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        금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구

        이원준,전형탁,Lee, Won-Jun,Jeon, Hyeong-Tak 한국재료학회 1996 한국재료학회지 Vol.6 No.11

        반도체 소자가 고집적화 됨에 따라 단위공정의 수가 증가하게 되었고 동시에 실리콘 기판의 오염에 대한 문제가 증가하였다. 실리콘 기판의 주 오염물로는 유기물, 파티클, 금속분순물 등이 있으며 특히, Cu와 Fe과 같은 금속불순물은 이온주입 공정, reactive ion etching, photoresist ashing과 같은 실 공정 중에 1011-1013atoms/㎤정도로 오염이 되고 있다. 그러나 금속불순물 중 Cu와 같은 전기음성도가 실리콘 보다 큰 오염물질은 일반적인 습석세정방법으로는 제거하기 힘들다. 따라서 본 연구에서는 Cu와 Fe과 같은 금속불순물을 제거할 목적을 건식과 습식 세정방법을 혼합한 UV/ozone과 HF세정을 제안하여 실시하였다. CuCI2와 FeCI2 표준용액으로 실리콘 기판을 인위적 오염한 후 split 1(HF-only), split 2 (UV/ozone+HF), split 3 (UV/ozone + HF 2번 반복), split 4(UV/ozone-HF 3번 반복)를 실시하였고 TXRF(Total Reflection X-Ray Fluorescence)와 AFM(Atomic Force Microscope)으로 금속불순물 제거량과 표면거칠기를 각각 측정하였다. 또한 contact angle 측정으로 세정에 따른 표면상태도 측정하였다. TXRF 측정결과 split 4가 가장 적은 양의 금속불순물 잔류량을 보였으며 AFM 분석을 통한 표면거칠기도 가장 작은 RMS 값을 나타내었다. Contact angle 측정 결과 UV/ozone 처리는 친수성 표면을 형성하였고 HF처리는 소수성 표면을 형성하였다.

      • KCI등재

        소론계(少論系) 학인 간 격물(格物) 논변의 배경과 향방

        이원준 한국철학사연구회 2022 한국 철학논집 Vol.- No.73

        This study outlines the thought historical background and development of Gyeokmul格物(Investigation of things) discussions that occurred intensively among the scholars of Soron少論(Disciple’s Faction) around 1690. Through this process, I will check the causes of their discussions earlier than the other faction, and examine the academic attitudes of Soron scholars revealed in each discussions and their thought historical significance. The background that scholars in Soron Faction were able to actively discuss Gyeokmul can be attributed to the fact that the discussions on Mulgyeok物格 that had been controversial in the previous academia ended relatively quickly between them. The point of view they share on Mulgyeok is a critique of Toegye Yi Hwang’s view on Li理 based on the doctrine of Yulgok Yi Yi. This agreement had already been concluded before the the division of the Westerners(Seoin西人) into the Noron老論(Patriarch’s Faction) and the Soron. For this reason, their discussions of Gyeokmul, which had not been relatively controversial in the past, was able to proceed ahead of the other faction, the Southerners(Namin南人). Discussions for Gyeokmul by Soron scholars are largely divided into the discussion of self-theory based on the analysis of literal meaning and the discussion related to understanding Gyeomul outside the scope of the learning of Zhu Xi. Discussions on the meaning of letters is mainly related to the interpretation of the Chinese character 'Gyeok格', and the discussion related to the anti-Zhu Xi learning includes the argument surrounding the learning of Wang Yangming. Soron scholars began to thoroughly analyze Gyeokmul itself, which had not been accepted without any objection by the senior scholars in the name of following the interpretation of the Zhu Xi. In addition, various methodologies were used in the argumentation process, and accordingly, they showed the possibility of forming an unique Geukmul theory of Korean Neo-Confucianism. 본 연구는 1690년을 전후하여 집중적으로 진행된 소론계(少論系) 학인 간 격물(格物) 논변의 사상사적 배경과 그 전개 방향을 개괄적으로 살펴본 것이다. 이를 통해 소론계 학인들이 상대 계파보다 이른 시기에 격물설 논변을 전개한 동인(動因)을 확인하고, 논변에서 포착되는 소론계 학인들의 학문적 자세와 그 사상사적 의의를 시론해 보고자 한다. 소론계 학인들이 격물을 활발하게 논의할 수 있었던 배경으로는 이전 학계에서 쟁점화되었던 물격(物格)에 대한 논의가 비교적 신속하게 일단락된 점을 들 수 있다. 이들의 물격관은 이이의 학설에 기반한 이황의 이도설(理到說) 비판으로, 노소분당 이전 기호학맥의 관점을 계승한 것이다. 이러한 까닭에 소론계 학인들은 기존 학계에서 쟁점화되지 않았던 ‘격물’에 대한 논의를 남인계보다 먼저 진행할 수 있었다. 소론계 학인들의 격물 논변은 크게 자의(字義) 분석을 바탕으로 한 자가설 논변과 탈주자학적 격물설과 관련된 논변으로 나뉘어진다. 자의 논변은 ‘격(格)’자의 해석 방식과 관계된 ‘격무궁의(格無窮義)’ 논변과 ‘사지격(使之格)’ 논변이 있으며, 탈주자학적 격물설 관련 논변으로는 양명학적 격물설을 둘러싼 논변을 들 수 있다. 이들은 선배 학자들이 주자의 해석에 따른다는 명목으로 별다른 이의 없이 수용한 감이 없지 않았던 ‘격물’ 그 자체를 철저히 분석하기 시작하였다. 이 과정에서 다양한 방법론을 사용하였으며, 이에 한국성리학의 독자적 격물 이론 형성의 가능성을 보여주었다.

