A Study on Improvement and Degradation of Si/SiO2 Interface Property for Gate Oxide with TiN Metal Gate

이병현,Yong-Il Kim,Bong-Soo Kim,Dong-Soo Woo,Yong-Jik Park,Dong-Gun Park,Si-Hyung Lee,Yonghan Rho 한국전기전자재료학회 2008 Transactions on Electrical and Electronic Material Vol.9 No.1

In this study, we investigated effects of hydrogen annealing (HA) and plasma nitridation (PN) applied in order to improve Si/SiO₂ interface characteristics of TiN metal gate. In result, HA and PN showed a positive effect decreasing number of interface state (Nit) respectively. After FN stress for verifying reliability, however, we identified rapid increase of Nit for TiN gate with HA, which is attributed to hydrogen related to a change of Si/SiO₂ interface characteristic. In contrast to HA, PN showed an improved Nit and gate oxide leakage characteristic due to several possible effects, such as blocking of Chlorine (Cl) diffusion and prevention of thermal reaction between TiN and SiO₂.

TiZrN 코팅의 레이저 침탄에서 탄소 포텐셜에 따른 침입 거동

이병현,김태우,홍은표,김성훈,이희수,Lee, Byunghyun,Kim, Taewoo,Hong, Eunpyo,Kim, Seonghoon,Lee, Heesoo 한국결정성장학회 2021 한국결정성장학회지 Vol.31 No.6

Laser-carburized TiZrN 코팅의 침탄 공정에서 탄소 페이스트 두께에 따른 탄소의 침투 깊이 및 압축잔류응력 변화를 탄소 포텐셜 측면으로 비교·고찰하였다. 스크린 프린팅과 스핀 코팅 방법을 이용하여 각각 1.1 mm와 0.4 mm의 두께로 탄소 페이스트를 도포하고, 동일한 레이저 조사 조건에서 레이저 침탄을 실시하였다. 탄소 페이스트가 두꺼워질수록 침탄된 TiZrN 시료의 회절 패턴이 더 저각으로 이동하였으며, 고용체 강화 및 격자 왜곡의 심화를 나타내었다. TEM을 이용한 미세구조 분석에서도 두꺼운 페이스트로부터 침탄된 TiZrN 내 결정질 결함이 증가하고 높은 탄소 농도를 보였으며, 이는 페이스트 두께가 두꺼워질수록 탄소 포텐셜도 높아짐을 의미하였다. XPS depth profile 분석에서도 두꺼운 페이스트를 통해 침탄된 TiZrN 시료에서 높은 탄소 농도 및 탄화물 형성을 보이면서, 탄소 페이스트 두께 조절에 의해 침탄에서 표면 탄소농도와 탄소 포텐셜 증가가 일어남을 나타내었다. 아울러, 탄소 농도의 증가는 표면의 압축잔류응력 증가(3.67 GPa에서 4.58 GPa로)에 기여하였음을 확인하였다. Penetration depth and compressive residual stress of laser-carburized TiZrN coating by thickness of carbon paste were investigated in terms of carbon potential. The carbon paste was covered with a thickness of 1.1 mm using screen printing, and applied to a thickness of 0.4 mm using spin coating, and laser carburization was performed under the same conditions. As the thickness of carbon paste increased, the diffraction pattern of the laser-carburized TiZrN coating shifted to a lower angle, indicating solid solution strengthening and lattice distortion. For microstructure analysis using TEM, the defects and carbon concentration of the laser-carburized TiZrN coating increased as the carbon paste was thicker. It indicated that the variation of the carbon potential corresponds to the change in the paste thickness. In XPS depth profile analysis, high concentration of carbon and formation of carbide were observed in laser-carburized TiZrN coating with thick carbon paste. It revealed that the carbon concentration on the surface and carbon potential were changed by the thickness control of carbon paste. The compressive residual stress increased from 3.67 GPa to 4.58 GPa by the variation of carbon concentration.

