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Sub-90nm급 Logic 소자에 대한 기생 저항 성분 추출의 연구
이준하,이흥주,이주율 호서대학교 반도체제조장비국산화연구센터 2003 학술대회 자료집 Vol.2003 No.1
sub-90nm급 high speed 소자를 위해서는 extension영역의 shallow junction 과 sheet 저항의 감소가 필수적이다. 일반적으로 기생저항은 channel저항의 약 10∼20%정도를 차지하도록 제작되므로, 이를 최소화 하여 optimize하기 위해서는 기생저항에 대한 성분 분리와 이들이 가지는 저항값에 대항 정략적 계산이 이루어져야 한다. 이에 본 논문은 calibration된 TCAD simulation을 통해 90nm급 Tr.에서 각 영역의 저항성분을 계산, 평사하는 방법으로 제시한다. 이 결과, 특히, extention영역의 표면-accumulation부분이 가장 개선이 있어야 할 부분으로 분석되었으며, 이 저항은 gate하부에 존재하는 extension으로부터 발생되는 측면 doping의 tail영역으로 인해 영성되는 것으로,doping의 abruptness가 가장 중요한 factor인 것으로 판단된다.
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Nano-Scale MOSFET 소자의 Contact Resistance에 대한 연구
이준하,이홍주 한국산학기술학회 2004 한국산학기술학회논문지 Vol.5 No.1
고속처리를 위한 나노급의 논리소자의 개발을 위해서는 소스/드레인 영역의 저항을 감소시키는 것이 필수적이다. 반도체소자의 개발 로드맵을 제시하고 있는 ITRS의 보고에 의하면 70㎚급 MOSFEl에서는 채널영역의 저항에 대비하여 그 외의 영역이 나타내는 저항성분이 약 15% 이내로 제작되어야 할 것으로 예측하고 있다. 이 기준을 유지하기 위해서는 소스/ 드레인 영역의 각 전류 흐름에 기언하는 가상적 기생저항에 대한 성분 분리와 이들이 가지는 저항값에 대한 정량적 계산이 이루어져야 한다. 이에 본 논문은 calibration된 TCAD simulation을 통해 나노영역의 Tr.에서 저항성분을 계산, 평가하는 방법을 연구하였다. 특히, 소스/드레인 영역의 실리사이드 접촉 저항성분들을 최소화하여 optimize하기 위한 전략을 제시한다. The current driven in an MOSFET is limited by the intrinsic channel resistance. All the other parasitic elements in a device structure play a significant role and degrade the device performance. These other resistances need to be less than 15% of the channel resistance. To achieve the requirements, we should investigate the methodology of separation and quantification of those resistances. In this paper, we developed the extraction method of resistances using calibrated TCAD simulation. The resistance of the extension region is also partially determined by the formation of a surface accumulation region that forms under the gate in the tail region of the extension profile. This resistance is strongly affected by the abruptness of the extension profile because the steeper the profile is, the shorter this accumulation region will be.
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Flash Memory의 Model Parameter 생성 자동화
이준하,이흥주,강정원 한국산학기술학회 2003 한국산학기술학회 학술대회 Vol.- No.-
Flash memory는 device 특성상 peripheral circuit을 구성하는 transistor의 종류가 다양하고, 이에 따른 각 transistor의 동작 전압 영역이 넓다. 이에 따라 설계 초기의 전기적 특성 스펙 결정을 위해서는, silicon 상에서 소자의 scale down에 따른 전기적 특성을 선 검증하는 과정이 필수적이었으며, 이로 인해 설계 및 소자 개발의 기간을 단축하기 어려웠다. 본 연구에서는 TCAD tool을 사용하여 silicon상에서의 제작 공정을 거치지 않고, 효과적으로 model parameter를 생성할 수 있도록 하는 방법을 제안하여 전기적 특성 스펙 결정과 설계 단계의 시간 지연을 감소할 수 있도록 한다.
