A Study on the Estimation of Damage by Leaking of NH₃ and Cl₂ applied to LPCVD

허용정,임사환,Huh, Yong-Jeong,Leem, Sa-Hwan The Korean Institute of GAS 2014 한국가스학회지 Vol.18 No.5

첨단과학이 발전하면서 반도체의 필요성은 끊임없이 요구되고 있으며, 이러한 반도체 공정에서는 다량의 독성가스를 이용한 공정이 많다. 이러한 공정에서 가스의 누설로 인한 사고의 위험성은 항상 내재되어 있는 실정이다. 특히 국내 독성가스 사고는 암모니아와 염소에 의한 사고가 대부분이다. 따라서 본 논문에서는 LPCVD 공정에서 사용하는 암모니아와 염소의 누출로 인한 피해를 예측하여 안전에 만전을 기하고자 한다. As high-tech science has developed, the need of semiconductor is required constantly. However, there are many processes which use a great deal of poisonous gas in the semiconductor process, so the dangerousness by a gas leak is latent in these processes. Especially, the accident of toxic gas is almost made by ammonia and chlorine. Therefore this report estimates the damage by the leak of ammonia and chlorine used in LPCVD system.

리브를 가진 사출제품의 공리 설계 연구

허용정,Huh, Yong-Jeong 한국반도체디스플레이기술학회 2007 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3

The design and manufacture of injection-molded parts with desired properties is a costly process dominated by empiricism, Including the repeated modification of actual tooling. The objective of this study is to obtain the good design of injection-molded polymeric parts using axiomatic design approach.

평판 디스플레이 세정을 위한 상압 플라즈마 에싱효과에 관한 연구

허용정,이건영,Huh, Yong-Jeong,Lee, Gun-Young 한국반도체디스플레이기술학회 2008 반도체디스플레이기술학회지 Vol.7 No.2

This study shows the improvement of PR-Ashing rates in semi-conductor process using Atmospheric Plasma. Taguchi method is used to improve Ashing rates of photo-resist that is spread on the surface of a wafer. Improvement of Ashing rates is acquired through the decision of the effective factors and suitable combination of the factors. The results show the contribution rate of each factor and the effectiveness of Plasma for PR-Ashing process in this system.

효과적 산학연계교육을 위한 트리즈 기반 6시그마 적용사례에 관한 연구

허용정 ( Yong Jeong Huh ),홍성도 ( Sung Do Hong ),김재민 ( Jae Min Kim ) 한국실천공학교육학회 2013 실천공학교육논문지 Vol.5 No.1

본 연구는 기술 인력들의 공동과제를 놓고 산학협동을 통해 문제를 해결하는 체험적 학습을 기반으로 하는 산학협동모델을 제안하고, 이를 위한 가이드라인을 구성하여 현장에 적용한 사례연구이다. 대상 기업인 ㈜서림에 6 시그마 방법론과 창의적 문제해결이론인 TRIZ를 연계시킴으로써 효과적인 문제 진단 및 해결 관련 교육을 실시 및 적용하였고 품질 관리 및 개선에 대한 지침을 제공하였다. 또한, 기업 내 관리 및 생산 부서 사원의 설문조사 결과를 바탕으로 본 연구의 성과를 평가 및 분석하였다. An Education-Industrial cooperative system is a systematic effort that industrial body and educational body cooperate with each other in order to achieve two different purposes. This paper suggested an education-industrial cooperative system model based on the experiential learning through cooperating with the industry. SEARIM, the research activities company is received the guideline for the improvement and management of quality regarding products by using TRIZ/6-sigma. Also, we evaluated and analyzed the product of this study result based on the result a survey.