Investigation of the Contact Resistance Between Amorphous Silicon-Zinc-Tin-Oxide Thin Film Transistors and Different Electrodes Using the Transmission Line Method

이병현,Sangmin Han,Sang Yeol Lee 한국전기전자재료학회 2016 Transactions on Electrical and Electronic Material Vol.17 No.1

A thin film transistor (TFT) has been fabricated using the amorphous 0.5 wt% Si doped zinc-tin-oxide (a-0.5 SZTO) with different electrodes made of either aluminium (Al) or titanium/aluminium(Ti/Al). Contact resistance and total channel resistance of a-0.5SZTO TFTs have been investigated and compared using the transmission line method (TLM). We measured the total resistance of 1.0×102 Ω/cm using Ti/Al electrodes. This result is due to Ti, which is a material known for its adhesion layer. We found that the Ti/Al electrode showed better contact characteristics between the channel and electrodes compared with that made of Al only. The former showed a less contact and total resistance. We achieved high performance of the TFTs characteristic, such as Vth of 2.6 V, field effect mobility of 20.1 cm2V-1s-1, S.S of 0.9 Vdecade-1, and on/off current ratio of 9.7×106 A. It was demonstrated that the Ti/Al electrodes improved performance of TFTs due to enhanced contact resistance.

ebXML 3.0 레지스트리를 위한 Federation 설계

이병현(Byung-Hyun Lee),김상균(Sang-Kyun Kim),이동헌(Dong-Heon Lee),이규철(Kyu-Chul Lee) 한국정보과학회 2003 한국정보과학회 학술발표논문집 Vol.30 No.2Ⅱ

ebXML은 UN/CEFACT와 OASIS가 주축으로 제정한 전자상거래 표준으로 XML 기반의 인프라를 제공하여 글로벌 e-비즈니스가 가능하도록 하는 것을 목적으로 한다. 최근 여러 ebXML 레지스트리간의 Cooperation이 중요해지면서 2003년 6월에 제정된 ebXML RIM(Registry Information Model) 버전 2.5와 ebXML RS(Registry Service) 버전 2.5 스펙**에서는 Federation, Object Relocation, Object Replication을 포함하는 레지스트리 간의 Cooperation 기능과 더불어 Content-based 질의, Event Notification, Iterative 질의와 같은 기능들이 새로 추가되었다. 따라서, 본 논문에서는 ebXML 버전 3.0 레지스트리를 구현하기 위해서 ebXML 버전 3.0 레지스트리의 시스템 구조를 설계하였으며, 버전 3.0에서 가장 중요한 기능인 Federation을 효율적으로 관리하는 방안을 분석, 설계하고 사용자가 보낸 Federation에 대한 질의를 처리하기 위한 알고리즘을 설계하였다.

물류시설 설치 시 화재 발생에 따른 위험성 검토

이병현(Byung Hyun Lee),이준기(Jun Gi Lee),이경희(Kyung Hee Lee) 대한설비공학회 2022 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2022 No.6

물류시설 설치 시 화재 발생에 따른 위험성 검토

이병현(Byung Hyun Lee),이준기(Jun Gi Lee),이경희(Kyung Hee Lee) 대한설비공학회 2022 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2022 No.6

외래에서 철 결핍 빈혈로 진단된 남자 환자의 악성 종양 유병률과 연관인자

이병현 ( Byung Hyun Lee ),이재중 ( Jae Joong Lee ),심재겸 ( Jae Kyeom Sim ),김정선 ( Jung Sun Kim ),김대식 ( Dae Sik Kim ),박세종 ( Seh Jong Park ),이세련 ( Se Ryeon Lee ),박용 ( Yong Park ),최철원 ( Chul Won Choi ),김병수 ( Byun 대한내과학회 2014 대한내과학회지 Vol.87 No.1

