubble situation. In order to stabilize it, Japanese government regulated real estate loan and bubble economy had been collapsing. It is the beginning point of serious long term recession. Under the circumstances, Japanese industry had three excess problems which are over-equipment, over-debt and over-employment. This was the main reason of decreasing import, too. However, recent Japanese industry’s profit have been changed dramatically since the bubble economy with highest measurement thanks to the companies which succeed of dramatical structural reform. These dramatical changes are based on the two reason. First of all, these companies have been tried structural reform consistently in order to solve ‘three excess problems’. Also, they have been focused on the bright prospect industry through ‘selection and concentration’ strategy. I’m going to analyze Nissan motors first which overcome the bankruptcy problem in late 1990’s through complete ‘structural reform’ and have a highest profit within one year. Then, I’m going to analyze Matsushita electronics which overcome the four years of almost zero growth rate because of bubble collapsing through ‘selection and concentration’ strategy. On the other hand, Korean economy have been achieved higher economic development thanks to the rapid Japanese Yen’s increasing value under the plaza agreement in middle of 80’s, low value of dollar and low interest, so called ‘Three low effect’. But, Korean economy have a tendency to influence such a reasons that I mentioned above. Since three low effect disappeared in 1989, they had a big amount of trade deficit. Then, IMF rules came since 1997. Korean industry cannot help escaping from such a crisis. In this dissertation, I’m going to compare Nissan and Daewoo motors which rebirth of company(Nissan) and downfall after IMF rule(Daewoo) under the similar recession situation of Korea and Japan. Their differences are only one thing, ‘Structural reform’. Also, I’m going to find the lesson from Matsushita electronics which succeed of ‘selection and concentration’ strategy and compare LG group which did too rapid diversification of their business. Matsushita’s success story can be the best model of LG’s lesson of their failure. This dissertation mainly deals with Nissan motors and Matsushita electronics success story which they did clever structural reform and the lesson to Daewoo and LG group. But, most Korean companies have same problems like Daewoo and LG. I strongly believe that Nissan and Matsushita’s quick and clever structural reform can lead the way that Korean company must follow. This is the main point of my dissertation.

Investigation of abrasive-free slurry for polysilicon buffing CMP

Hong, Jiah Sungkyunkwan university 2021 국내석사

Abrasive-free slurries which control polysilicon removal and surface roughness are highly desirable for polysilicon buffing chemical mechanical planarization (CMP). Here, we show that the addition of polyethylene glycol (PEG) to poly(diallyldimethylammonium chloride) (PDADMAC) solutions inhibits adsorption of PDADMAC on polysilicon films. The effect of PEG additive on polysilicon etching and removal behavior during CMP was investigated as a function of PEG concentration. Polysilicon etching and removal amounts were suppressed with an increase in PEG concentration, and surface roughness was improved by 19.2% and 55.3% compared with those obtained with 250 ppm PDADMAC and 1 wt% silica slurry, respectively, within a certain range of PEG concentrations. The adsorption mechanism of PEG on polysilicon films was investigated using contact angle measurements, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and zeta potential measurements. Our results suggest that PEG adsorbs on the surface of polysilicon films and forms a passivation layer that interferes with the approach of PDADMAC. A possible mechanism for improvement in surface roughness was also proposed based on the inhibition effect of PEG during the CMP process. 폴리실리콘 (Polysilicon) 버핑 화학적 기계적 평탄화 공정 (Chemical mechanical planarization) 은 이전 공정에서 발생하는 폴리실리콘 웨이퍼 표면의 오염 입자 제거와 표면에 형성된 돌기를 제거하기 위해 사용되는 반도체 공정이다. 버핑 CMP 공정에서는 연마율과 표면 조도를 동시에 조절하는 성능을 가진 슬러리 (Slurry)의 사용이 필수적이며 최근 연마 입자를 사용하지 않는 슬러리 (Abrasive-free slurry)에 대한 수요가 증가하고 있다. 본 연구에서는 기존 선행 연구에서 알려진 250 ppm의 poly(diallyldimethylammonium chloride) (PDADMAC) 수용액에 억제제로 작용하는 polyethylene glycol (PEG)를 첨가하여 연마 입자를 포함하지 않는 버핑 공정용 슬러리를 제작하였고, PEG의 농도에 따른 영향을 평가하였다. PEG의 PDADMAC에 대한 억제 작용을 평가하기 위해 PEG의 농도에 따른 폴리실리콘의 식각, 연마 평가를 진행하였고, 원자현미경 (Atomic force microscopy, AFM)을 이용하여 표면 조도 분석을 진행하였다. 그 결과 PEG 농도의 증가에 따라 폴리실리콘의 식각 및 연마양이 감소하였고, 특정 농도 범위에서 250 ppm의 PDADMAC 수용액과 1 wt%의 실리카 슬러리 (Silica slurry)에 대비하여 각각 19.2% 및 55.3%의 표면 조도 개선효과를 나타내었다. 접촉각, 표면 제타 전위 측정 및 X선 광전자 분광법 (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)을 이용하여 PEG처리에 따른 폴리실리콘 표면 분석을 진행하였다. 분석 결과, PEG가 폴리실리콘 표면과 결합을 형성한다는 사실을 확인하였다. 이를 바탕으로 폴리실리콘 표면에 대한 PEG의 화학 반응 메커니즘 및 조도 개선 메커니즘을 제시하였다. 본 연구는 연마 입자를 포함하는 기존 슬러리의 단점을 극복하고 표면 조도와 결함을 개선함으로써 폴리실리콘 버핑 CMP 공정 최적화에 기여할 것으로 기대된다.