LPG 충전소 저장탱크의 설치방법에 따른 경제성 분석에 관한 연구

허용정(Yong-Jeong Huh),임주연(Ju-Yeon Lim),염무열(Moo-Youl Youm),임사환(Sa-Hwan Leem) 한국가스학회 2016 한국가스학회지 Vol.20 No.1

환경 친화적 자동차는 우리나라 정부가 추구하는 저탄소 녹생 성장 전략의 상징이어 왔다. 최근 정책 추세에 맞추어, 새로운 LPG 충전소가 많이 지어지고 있다. 하지만 대규모 가스 저장시설에서의 안전사고는 사회적으로 막대한 인명 피해와 재산 피해를 야기시켜 왔다. 이 논문에서는, LPG 충전소에서 안전사고를 사전에 예방하기 위하여 설치방법에 따라 경제적 분석을 실시하였다. 분석결과, 지하 저장소는 그 유지관리 및 효율적인 토지이용 면에서 긍정적인 것으로 나타났다. Eco-friendly automobile has been a symbol of the Low Carbon, Green Growth strategy that Korea government decided to pursue. In line with the recent policy trend, a number of new LPG stations are being constructed. However, communities where mass storage are installed have been suffered from risk of serious accidents. In this work, economic analyses for different installation methods has been performed to prevent accidents in LPG filling station. The review shows that the underground storage is beneficial for the maintenance and the effective land use.

퓨 방법을 통한 최적의 저장탱크 시공에 관한 연구

허용정(Yong Jeong Huh),이종락(Jong Rark Lee),이선영(Seon Yeong Lee),임사환(Sa Hwan Leem) 한국가스학회 2014 한국가스학회지 Vol.18 No.4

본 연구는 가스충전소 등에서 운용하는 저장탱크에 대하여 퓨(Pugh) 방법을 통하여, 기존의 지상형과 지하형의 장점과 단점을 비교?판정하여 경제적 시공으로 고객만족을 실현시키기 위함이다. 특히 대규모 저장시설에서의 가스사고를 획기적으로 줄여 사회적으로 심각한 안전문제를 해결하고자 한다. 가스를 대량으로 취급?저장하는 시설에서 운용하는 저장탱크의 설치방법을 퓨 방법으로 판단하면 기존의 지상형과 지하매몰형, 지하격납형 중에서 안전성과 토지이용률이 우수한 형태는 지하격납저장탱크가 가장 효과적이다. The aim of this study is achieving customer satisfaction by finding cost-effective installation of storage tanks in the gas filling stations. Pros and cons were measured by comparison between above and underground tanks using Pugh methods. In particular, severe problems regarding gas safety are expected to be resolved by reducing the frequency of gas accidents occurred in mass storage facilities. To this end, we have used Pughs method to compare the advantages and disadvantages of the existing storage tanks-Ground above type and underground type. After the analyses, it is shown that underground containment storage tank can provide the highest degree of safety and Real estate among Ground above type, Underground buried type and underground containment type storage tanks.

TRIZ/CAE를 활용한 철도차량 윤축용 캡의 창의적 설계

허용정(Huh, Yong-Jeong),김재민(Kim, Jae-Min),홍성도(Hong, Sung-Do) 한국산학기술학회 2013 한국산학기술학회논문지 Vol.14 No.6

철도차량의 안전성을 위해 사용되는 윤축은 차량 전체 중량의 16% 를 차지하는 요소로서, 철도차량의 경량 화에 있어 필수적으로 연구되는 대상이다. 본 연구는 기존 윤축의 중량을 요구강도에 만족시킴과 경량화를 목적으로 창의적 문제해결이론인 TRIZ의 6SC를 적용하여 중공구조의 윤축 내부에 사용될 수 있는 캡을 설계하였고, 설계에 대한 검증을 위해 해석 툴인 ANSYS를 활용하였다. 본 연구에서 제안한 캡의 재질은 SM45C이며 중공구조이다. 또 한, 윤축에 요구되는 강도를 만족하기 위해 중공 윤축의 베어링 시트 부 내부에 위치한다. 본 연구를 통해 설계 및 해석된 캡을 삽입한 윤축은 전동차의 윤축에 요구되는 기준을 만족하였으며 무게는 중실축과 비교하였을 때, 약 6.76%를 감소시켰다. 윤축 강도에 대한 평가 기준은 EN13103 및 EN13104의 규격을 적용하였다. 또한, 캡을 장착한 윤축의 최대응력 및 중량에 대해 기존의 중실축, 중공축과 비교함으로써 설계에 대한 효과를 검증하였다. This paper aims at the design of wheel and axle with cap. The cap is conceptually designed by using TRIZ/CAE. Wheel axle is used at railway vehicle to safety and it is always investigated to reduce the railway vehicle weight. The cap has hollow shaft with the material of SM45C. Cap is located in the bearing seat of wheel and axle. The cap becomes durable within the allowable stress of EN13103, 13104 standard. In this study, the strength of wheel and axle with cap becomes higher than that of hollow shaft. The weight of wheel and axle with cap becomes lower by about 6.75 percent than that of solid shaft. The confidence of wheel and axle with cap can be improved by comparing with solid and hollow shafts.