목적: 빈혈은 전 세계적으로 가장 흔한 질환 중 하나이며 악성 종양의 중요한 표지자이다. 빈혈과 악성 종양에 관한 다양한 연구가 있으나 IDA 진단된 남자 환자를 대상으로 한 자료는 충분하지 않다. 이에 저자들은 남자 IDA 환자의 발생원인과 악성 종양의 유병률, 철분제 치료반응에 대해 조사하였고 악성 종양에 의한 IDA 환자의 특성과 악성 종양에 대한 선별 검사로 대변 잠혈 검사의 유용성에 대해 연구하였다. 방법: 2008년 3월부터 2013년 6월까지 고려대학교 구로 병원, 안암병원 혈액내과 외래에 내원하여 IDA로 진단된 남자 환자 202명을 대상으로 하여 임상적 특성과 빈혈의 원인에 대해 조사하였고, 원인에 따라 악성 종양군(Cancer, n = 24)과 악성 종양 이외의 다른 원인군(Non-cancer, n = 178)으로 분류하여 임상적 특성 및 치료반응을 후향적으로 분석하였다. 또한 대변 잠혈 검사의 악성 종양에 대한 민감도, 특이도, 양성 예측도에 대해 분석하였다. 결과: IDA의 원인 중에서 출혈이 86명(42.6%)으로 가장 많았다. 악성 종양 유병률은 11.9% (24명)였고 악성 종양의 상대 빈도는 대장직장암 14명(58.3%), 위암 7명(29.2%) 순이 었다. 연령군별로는 50세 미만 8.3% (2명), 50세 이상 91.7% (22명)였다. 악성 종양과 관련된 요인으로는 다변량 분석에서 고령(OR, 1.05; p = 0.026)과 대변 잠별 검사 양성(OR, 7.48; p = 0.001)이 확인되었다. 치료반응은 경구 철분제 투약 후 Hb 수치가 13이상 상승한 비율은 Cancer군에서 더 낮았지만 (OR, 0.49; 95% CI, 0.146-1.668; p = 0.31) 통계적으로 유의하지 않았고 경구 철분제 투약 후 평균 Hb 수치는 Cancer군에서 12.6 ± 2.2 g/dL, Non-cancer군에서 13.8 ± 1.6 g/dL로 Cancer 군에서 더 낮았고 통계적으로 유의하였다(p = 0.016). 대변 잠혈 검사의 악성 종양에 대한 민감도는 56.3%, 특이도는 81.2%, 양성 예측도는 32.1%였다. 결론: 외래에서 진단된 남자 IDA 환자에서 악성 종양의 유병률은 11.9%로 적지 않았고 이 중에서 91.7%가 50세 이상에서 진단되었으며, 악성 종양에 의한 IDA 환자들은 다른 원인에 의한 IDA에 의한 환자들에 비해 경구 철분제 치료에 대한 반응이 좋지 못하였다. 고령(50세 이상)에 대변 잠혈 검사 양성인 남자 IDA 환자에서는 악성 종양이 진단될 확률이 높으며 특히 대장암의 가능성이 높으므로 기저 질환에 대한 철저한 검사가 필요하다. Background/Aims: Despite several reports on clinical aspects of anemia and malignancy, little is known of male patients with iron-deficiency anemia (IDA) and malignancy in Korea. We examined the cause of anemia, prevalence of and factors associated with malignancy, and treatment response to iron therapy in male IDA patients. Methods: The results of 202 males with IDA seen from March 2008 to June 2013 were analyzed retrospectively. The patients were divided into two groups based on the causes of anemia: the cancer group included patients with anemia caused by malignancy and the non-cancer group included patients with anemia due to other causes. We compared the clinical characteristics and response to iron therapy between the two groups. Results: The most common cause of IDA was bleeding (42.6%). The prevalence of malignancy was 11.9%, with colorectal cancer (58.3%) being the most common. Among the cancer patients (n = 24), 22 patients (91.7%) were age 50 or older. Independent factors associated with malignancy were old age (OR, 1.05; p = 0.026) and a positive stool occult blood test (OR, 7.48; p = 0.001). The treatment response to iron therapy based on a normalized hemoglobin level was lower in the cancer group (OR, 0.49; p = 0.31), but the difference did not reach statistical significance. The treatment response based on the mean hemoglobin level was significantly lower in the cancer group (12.6 ± 2.2 vs. 13.8 ± 1.6 g/dL, p = 0.016). Conclusions: Old age and a positive stool occult blood test were independent risk factors for malignancy in male IDA patients. We recommend screening for malignancy in patients older than 50 years or with a positive stool occult blood test. (Korean J Med 2014;87:53-60)

