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Sub-Micro to Nanometer Scale Laser Direct Writing Techniques with a Contact Probe
정호원,김용우,김석,장진희,한재원 한국정밀공학회 2011 International Journal of Precision Engineering and Vol. No.
Modern laser direct writing techniques provide tools for high-precision fabrication and manufacturing at the micro scale. As the integration of devices increases, the feature size is being reduced to the nanometer scale. In this paper, we developed a contact-probe-based laser direct writing technique that covers the sub-micro to nanometer scale. The proposed probe uses a solid immersion lens or a nano-aperture to enhance the resolution in a near-field writing method. We integrated several of the proposed probes with a conventional laser direct writing system and achieved pattern resolutions up to 35 nm with a 405nm wavelength laser. Furthermore, the scanning speed (~ 10 mm/s) of the probes was high enough to use it in actual industry fabrication processes. With the proposed probe-based system, electronic, photonic, or plasmonic devices that require sub-micro meter scale features can be fabricated by means of laser direct writing. The minimum width of the line pattern recorded with the plasmonic device was 35nm.
정호원,오세원,안유환 한국데이타베이스학회 1998 Journal of information technology applications & m Vol.4 No.2
동일 하거나 유사한 기능을 수행하는 소프트웨어 제품들 중에서 사용자 요구사항에 가장 적합한 제품을 결정하기 위하여 측정과 평가 및 선정을 실시하는 것은 매우 중요한 일이다. 이러한 소프트웨어 제품의 평가와 선정은 대량 구매시 객관성 확보를 위해 특히 중요하다. 소프트웨어 제품의 평가를 위한 절차는 평가 대상 제품의 속성 결정과 측정, 속성의 중요도에 따른 가중치 부여, 그리고 평가와 선정 모형을 통한 최적제품의 선정이나 우선순위의 결정이다. 본 연구에서는 이러한 절차에 따라 가중치 부여 방법으로는 계층적 분석과정을 이용하고, 제품의 평가와 선정 방법으로는 4개 보상모형과 7개 비보상모형, 그리고 4개의 DEA(Data Envelopment Analysis)모형을 종합적으로 설명한다. 또한 본 연구에서는 위의 15개 평가와 선정모형을 사용하여 Infoworld(Jan. 1997)에서 발표한 '문서 작업흐름 관리' 소프트웨어 제품의 속성에 대한 측정결과를 가지고 모형별 적용 결과를 분석한다.