A Study on the Estimation of Damage by Leaking of NH₃ and Cl₂ applied to LPCVD

Yong-Jeong Huh(허용정),Sa-Hwan Leem(임사환) 한국가스학회 2014 한국가스학회지 Vol.18 No.5

첨단과학이 발전하면서 반도체의 필요성은 끊임없이 요구되고 있으며, 이러한 반도체 공정에서는 다량의 독성가스를 이용한 공정이 많다. 이러한 공정에서 가스의 누설로 인한 사고의 위험성은 항상 내재되어 있는 실정이다. 특히 국내 독성가스 사고는 암모니아와 염소에 의한 사고가 대부분이다. 따라서 본 논문에서는 LPCVD 공정에서 사용하는 암모니아와 염소의 누출로 인한 피해를 예측하여 안전에 만전을 기하고자 한다. As high-tech science has developed, the need of semiconductor is required constantly. However, there are many processes which use a great deal of poisonous gas in the semiconductor process, so the dangerousness by a gas leak is latent in these processes. Especially, the accident of toxic gas is almost made by ammonia and chlorine. Therefore this report estimates the damage by the leak of ammonia and chlorine used in LPCVD system.

반도체 칩 캡슐화(encapsulation)를 위한 트랜스퍼 금형 캐비티(cavity)에서의 설계 해석 및 실험에 관한 연구

한세진,허용정,Han, Sejin,Huh, Yong-Jeong 한국정밀공학회 1995 한국정밀공학회지 Vol.12 No.12

An effort has been made to more accurately analyze the flow in the chip cavity, particularly to model the flow through the openings in the leadframe and correctly treat the thermal boundary condition at the leadframe. The theoretical analysis of the flow has been done by using the Hele- Shaw approximation in each cavity separated by a leadframe. The cross-flow through the openings in the leadframe has been incorporated into the Hele-Shaw formulation as a mass source term. The temperature of the leadframe has been calculated based on energy balance in the leadframe. The flow behavior in the leadframe has been verified experimentally. In the experiment, a transparent mold and clear fluid have been used for flow visualization. Comparisons were made between the calculation and experimental results which showed a good agreement.

머신 러닝 회귀 방안을 이용한 인공지지체 기공 크기 예측모델 성능에 관한 연구

이송연,허용정,Lee, Song-Yeon,Huh, Yong Jeong 한국반도체디스플레이기술학회 2020 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.1

In this paper, We need to change all print factors when which print scaffold with 400 ㎛ pore using FDM 3d printer. Therefore the print quantity is 10 billion times, So we are difficult to print on workplace. To solve the problem, we used the prediction model based machine learning regression. We preprocessed and learned the securing print condition data, and we produced different kinds of prediction models. We predicted the pore size of scaffolds not securing with new print condition data using prediction models. We have derived the print conditions that satisfy the pore size of 400 ㎛ among the predicted print conditions of pore size. We printed the scaffolds 5 times on the condition. We measured the pore size of the printed scaffold and compared the average pore size with the predicted pore size. We confirmed that error was less than 1%, and we were identify the model with the highest pore size prediction performance of scaffold.