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도핑되지 않은 다결정 다이아몬드 박막의 전계방출기구 조사
심재엽(Jae Yeob Shim),지응준(Eung Joon Chi),송기문(Kie Moon Song),백홍구(Hong Koo Baik) 한국진공학회(ASCT) 1999 Applied Science and Convergence Technology Vol.8 No.4(1)
도핑되지 않은 다이아몬드 박막의 전계방출기구를 조사하기 위하여 양의 기판전압과 메탄농도를 변화시켜 구조적 특성이 다른 다이아몬드 박막을 제조하였다. 메탄농도와 양의 기판전압을 증가시킴에 따라 다이아몬드 박막내에 존재하는 비다이아몬드 성분은 증가하였다. 기판전압을 증가시킴에 따라 비다이아몬드 성분이 증가하는 것은 기판온도의 증가와 CH_n 라디칼(radical)의 과잉 생성때문이라고 생각된다. 도핑되지 않은 다결정 다이아몬드 박막의 전계방출특성은 비다이아몬드 성분의 양이 증가함에 따라 현저하게 향상되었다. 비다이아몬드 성분이 적은 경우에는 다이아몬드 표면을 통하여 전자가 방출되며 비다이아몬드 성분이 많은 경우는 모서리 뿐만아니라 내부를 통하여 전자가 방출됨을 알 수 있었다. 본 연구로부터 비다이아몬드 성분의 양에 따른 두가지의 전계방출기구가 제시되었다. In order to investigate field emission mechanism of undoped polycrystalline diamond films, diamond films with different structural properties were deposited by varying positive substrate bias and/or CH₄ concentration. When increasing the CH₄ concentration and positive substrate bias voltage, nondiamond carbon content in diamond films increased. Increase of nondiamond carbon content with increasing substrate voltage is ascribed to increase of substrate and excess generation of CH_n radicals. Field emission properties of undoped polycrystalline diamond films were significantly enhanced with increasing nondiamond carbon content. For diamond films with a small amount of nondiamond carbon, electrons are emitted through diamond surface while for the films with a large amount of nondiamond carbon, electron emission occurs through diamond bulk as well as surface. From this study, depending on nondiamond carbon content two field emission mechanisms were suggested.
이온선 혼합에 의한 Al / Pd계의 상형성 및 전이에 관한 열역학적 연구
최정동(Jeong Dong Choi),홍진석(Jin Seok Hong),곽준섭(Joon Seop Kwak),지응준(Eung Joon Chi),박상욱(Sang Wook Park),백홍구(Hong Koo Baik),채근화(Keun Hwa Chae),정성문(Sung Mun Jung),황정남(Chung Nam Whang) 한국진공학회(ASCT) 1993 Applied Science and Convergence Technology Vol.2 No.2
Al/Pd 계에서 이온선 혼합에 의한 초기 상형성 및 상전이를 연구하기 위하여 Al(500 Å)/Pd (200 Å)/glass 이중박막을 제작하여 여러가지 이온선량으로 80 keV의 에너지를 가진 Ar^+을 주입시켰다. RBS, TEM 등을 이용하여 이온선에 의한 혼합양상 및 상분석을 행하였다. 상온에서 이온선 혼합법에 의해 초기에 형성된 Al₃Pd₂는 이온선량이 증가함에 따라 Al₃Pd₂ 뿐만 아니라 AlPd상이 형성됨을 알 수 있었다. 유효생성열 (ΔH') 개념을 이온선 혼합에 의한 상형성 및 전이에 도입하여 초기 Al₃Pd₂ 형성 및 AlPd상으로서 상전이를 예측하였으며, 이러한 예측은 실험결과와 매우 일치함을 알 수 있었다. 금속/금속계 뿐만 아니라 금속/실리콘계에 대해서 이온선 혼합에 의한 초기 상형성 및 상전이에 관한 연구 및 실험이 현재 진행 중에 있다. Evaporated Al/Pd thin films were irradiated with various doses to produce intermetallic compounds. In order to study the first phase formation and phase sequence, RBS and TEM studies have been used. It was found that the initial phase formed by irradiation of 5×10^(15)Ar^+/㎠ was Al₃Pd₂, while 1.5×10^(16)Ar+/㎠ gave the subsequent phase of AlPd. This phenomenon was analysed using effective heat of formation (ΔH') model. The experimental results agree with that predicted by effective heat of formation model. This model has been extended to predict the first phase formation and phase sequence by ion beam mixing in metal/Si systems as well as metal/metal systems.
이온선 혼합에 의한 Al/Cr 계의 상형성 및 전이에 관한 열역학적 연구
박상욱,백홍구,최정동,곽준섭,홍진석,지응준,채근화,정성문,황정남 대한금속재료학회(대한금속학회) 1993 대한금속·재료학회지 Vol.31 No.8
Evaporated Al/Cr thin films were irradiated with various doses to produce intermetallic compounds. In order to study the first phase formation and phase sequence, RBS, XRD and TEM studies have been used. RBS analysis shows that intermixing has occurred across the Al/Cr interface and mixing variance increases with increasing ion dose. The Al_(13)Cr₂ phase is formed as an initial phase by ion beam mixing and then transforms into the Al_(11)Cr₂ or Al₄Cr phases at subsequent ion bomdardment. This phenomenon is discussed in terms of the enhanced atomic mobility and the thermodynamical driving force by introducing the effective heat of formation(ΔH) model. The experimental results agree with that predicted by effective heat of formation model. It has been studied the first phase formation and phase sequence by Ion Beam Mixing in metal/Si systems as well as metal/metal systems.