유도결합 Cl₂ 및 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구

이주훈(Ju-Hoon Lee),이영준(Young-Jun Lee),김현수(Hyeon-Soo Kim),이주욱(Ju-Wook Lee),이정용(Jung-Yong Lee),염근영(Geun-Young Yeom) 한국진공학회(ASCT) 1997 Applied Science and Convergence Technology Vol.6 No.3

고밀도 유도결합 Cl₂ 및 HBr/Cl₂ 플라즈마를 이용하여 차세대 반도체 집적회로에 사용가능한 STI(Shallow Trench Isolation) 구조에서 trench 식각시 trench etch profile 및 격자손상에 영향을 미치는 공정변수의 효과에 대하여 연구하였다. 식각결과 Cl₂만을 사용한 경우에는 trench 식각공정 동안 화학적 측면식각의 증가로 인하여 등방성 식각이 얻어지고 이는 유도입력 전력이 증가하고 바이어스 전압이 감소함에 따라 이의 경향이 증가하였다. 측면식각의 정도는 Cl₂에 N₂ 및 O₂의 첨가에 따라 감소하여 HBr을 사용한 경우에 있어서는 Br 라디칼이 Cl 라디칼에 비하여 자발적인 실리콘 식각의 민감도가 감소하여 positive angle의 식각형상이 얻어졌으며 HBr내에 Cl₂의 증가에 따라 이방성 식각이 얻어졌다. 물리적인 격자손상을 투과전자현미경으로 관찰한 결과 Cl₂/N₂ 및 HBr을 함유한 식각가스를 사용한 경우에 trench 표면에서 결함이 관찰되었다. Silicon shallow trenches applied to the STI (Shallow Trench Isolation) of integrated circuits were etched using inductively coupled Cl₂ and HBr/Cl₂ plasmas and the effects of process parameters on the etch profiles of silicon trenches and the physical damages on the trench sidewall and bottom were investigated. The increase of inductive power and bias voltage in Cl₂ and HBr/Cl₂ plasmas increased polysilicon etch rates in general, but reduced the etch selectivities over nitride. In case of Cl₂ plasma, low inductive power and high bias voltage showed an anisotropic trench etch profile, and also the addition of oxygen or nitrogen to chlorine increased the etch anisotropy. The use of pure HBr showed a positively angled etch profile and the addition of Cl₂ to HBr improved the etch profile more anisotropically. HRTEM study showed physical defects formed on the silicon trench surfaces etched in Cl₂/N₂ or HBr/Cl₂ plasmas.

장내 미생물과 인체 건강에 관한 이야기

이주훈(Ju-Hoon Lee) 한국식품과학회 2014 식품과학과 산업 Vol.47 No.4

단상 인버터로 구성된 3상 구형파 인버터의 고조파 저감기법에 관한 연구

이주훈(Ju-Hoon Lee),조승연(Seung-Youn Cho),홍순찬(Soon-Chao Hong),이인환(In-Hwan Lee),황용하(Yong-Ha Hwang),박채운(Chae-Woon Park),한성수(Sung-Soo Han) 전력전자학회 2000 전력전자학술대회 논문집 Vol.2000 No.11

This paper deal with the harmonic reduction technique in three-phase square-wave inverter system formed by single-phase inverter. To reduce the harmonics, six single-phase inverters are used for forming multi-phase inverter and zig-zag connected output transformer for eliminating the harmonic 6(2k-l)±1 orders. And an ac filter is furnished at output side. Computer simulations show that the THD of the output voltage can be reduced immensely.

배관계 수격현상이 배관지지에 미치는 영향에 관한 연구

이주훈(Ju-Hoon Lee),정광섭(Kwang-Seop Chung),김영일(Young-Il Kim),사기용(Ki-Yong Sa) 대한설비공학회 2010 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2010 No.6

Water hammering created by unsteady flow in pipeline systems can cause excessive change of pressure, cavitation, vibration, and noise. In this study, water hammering on pipe supports has been investigated numerical simulation under circumstances which requires systematic study for development of water supply piping system of high rise building. Simulation were conducted to verify the effect of water hammering on pipe supports by pressure generated by sudden valve closure.

