GaN epitaxy 층의 식각특성에 미치는 공정변수의 영향

최병수,박해리,조현,Choi, Byoung Su,Park, Hae Li,Cho, Hyun 한국결정성장학회 2016 한국결정성장학회지 Vol.26 No.4

The effect of process parameters such as plasma composition, ICP (Inductively Coupled Plasma) source power and rf chuck power on the etch characteristics of GaN epitaxy layer was studied. $Cl_2/Ar$ ICP discharges showed higher etch rates than $SF_6/Ar$ discharges because of the higher volatility of $GaCl_x$ etch products than $GaF_x$ compounds. As the Ar ratio increases in the $Cl_2/Ar$ ICP discharges, the etch anisotropy was enhanced due to the improved physical component of the etching. For both plasma chemistries, the GaN etch rate increased continuously as both the ICP source power and rf chuck power increased, and a maximum etch rate of 251.9 nm/min was obtained at $13Cl_2/2Ar$, 750W ICP power, 400W rf chuck power and 10 mTorr condition.

단공시험 해석에서 저류계수의 보정방법

최병수,Choi, Byong-Soo 한국지하수토양환경학회 2007 지하수토양환경 Vol.12 No.3

대수층시험에서 관측공 없이 단공으로 양수시험을 시행하는 경우 일반적으로 저류계수가 실제보다 크게 산정된다. 이를 보정하려면 유효우물반경을 계산하여 이를 가상의 관측정 거리로 입력하는 방법으로 시간-수위강하량 자료를 해석하여야 한다. 유효우물반경의 계산은 단계양수시험에 의하거나 또는 스킨계수 공식을 적용하여 실행할 수 있다. 그러나 이 두 가지 방법 모두 조사대상 대수층의 저류계수를 추정하여 대입하는 시행착오 방식으로서 현장 적용성은 다소 부족하다. 본고에서는 국내에서 시행된 다수의 양수시험 자료를 바탕으로, 단공시험 저류계수를 독립변수로 하는 유효우물반경 산정공식을 유도하였다. 본 연구에는 양수정과 관측정에서 동시에 수위강하를 측정한 136개소의 양수시험자료가 이용되었다. 먼저, 양수정 자료만으로 산출된 저류계수가 관측정 자료로 구해진 저류계수와 같은 값을 가질 수 있는 관측거리 즉, 유효우물반경을 구하였으며, 이 유효우물반경과 양수정에서 구한 저류계수의 상관관계를 바탕으로 단공시험에서 유효우물반경 산정에 사용할 수 있는 회귀공식을 얻을 수 있었다.

수소화 표면 개질이 나노다이아몬드 seed 입자의 분산 및 핵형성 밀도에 미치는 영향

최병수,전희성,엄지훈,황승구,김진곤,조현,Choi, Byoung Su,Jeon, Hee Sung,Um, Ji Hun,Hwang, Sungu,Kim, Jin Kon,Cho, Hyun 한국결정성장학회 2019 한국결정성장학회지 Vol.29 No.6

수소 분위기 열처리 및 수소 플라즈마 처리의 두 가지 수소화 표면개질을통해 나노다이아몬드 seed 입자의 분산 향상 및 평탄한 초미세 나노결정질 다이아몬드 박막증착을 위한 핵형성 밀도 향상을 확보하였다. 수소화 처리 이후 나노다이아몬드 입자 표면의 탄소-산소 및 산소-수소 결합기가 탄소-수소 결합기로 전환되는 화학적 표면개질이 진행되었고 Zeta 전위가 증가하였다. 분산도 향상에 따라 나노다이아몬드 응집체 크기가 현저하게 감소하였고 핵형성 밀도는 크게 증가하였다. 600℃, 수소분위기에서 열처리 이후 나노다이아몬드 평균 입자 크기가 3.5 ㎛에서 34.5 nm로 크게 감소하였고, seeding 된 Si 기판 표면에서 ~3.9 × 10¹¹ nuclei/㎠의 매우 높은 핵형성 밀도를 확보하였다.

양자컴퓨팅시스템 개발 및 활용 동향

최병수,Choi, B.S. 한국전자통신연구원 2016 전자통신동향분석 Vol.31 No.2

지난 60여 년간은 고전정보에 기반한 통신, 저장, 처리 능력이 비약적으로 발전하였다. 이 과정에서 가장 많이 사용된 방법은 정보소자의 크기를 감소시키는 방법이었는데, 이러한 접근법은 최근에 그 한계에 도달하고 있다. 이러한 한계를 극복하기 위해서 다양한 접근법이 연구되고 있으며, 궁극적으로는 양자역학적 현상에 기반하는 양자정보가 사용될 것으로 예상된다. 양자정보는 크게 계산성과 보안성을 향상시키는데, 이에 따라서 향후 ICT 전반에서 많은 변화가 생길 것으로 예상된다. 본고에서는 특히 양자정보에 기반한 양자컴퓨팅을 중심으로, 양자정보의 발현과 관련한 역사적 흐름, 양자정보에 기반한 정보처리의 핵심요소, 양자컴퓨팅 구현 방법론, 양자컴퓨팅 활용 방법론, 현재의 기술수준을 소개한다. 마지막으로 ICT의 경제의존도 및 사회몰입도가 높은 우리나라가 이러한 ICT패러다임의 전환기에서 과연 무엇을 어떻게 준비해야 하는지도 살펴본다.