중복도형 오피스텔의 피난시간 저감 방안 연구

이병현(Lee, Byung-Hyun),이준기(Lee, Jun-Gi),이경희(Lee, Kyung-Hee) 한국건축친환경설비학회 2014 한국건축친환경설비학회 논문집 Vol.8 No.3

The purpose of this study was to analyze the evacuation behavior of a studio-apartment in case of fire disaster. Recently, residential apartments for city as well as studio-apartment buildings as a new residential building are a trend that has been made miniaturization and high-rise building. Such a building characteristics have more potential risk factor of fire. double-loaded corridor type have many rooms. In case of fire in the living room that opens to the corridor outward opening door and in corridor evacuation stairs to open the door to evacuation. The doors open on both sides of the corridor due to the narrow passage into the barriers to evacuation problems occur. So, it is necessary to study for fire safety design of studio-apartment. The study carried out studio-apartment of a double-loaded corridor type planning by fire?evacuation simulation, evaluation of a double-loaded corridor type in evacuation and fire has been printed out. Change to the effective width of evacuation door and opening direct on of the door after changing could reduce the evacuation time. This result have shown that there was a need for review to the width and the direction of the door in case of evacuation plans.

물류시설 설치 시 화재 발생에 따른 위험성 검토

이병현(Byung Hyun Lee),이준기(Jun Gi Lee),이경희(Kyung Hee Lee) 대한설비공학회 2022 대한설비공학회 학술발표대회논문집 Vol.2022 No.6

오차드그래스의 품종이 캘러스배양과 식물체 재분화에 미치는 영향

이상훈(Sang-Hoon Lee),이기원(Ki-Won Lee),이동기(Dong-Gi Lee),김도현(Do-Hyun Kim),이병현(Byung-Hyun Lee) 한국초지조사료학회 2006 한국초지조사료학회지 Vol.26 No.4

오차드그래스의 최적 조직배양조건을 확립하기 위하여 8가지 품종의 성숙종자로부터 배발생 캘러스 유도 및 캘러스로부터의 식물체 재분화 효율을 조사하였다. 4주 동안 배양한 종자로부터 캘러스 유도율은 Frontier, Roughrider, 93E, Frode, Potomac, Ambassador, Hapsung 2, Amba 순으로 높은 캘러스 유도율을 보였고 식물체로의 재분화율은 Roughrider, Frontier, Potomac, Frode, Amba, Hapsung2, 93E, Ambassador 순으로 나타났다. 전체적으로는 캘러스 유도율이 높은 품종이 식물체 재분화율도 높은 경향을 나타내었다. 본 연구를 통하여 밝혀진 캘러스 유도와 식물체 재분화율이 우수한 품종은 분자 육종을 통한 신품종 오차드그래스의 개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다. In order to investigate the effects of genetic variations of orchardgrass in tissue culture response, calli were induced from mature seeds of eight varieties, ‘Hapsung 2’, ‘93E’, ‘Amba’, ‘Ambassdor’, ‘Frode’, ‘Frontier’, ‘Potomac’ and ‘Roughrider’, and plant regeneration frequency was compared. Significant differences were observed among the varieties in both callus induction and plant regeneration. Callus induction rate of viable seeds varied from 24.3% to 71.7%. Plant regeneration frequency ranged from 76.6% to 29.7%. “Roughrider” varieties showed higher regenerability with the frequency of 76.6%. These results can be used not only to provide additional improvements in the plant regeneration frequency from transgenic callus, but also useful for molecular breeding of orchardgrass through genetic transformation.