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손영수,함상용,김병인,이성휘,Son, Young-Su,Ham, Sang-Yong,Kim, Byoung-Inn,Lee, Sung-Hwee 한국전기전자재료학회 2007 전기전자재료학회논문지 Vol.20 No.11
The realization of the photoresist(PR) removal method with vaporized water and ozone gas mixture has been studied for the LCD TFT array manufacturing. The developed PR stripper uses the water boundary layer control method based on the high concentration ozone production technology. We develop the prototype of PR stripper and experiment to find the optimal process parameter condition like as the ozone gas flow/concentration, process reaction time and thin boundary layer formation. As a results, we realize the LCD PR strip rate over the 0.4 ${\mu}m/min$ and this PR removal rate is more than 5 times higher than the conventional immersion type ozonized water process.
SPM을 이용한 반도체 포토레지스트 제거 공정 대체를 위한 DIW-$O_3$ 방식 세정기술 개발
손영수,함상용,Son, Yeong-Su,Ham, Sang-Yong 한국기계연구원 2003 硏究論文集 Vol.33 No.-
Recently the utilization of the ozone dissolved de-ionized water(DIW-$O_3$) in semiconductor wet cleaning process and photoresist stripping process to replace the conventional sulfuric acid and hydro peroxide mixture(SPM) method has been studied. In this paper, we propose the water-electrode type ozone generator which has the characteristics of the high concentration and purity to produce the high concentration DIW-$O_3$ for the photoresist strip process in the semiconductor fabrication. The proposed ozone generator has the dual dielectric tube structure of silent discharge type and the water is both used to electrode and cooling water. Through this study, we obtained the results of the 10.3 wt% of ozone gas concentration at the oxygen gas of 0.5 [liter/min.] and the DIW-$O_3$ concentration of 79.5 ppm.. Through the photoresist stripping test using the produced DIW-$O_3$, we confirmed that the photoresist coated on the silicon wafer was removed effectively in the 12 minutes.
손영수(Son Young-Su),함상용(Ham Sang-Yong),최혁진(Choi Hyuek-Jin),오상우(Oh Sang-Woo) 한국해양환경·에너지학회 2006 한국해양환경공학회 학술대회논문집 Vol.2006 No.-
침몰선박 잔존유 무인회수시스템을 선상에서 운용 및 제어하기위한 원격제어시스템을 개발하였다. 개발한 원격제어시스템은 잔존유 회수시스템을 구성하는 각종 액츄에이터 구동 및 제어기능, 수중에서의 무인회수시스템 작업상황 모니터링 기능 그리고 수중 회수작업의 촬영 및 영상 전송/저장 기능을 수행하도록 설계하였다. 제작한 원격제어시스템으로 실 해역에서의 무인 회수작업 실시결과 설계한 제반 기능을 완벽히 수행함으로써 개발한 원격제어시스템의 효용성을 확인하였다. we have been developed on the onboard remote control system for the operation and control of the remotely operated oil recovery system from sunken ship . The remote control system was designed to perform the operation and control of the several hydraulic and electric actuators, monitor the underwater oil recovery work and equipment status, and transfer the video image of the oil recovery work to the onboard Pc. As a result of the sea performance test with the developed remote control system, we confirmed that all of the functions of the oil recovery system was carried out successfully by control of the onboard remote control system.
