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        PD 박막 시료의 제작 조건이 수소 흡수-방출 동역학에 미치는 영향에 관한 연구

        엄대현(Dae Hyun Um),유정국(Joung Gouk Yoo),조영신(Young Sin Cho) 한국수소및신에너지학회 1998 한국수소 및 신에너지학회논문집 Vol.9 No.3

        각각 다른 기판온도에서 진공 증착법으로 제작된 Pd 박막들의(두께 180Å) 수소 흡수-방출 동역학을 실험하였다. α상, 25∼50℃ 온도영역에서 수소기체를 흡수-방출 시키면서 정방향과 역방향 활성화에너지를 구하고 반응엔탈피를 구하였다. 기판의 온도가 상온인 시료는 정반응 활성화에너지가 6.4±0.4 ㎉/㏖ H이고 역방향은 8.4±1.5 ㎉/㏖ H, 반응엔탈피는 -2㎉/㏖ H였다. 기판의 온도가 300℃인 시료는 정방향 활성화에너지 -0.18±0.61 ㎉/㏖ H이고 역방향 활성화에너지 -0.17±2.3㎉/㏖ H였다. 기판의 온도가 300℃인 시료의 구조적 치밀성, 온도변화에 따른 비저항 값의 변화율 등을 측정해 보았을 때 기판의 온도가 상온인 시료에 비하여 더 안정된 상태였지만 활성화 에너지의 오차값이 크게 얻어졌다. This study was conducted to know to the effect of Pd film(180Å thick) evaporation condition on the kinetics of hydrogen absorption-desorption. The activation energy of the forward reaction, the activation energy of the backward reaction, and the enthalpy were calculated by hydrogen absorption-desorption in α-phase.(25∼50℃ temperature) The activation energy of the forward reaction of Pd film, which is made at room temperature, is 6.4 ±0.4 ㎉/㏖ H and of the backward reaction 8.4 ±1.5 ㎉/㏖ H, which yields the reaction enthalpy -2㎉/㏖ H. The activation energy of forward reaction of Pd film, which is made at 300 ℃, is -0.18 ±0.61 ㎉/㏖ H and of the backward reaction -0.17 ±2.3 ㎉/㏖ H. The sample of 300℃ is more stable than the sample of room temperature in its struciural compactness and resistance value but standard error of result of 300℃ sample is higher than sample of room temperature do.

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