애니메이션 카메라 무브먼트의 비물질적 특성과 공간 연출

박민주 ( Min Ju Park ),이주훈 ( Joo Hoon Lee ) 한국기초조형학회 2016 기초조형학연구 Vol.17 No.3

본 연구의 목적은 애니메이션 연출에 있어서의 카메라의 역할과 카메라 무브먼트의 개념적 특성을 정의하고, 그 표현의 방법과 의미를 연구 분석하는 데 있다. 디지털 영상 시대에 접어들면서 카메라는 더욱 설득력 있는 극적인 도구가 됨과 동시에 ‘카메라이기’를 거부하기 시작하였다. 많은 실사영화에서 카메라 무브먼트는 물리적 카메라로 촬영된 것이 아닌 애니메이팅된 카메라 무브먼트이다. 애니메이션은 처음부터 실제로 존재하는 카메라가 아닌 그려진 카메라의 움직임으로 연출되는 매체였다. 애니메이션에서의 카메라 앵글과 무브먼트는 가상의, 즉 상상의 산물이며, 실재의 카메라가 연출할 수 없는 불가능한 공간을 넘나들며 영화의 극적 효과를 극대화시킨다. 그러나 이러한 상상의 카메라가 단순히 관객의 눈을 즐겁게 하는 시각적 효과만을 위해 쓰여 지는 것은 아니다. 애니메이션에서 카메라 무브먼트는 가상의 공간이 가지고 있는 다의성을 보여주고 나타내며, 이러한 공간은 그 자체가 코드화된 의미작용이 될 수 있다. 따라서 본 연구는 비물질적 카메라의 역할과 의미를 살펴보고, 그것이 가져온 새로운 미학적 영역은 어떠한 것인지를 연구하였다. 또한 2D와 3D 애니메이션에서 카메라 무브먼트의 의미를 각각 정의하고 구체적 사례분석을 통해 최근의 카메라 무브먼트에 대한 개념을 명확히 하였다. 그 결과 애니메이션의 비물질적 카메라 무브먼트는 관객들의 생각과 의식을 확장시키며 카메라에 대한 관습적 개념에 새로운 지각적 경험을 제공한다는 것을 알 수 있었다. 또한 실제 카메라가 재현하지 못하는 공간을 넘나들며 캐릭터의 극적 심리상태와 같은 내러티브의 요소에 적극적으로 개입하고 있다는 것을 알 수 있었다. The purpose of this study is to define the role of camera movement and its conceptual characteristics, and to analyze its ways and meanings. Since the digital film era began camera has become a much more powerful tool, but at the same time it has started denying itself as ‘being camera’. Lately camera movements in a number of live action films were ‘animated camera movements’, rather than the ones shot with actual cameras. The animators have used animated camera movements since the beginning of the animation history because it is the distinctive characteristics, which differ it from live action films in production process. The camera movements that are able to go through the impossible places are animated and imaginary in animation, and they maximize the dramatic effect of the film. However, they are not just for the visual fun that entertains audiences. They tell the multiple meanings that the imaginary spaces have, and the spaces themselves could be the coded interactions. Therefore, this paper studied the role and meaning of the imaginary camera movements and the esthetics that they have brought. Also, it defined the meaning of camera movement in both 2D and 3D animation, and clarified its concept through specific examples. As a result, the imaginary camera movements give a new perceptual experiences to audiences and enlarge their thoughts and visions. In addition this research found out that the camera movements involves to the narrative structure like character development as the camera goes back and forth to the impossible places where a physical camera can’t go into.

축산식품 미생물 유전체 연구를 위한 차세대 염기서열(NGS) 분석 및 활용 기술

김유태,권준기,이요셉,이주훈,Kim, You-Tae,Kwon, Joon-Gi,Lee, Jo-Seph,Lee, Ju-Hoon 한국축산식품학회 2020 축산식품과학과 산업 Vol.9 No.2