제조공법에 따른 디스플레이 소자용 silver-grid 투명전극층의 특성 비교

최병수,최석환,류정호,조현,Choi, Byoung Su,Choi, Seok Hwan,Ryu, Jeong Ho,Cho, Hyun 한국결정성장학회 2017 한국결정성장학회지 Vol.27 No.2

Honeycomb-shaped Ag-grid transparent conductive electrodes (TCEs) were fabricated using two different processes, high density plasma etching and lift-off, and the optical and electrical properties were compared according to the fabrication method. For the fabrication of the Ag-grid TCEs by plasma etching, etch characteristics of the Ag thin film in $10CF_4/5Ar$ inductively coupled plasma (ICP) discharges were studied. The Ag etch rate increased as the power increased at relatively low ICP source power or rf chuck power conditions, and then decreased at higher powers due to either decrease in $Ar^+$ ion energy or $Ar^+$ ion-assisted removal of the reactive F radicals. The Ag-grid TCEs fabricated by the $10CF_4/5Ar$ ICP etching process showed better grid pattern transfer efficiency without any distortion or breakage in the grid pattern and higher optical transmittance values of average 83.3 % (pixel size $30{\mu}m/line$ width $5{\mu}m$) and 71 % (pixel size $26{\mu}m/line$ width $8{\mu}m$) in the visible range of spectrum, respectively. On the other hand, the Ag-grid TCEs fabricated by the lift-off process showed lower sheet resistance values of $2.163{\Omega}/{\square}$ (pixel size $26{\mu}m/line$ width $18{\mu}m$) and $4.932{\Omega}/{\square}$ (pixel size $30{\mu}m/line$ width $5{\mu}m$), respectively.

순서범주형자료 분석을 위한 베이지안 분계점 모형

최병수,이승천,Choi Byangsu,Lee Seung-Chun 한국통계학회 2005 응용통계연구 Vol.18 No.1

A Bayesian threshold model is considered to analyze binary or ordered categorical traits. Gibbs sampler for making full Bayesian inferences about the category probability as well as the regression coefficients is described. The model can be regarded as an alternative to the ordered logit regression model. Numerical examples are shown to demonstrate the efficiency of the model.

기저상태계산 문제에 대한 양자컴퓨팅의 성능 분석

최병수,Choi, Byung-Soo 한국광학회 2018 한국광학회지 Vol.29 No.2

As the quantum volume increases, we are about to use quantum computers for real applications. Therefore, it is necessary to investigate how much quantum-computational gain is achievable in the near future. In this work, we analyze a fault-tolerant quantum computing method for near-term applications such as the ground-state estimation problem. Based on quantitative analysis, we find that it is still necessary to improve the current fault-tolerant quantum computing. This work also discusses which parts should be improved to improve quantum computing performance.

데이터 마이닝을 위한 이산화 알고리즘에 대한 비교 연구

최병수,김현지,차운옥,Choi, Byong-Su,Kim, Hyun-Ji,Cha, Woon-Ock 한국통계학회 2011 Communications for statistical applications and me Vol.18 No.1

The discretization process that converts continuous attributes into discrete ones is a preprocessing step in data mining such as classification. Some classification algorithms can handle only discrete attributes. The purpose of discretization is to obtain discretized data without losing the information for the original data and to obtain a high predictive accuracy when discretized data are used in classification. Many discretization algorithms have been developed. This paper presents the results of our comparative study on recently proposed representative discretization algorithms from the view point of splitting versus merging and supervised versus unsupervised. We implemented R codes for discretization algorithms and made them available for public users.

TiZrN 박막의 조성이 구조적 특성 및 열적 특성에 미치는 영향

최병수,엄지훈,석민준,이병우,김진곤,조현,Choi, Byoung Su,Um, Ji Hun,Seok, Min Jun,Lee, Byeong Woo,Kim, Jin Kon,Cho, Hyun 한국결정성장학회 2021 한국결정성장학회지 Vol.31 No.1

The effect of chemical composition on the structural and thermal properties of TiZrN thin films was studied. As the Zr fraction in the deposited TixZr1-xN (x = 0.87, 0.82, 0.7, 0.6, and 0.28) increased, microstructural changes consisted of reduction in the grain size and a gradual transition from columnar structure to granular structure were observed. In addition, it was also confirmed that a gradual crystal phase transition from TiN to TiZrN has occurred as the Zr fraction increased up to 0.4. After heat treatment at 900℃, Ti0.82Zr0.18N and Ti0.7Zr0.3N layers were converted to a form in which rutile phase TiO2 and TiZrO4 oxides coexist, while Ti0.6Zr0.4N layer was converted to TiZrO4 oxide. Among the five compositions of TiZrN films, the Ti0.6Zr0.4N showed the best high temperature stability and produced a significant enhancement in the thermal oxidation resistance of Inconel 617 through suppressing the surface diffusion of Cr caused by thermal oxidation of the Inconel 617 substrate.

상호정보와 엔트로피를 활용한 대표문항 선택방법

최병수,김현지,Choi, Byong-Su,Kim, Hyun-Ji 한국통계학회 2010 Communications for statistical applications and me Vol.17 No.4

A questionnaire may consist of duplicated or similar items. This study finds the duplicated or similar items by using the MDS and the cluster analysis of response patterns. By identifying the characteristics of the cluster, those items are combined into a representative item. The similarity of items is measured by the mutual information.