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자율신경 활성도 측정을 위한 power spectral analysis 시스템의 설계 및 제작
이준하,이상학,신현진 한국의학물리학회 1995 의학물리 Vol.6 No.2
자율신경계는 서로 상반되게 작용하는 교감신경과 부교감신경으로 구성되어 그 활성의 균형에 의해 신체의 향상성이 유지된다. 자율신경계는 각종 스트레스나 질환에 의해 그 활성이 변화한다. 그러나 자율신경계의 메카니즘은 너무나 복잡하여 해석이 용이하지 않은 관계로 인체에서 유기되는 여러가지 생체신호중에서 자율신경에 의해 지배되는 심전도 신호와 호흡을 매개변수로하여 자율신경의 활성도를 측정하는 시스템의 설계와 제작이 본 연구의 목적이다. 본 논문을 수행하기 위해서 심전도 신호 증폭기, 호흡변위 증폭기, interval time generator 및 처리 소프트웨어 등을 제작하였다. 그리고 심전도 신호와 호흡요소에 대한 power spectrum을 나타낼 뿐만 아니라 이들을 합성하여 하나의 graph로 표현할 수 있도록 하였다. Power spectral analysis of spontaneous heart rate fluctuations were assessed by use of autooic blocking agents and changes in posture. The total power spectral range of interest is divided amongst the various experiments so that each respiratory pattern contributes a spectral ratio of interval to respiration only over a group of frequencies for which the specific respiratory pattern has substantial, and roughly constant, spectral magnitudes. System hardware is consisted ECG preamplifier, respiratory fluctuation detect, interval time generator and IBC 486PC. High frequency fluctuation, at the respiratiory frequency, are decreased by standing and are mediated solely by the parasympathetic system. Power spectral analysis is a powerful nonivsve tool for quantitying autonomic nervous system activity.
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이준하,Lee, Joon-Ha 한국의학물리학회 2008 의학물리 Vol.19 No.1
최근 첨단 과학의 발달과 함께 인체조직에 대한 적용도가 뛰어난 소재가 개발되어 초소형의 이식형 장치가 개선되어감에 따라 전력공급방법의 다양한 연구가 이루어져 유도코일을 이용하여 무선으로 전력을 전송하는 장치가 연구되어오고 있다. 이에 저자는 이론적으로 효율이 100%인 E급 전력증폭기를 사용하여 $2{\sim}30mm$의 공극거리에서 가장 이상적인 주파수를 1MHz로 설정하여 제작하였고, 직경 46mm의 송수신 코일을 이용하여 코일의 비정렬에 대한 전송율이 이격거리가 10mm일 때, 20% 감소되었다. PLL을 사용하여 주파수추적동조법으로 공극거리 15 mm 이내에서는 완만하게 20% 정도의 에너지 전송효율을 얻을 수 있었다. 또한 최적의 공진거리에서 50 mA 정도의 출력전류가 얻을 수 있다는 것은 초소형 전기 자극기와 같은 이식형 장치를 동작시키는데 구동 전력으로 가능하다는 것을 알 수 있었다. Bio-implantable devices such as heart pacers, gastric pacers and drug-delivery systems require power for carrying out their intended functions. These devices are usually powered through a battery implanted with the system or are wired to an external power source. This paper describes an inductive power transmission link, which was developed for an implantable stimulator for direct stimulation of denervated muscles. The carrier frequency is around 1MHz, the transmitter coil has a diameter of 46mm, and the implant coil is 46mm. Data transmission to the implant with amplitude shift keying (ASK) and back to the transmitter with passive telemetry can be added without major design changes. We chose the range of coil spacing (2 to 30mm) to care for lateral misalignment, as it occurs in practical use. If the transmitter coil has a well defined and reliable position in respect to the implant, a smaller working range might be sufficient. Under these conditions the link can be operated in fixed frequency mode, and reaches even higher efficiencies of up to 37%. The link transmits a current of 50 mA over a distance range of 2-15 mm with an efficiency of more than 20% in tracking frequency. The efficiency of the link was optimized with different approaches. A class E transmitter was used to minimize losses of the power stage. The geometry and material of the transmitter coil was optimized for maximum coupling. Phase lock techniques were used to achieve frequency tracking, keeping the transmitter optimally tuned at different coupling conditions caused by coil distance variations.
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이준하,Lee, Jun-Ha 한국반도체디스플레이기술학회 2009 반도체디스플레이기술학회지 Vol.8 No.4
We investigated a nanoscale inertia sensor based on telescoping carbon nanotubes, using classical molecular dynamics simulations. The position of the telescoping nanotubes is controlled by the centrifugal force exerted by the rotation platform, thus, position shifts are determined by the capacitance between carbon nanotubes and the electrode, and the operating frequency of the carbon nanotube oscillator. This measurement system, tracking oscillations of the carbon nanotube oscillator, can be used as the sensor for numerous types of devices, such as motion detectors, accelerometers and acoustic sensors.
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