등산의 안전성 증대를 위한 알파인 폴 디자인 연구

이돈태 ( Don Tae Lee ),이주훈 ( Ju Hoon Lee ) 한국기초조형학회 2012 기초조형학연구 Vol.13 No.1

최근 여가 활용과 건강에 대한 관심이 증가하면서 등산인구가 크게 늘어나고 있다. 또한, 등산용품 시장이 빠르게 성장하면서 알파인 폴(Alpine Pole)을 사용하는 등산객도 큰 폭으로 증가하는 상황이다. 알파인 폴은 하지 부담을 경감시키고 운동효과를 높여주어 사용자의 등산운동에 도움이 되는 측면이 있는 반면, 길고 뾰족한 형상으로 안전사고 유발과 등산로 환경 훼손의 부정적 측면도 있다. 그러나 선행연구들은 알파인 폴의 운동학적 측면에 대한 관심에 그쳐왔으며, 주변사람과 환경에 미칠 수 있는 위험성에 대한 연구는 미비했다. 따라서 알파인 폴의 사용실태에 대한 실증조사를 통해 안전성을 증대시킨 알파인 폴의 디자인을 제시하고자 하였다. 알파인 폴의 날카로운 촉 부분은 주변 사람의 부상과 등산로의 환경을 훼손시킬 수 있는 것으로 조사되었는데, 촉의 접촉 충격을 완화시키는 완충장치(Shock Absorber)를 적용하여 촉의 위험성을 줄이고자 하였다. 또한, 평소에 촉 부분이 노출되지 않도록 하여 주변사람들의 심리적 불안감 해소를 고려하였다. 그리고 사용하기 힘든 구간에서 적당한 파지방법이 없기 때문에 부주의하게 손으로 들고 이동하는 경우가 많은 것으로 조사되었는데, 이는 주변사람의 부상을 초래하는 주요 원인이 된다. 따라서 어깨에 견착 할 수 있는 수납형 어깨끈(Belt)을 적용하여 촉 부분이 항상 지면을 향하도록 유도하고 사고발생의 근본 원인을 제거하였다. 향후, 구조적 측면에 대한 연구가 지속되어야 할 것이며, 구동 가능한 Prototype을 통해 실질적인 사용 환경에서의 구조 검증이 병행되어야 할 것이다. Due to recently increased concern on the leisure activities and health, population of hiking increases. Also, owing to rapid growth of mountain-climbing equipment market, hikers using alpine pole increases widely. Alpine pole reduces burden on legs and increases exercise effect, which helps users` hiking exercise. On the other hand, the long and sharp shape of alpine pole can cause safety accidents and ruin environment of hiking roads, which are the negative aspects of alpine pole. Advanced researches just investigated alpine pole in the aspect of exercise and few research studied on the risks of alpine pole which could influence nearby people and environment. Hence, the study investigated usage of alpine pole and suggested alpine pole design which increases safety. Shape tip of alpine pole was investigated to cause injuries to nearby people and ruin environment and the study reduced the risks of tip and acquired the safety by applying shock absorber which could reduce the contact impact of tips. Plus, not exposing tips in the ordinary state, it was considered to release the psychological anxiety of nearby people. There is no disassembly method in the place where alpine poles are hardly available so that people carry them in hands, which is investigated to cause of injuries of nearby people. Hence, by applying storage belt where alpine pole could be attached to the shoulder not held in hands, tips were induced to be always directed toward ground and it tried to solve the fundamental causes of accidents. In future, researches on the suggested design should be continued in the structural aspect and studies on the structure verification should be accompanied under the real user environment through working samples.

인버터-유도전동기 구동시스템의 소음 저감을 위한 PWM 방식

서영민(Young-Min Seo),이주훈(Ju-Hoon Lee),윤인식(In-Sik Yoon),박영진(Young-Jeen Park),홍순찬(Soon-Chan Hong) 대한전기학회 1999 대한전기학회 학술대회 논문집 Vol.1999 No.11

연성 하중 해석에 의한 다목적실용위성 1호의 구조하중 예측

김호형(Ho-Hyung Lee),이주훈(Ju-Hun Rhee),황도순(Do-Soon Hwang),김성훈(Sung-Hoon Kim),김진희(Jin-Hee Kim),김학정(Hak-Jung Kim) 한국항공우주학회 2002 韓國航空宇宙學會誌 Vol.30 No.3

α도통모드에 의한 직류전력회생용 인버터 출력전압의 크기 제어

서영민(Young-Min Seo),이주훈(Ju-Hoon Lee),김경원(Kyung-Won Kim),윤인식(In-Sic Yoon),유종걸(Jong-Gul Yoo),윤덕용(Duck-Yong Yoon),홍순찬(Soon-Chan Hong) 전력전자학회 2000 전력전자학술대회 논문집 Vol.2000 No.11

This paper deals with the voltage amplitude control In Inverter systems which can regenerate the excessive DC power from DC bus line to AC supply In substations for traction systems To maintain the magnitude of output fundamental voltage constant in spite of the variation of input DC voltage, inverters are operated in symmetrical α- conduction mode with the range of 120˚< α < 180˚. To match the output voltage of the inverter systems with AC supply voltage, harmonic reduction techniques are also Investigated Computer simulations are carried out to verify the validity of the proposed system.