      • 마케팅 시뮬레이션 게임 개발과 교육적 활용

        이원준 청주대학교 학술연구소 2011 淸大學術論集 Vol.17 No.S-5

        The purpose of this study is to develope a simulation game based marketing education method. Marketing simulation game is used widely because of its unique strong points that provide students with more understanding of real marketing activities of companies, and higher level of competitive thinking while being a brand manager virtually. However, its effects have been limited until now due to insufficient success case and scarcity of domestic software programs even though it's time to consider the new method of education and introduce it. To achieve this goal, this paper has examined the existing research results and develop educational marketing simulator by using statistical analysis method such as conjoint analysis. This study would make enhance the quality of marketing education, and make contribution to increase the simulation game usage in academia and industry to attract students' interest.

      • KCI등재후보

        여성 양극성장애 환자에서 시지각의 위계적 조직화의 이상

        이원준,김지선,정태원,장성리,김은주,이현정,하태현 대한우울조울병학회 2015 우울조울병 Vol.13 No.3

        Objectives : Bipolar disorder is related to cognitive impairments of various domains including verbal memory and executive functions. However, qualitative changes in cognitive functions that are affected by a mood state have not been studied in bipolar disorders. We investigated if patients with bipolar disorders showed alterations in global precedence for a visual object having a hierarchical structure. Methods : 36 female patients with bipolar disorders and matched 24 healthy controls performed three subsets of shape matching tasks that was a variation of Navon’s global-local paradigm. To explore changes in global precedence effect in patients, the percent and reaction time of responses to the global level was compared between the groups. Results : Patients showed decreased global precedence, i.e., less and slower global responses than controls. Patients in a major depressive episode showed a further decrease global response. However, severity in depressive symptoms did not relate to performance of patients. Conclusion : Loss of global precedence effect in patients suggests that there may be a disruption in perceptual organization in bipolar disorder, which cannot be solely explained by level of depression. Neurobiological mechanisms underlying this perceptual alteration need to be studied

      • 북한 경제체제의 특징과 남북한 경제교류

        이원준 북한연구소 1989 北韓 Vol.- No.206

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      • E-Governmental Procurement in Lao PDR

        이원준 한국구매조달학회 2006 한국구매조달학회 학술발표대회 Vol.2006 No.-

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