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중·대형 디스플레이용 건식 식각(ICP Dry etcher) 설비의 플라스마 균일도 제어 기술
양호식,홍성재,전홍구 한국반도체디스플레이기술학회 2022 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.3
The current display technology tends to be highly integrated with high resolution, the element size is gradually downsized, and the structure becomes complicated. Inductively coupled plasma (ICP) dry etcher of various types of etching equipment is a structure that places a large multi-divisional antenna source on the top lid, passes current to the Antenna, and generates plasma using the induced magnetic field generated at this time. However, in the case of a device of a large area size, a support that can withstand a load structurally is necessary, and when these support portions are applied, arrangement of antenna becomes difficult, which causes reduction in uniformity. As described above, the development of antenna source of a large area having a uniform plasma density on the whole surface is difficult to restrict hardware (H/W). As a solution to this problem, we confirmed the change in uniformity of plasma by applying two kinds of specific shape faraday shield(FICP) to the lower part of the large area upper lid antenna of 6 and 8th more than that generation size. In this thesis, we verify the faraday shield effect which can improve plasma uniformity control of ICP dry etcher equipment applied to medium and large displays.
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
정석재(S. J. Jeong),양호식(H. S. Yang),조성민(S. M. Cho) 한국진공학회(ASCT) 1998 Applied Science and Convergence Technology Vol.7 No.4
헬리콘(Helicon) 플라즈마로부터 중성입자 흐름을 생성하여 높은 에너지의 이온에 의한 기판의 물리적, 전기적 손상을 방지할 수 있는 실리콘 식각공정이 연구되었다. 기판의 하부에 영구자석을 설치하여 cusp 모양의 자계를 형성하므로써 이온 및 전자를 기판으로부터 제거되도록 하였고 이러한 방법으로 완전히 제거되지 않는 이온의 제거를 위해서 기판 하부에 양의 전압을 가하여 자계나 전계에 영향을 받지 않는 중성입자 흐름을 얻을 수 있도록 하였다. 발생시킨 자계 및 전계에 의해 기판 상부에서의 전자밀도는 자계나 전계가 가해지지 않은 경우에 비해 약 1/1,000 정도로 낮아졌으며, 이온밀도 또한 약 1/10 정도로 감소하였다. 이러한 공정을 통해 얻어진 실리콘의 식각속도는 Cl₂와 10%의 SF_6를 혼합하여 사용할 때 8.5×10^(-4) Torr의 압력에서 약 100 Å/min 이하로 매우 낮았으며 실리콘의 식각이 비등방성을 가지며 진행될 수 있음이 보여졌다. Neutral stream was generated from Helicon plasma source and was applied to etch silicon for the purpose of preventing physical and electrical damages from the bombardment of charged particles with high translation energy. By installing a permanent magnet and applying positive bias beneath the substrate, the cusp-magnetic and electric fields were generated in order to remove the charged particles from the downstream plasma. As a result, the electron density and ion density in the vicinity of the substrate were reduced by 1/1000 and 1/10, respectively. The directional etching of silicon was observed and the etch rate was found to be very low to below 100 Å/min at a pressure of 8.5×10^(-4) Torr, when Cl₂and 10% SF_6 etchant gases were used.
목종수(Jong Soo Mok),송기철(Ki Cheol Song),최낙중(Nack Joong Choi),양호식(Ho Shik Yang) 한국수산과학회 2001 한국수산과학회지 Vol.34 No.5
어류질병에 대한 천연 항균제를 개발하기 위한 일환으로 계피로부터 항균성 물질을 추출하여 어류질병세균에 대한 항균효과, 최소발육저지농도, 희소살균농도 및 어류 사료에 적용 시험 등을 실시하였다. 계피 추출물의 그람양성세균에 대한 최소발육저지농도는 75.8∼189.6 ㎍/㎖ 이었고, 그람음성세균에 대하여는 75.8∼113.8 ㎍/㎖ 이었으며, 그람양성균보다 음성균에 대하여 보다 강한 살균작용을 나타내었다. 계피 추출물은 본 실험에 사용된 그람양성세균 및 그람음성세균 모두에 대하여 폭 넓은 항균스펙트럼을 나타내었으며, 특히 Streptococcus iniae, Edwardsiella tarda 및 Listonella anguillarum에 대하여 강한 증식 억제력을 보였다. 계피 추출물은 S. iniae에 대하여 l13.8 ㎍/㎖ 첨가로 살균작용을 보여 12시간 배양 후 3 log 정도의 균수를 감소시켰고, 189.6 ㎍/㎖ 첨가구는 초기 균수 10^6 CFU/㎖인 것이 12시간 배양 후 세균이 검출되지 않았다. 또한 L. anguillarum에 대하여는 75.8 ㎍/㎖ 첨가시에는 배양 24시간 후 약 2 log 정도의 균수가 감소하였고, 151.6㎍/㎖ 첨가구에서는 24시간 후 세균이 검출되지 않았다. 사료를 계피 추출액에 침지시 적정 침지 시간은 10분이었으며, 사료 중량에 따른 추출물 흡수량은 식 Y=7.2726X+4.508) (R²=0.9998)이었다. 계피 추출액에 침지시킨 사료는 사용된 모든 어류 질병세균의 증식을 억제하였으며, 그것의 항균활성은 저장온도 10∼35℃에서 28일까지 안정하였다. 또한 침지 사료를 액체배지에 넣어 배양했을 때, 사료에 존재하는 미생물의 증식을 억제시켰다. To develop a natural antibacterial agent for fish bacterial diseases, antibacterial activity, minimum inhibitory concentration (MIC), minimum bactericidal concentration (MBC) and bactericidal effect of cinnamon bark extract were examined against fish pathogenic bacteria. The antimicrobial effect of the extract to the fish diet was also estimated. Cinnamon bark extract showed the broad spectrum of antibacterial activity against fish pathogenic bacteria, especially, it had strong activity against Streptococcus iniae, Edwardsiella tarda and Listonella anguillarum. Its MIC was 75.8∼189.6 ㎍/㎖ against Gram positive bacteria, and 75.8∼113.8 ㎍/㎖ against Gram negative bacteria in liquid medium. It was found to show stronger bactericidal action against Gram negative bacteria than Gram positive bacteria. According to increasing concentrations of the extract, it resulted in a proportional reduction of viable cell counts of both S. iniae and L. anguillarum. The former was not detected by addition of 189.6 ㎍/㎖ after 12 hours incubation and the latter by addition of 151.6 ㎍/㎖ after 24 hours incubation, respectively. It was reasonable that fish diet was soaked in cinnamon bark extract for ten minutes. The relationship formula between the weight of fish diet and the extract absorbed to fish diet was Y=7.2726 ×+4.5083 (R²=0.9998). The fish diet soaked in the extract inhibited the growth of all strains used in this study. Its antibacterial activity was stable at the range from 10℃ to 35℃ during the storage period of 28 days. When the diet soaked in the extract was incubated in liquid medium at 35℃, it inhibited the growth of microorganisms inhabited in the diet.