손영수(Young-Su Son),함삼용(Sang-Yong Ham),채상훈(Sang-Hoon Chai) 대한전자공학회 2014 전자공학회논문지 Vol.51 No.8
실리콘 태양전지 제조에 기판으로 사용되는 156 mm 실리콘 웨이퍼의 제작 공정에 있어서 제품 불량 및 성능 저하를 유발하는 웨이퍼 표면 오염원을 분석하였으며, 이를 제거하기 위한 오존수 세정에 대하여 실험하였다. 오염물질은 웨이퍼 절단 공정에서 사용되는 슬러리 및 세척액 속에 포함된 유기물과 소잉 와이어로부터 분리된 미세입자에 의해 형성되며, 오존수 세정공정을 통하여 제거할 수 있었다. 이 기술을 적용하면 태양전지용 웨이퍼를 저렴하고 효율적이며 친환경적으로 제조할 수 있다. We have studied on ozonate water cleaning mechanisms to apply in manufacturing process of 156 mm silicon wafer which is used in the solar cell fabrication. We have analyzed contamination sources on wafer surface which causes poor quality and performance of products in fabrication process, and examined cleaning process using ozonate water to eliminate it. Contamination sources consist of remaining material like organic matter in slurry and detergent and particles in sawing wire. Using this novel technology it is possible for the solar cell wafer to clean with low cost, high performance, and eco-friendly.
반도체 감광막 제거공정 적용을 위한 고농도 오존발생장치 개발
孫永洙(Young-Su Son),咸尙龍(Sang-Yong Ham) 대한전기학회 2006 전기학회논문지C Vol.55 No.12
we have been developed on the ultra high concentration ozone generator system which is the core technology in the realization of the semiconductor photoresist strip process using the ozone-vapor chemistry. The proposed ozone generator system has the structure of the surface discharge type which adopt the high purity ceramic dielectric tube. We investigate the performance of the proposed ozone generator system experimentally and the results show that the system has very high ozone concentration characteristics of 19.7[wt%/O₂] at the flow rate of 0.3[ℓ/min] of each discharge cell. As a result of the silicon wafer photoresist strip test, we obtained the strip rate of about 400[㎚/min] at the ozone concentration of 16[wt%/O₂] and flow rate of 8[ℓ/min.]. So, we confirmed that it's possible to use the proposed high concentration ozone generator system for the ozone-vapor photoresist strip process in the semiconductor and FPD industry.
한종길,손영수,Han, Jong-Kil,Son, Yong-Su 한국전자통신학회 2009 한국전자통신학회 논문지 Vol.4 No.3
채터링 현상은 VSS의 주요한 약점이며 이 문제를 극복하기위하여 많은 연구들이 발표되었다. 슬라이딩 섹터 이론이 최근에 발표되었으며, 본 논문에서는 섹터 내부에 연속입력함수를 가진 슬라이딩 섹터이론을 이용하여 시변 경계층을 가진 퍼지제어를 제안하고, 슬라이딩 섹터에 리아프노프 함수를 이용하여 안정도를 분석한다. 역진자 시스템에 컴퓨터 시물레이션을 통하여 채터링 현상의 제거를 확인한다. Chattering phenomenon is still a large drawback of VSS. To overcome this problem, various approaches have been reported. A new notion of sliding sector has been proposed recently. In this paper, fuzzy control with time-varying boundary layer using the sliding sector theory with continued input function in the sector is proposed. This paper analyzes the stability, using Lyapunov function on the sliding sector. Computer simulation for inverted pendulum results in elimination of the chattering phenomenon.
한종길,손영수,Han, Jong-Kil,Son, Yong-Su 한국전자통신학회 2009 한국전자통신학회 논문지 Vol.4 No.3
2관절 유연한 로봇 팔는 관절 축을 회전할 때 진동이 발생한다. 본 논문에서는 유연한 로봇팔의 진동 동력학은 bernoulli-Euler의 beam이론과 라그란지 방정식을 이용하여 구하였고, $\dot{D}$-2C가 skew symmetric이다는 사실을 사용하여 계산량을 줄이는 단순한 구조의 새로운 제어기를 제안한다. Lyapunov 안정도 이론은 관절을 조절하기 위한 안정한 확정적인 비선형 제어기를 성취하기 위하여 적용된다. When two-link flexible arm is rotated about an joint axis, transverse vibration may occur. In this paper, vibration dynamics of flexible robot arm is modeled by using Bernoulli-Euler beam theory and Lagrange equation. Using the fact that matrix $\dot{D}$-2C is skew symmetric, new controllers which have a simplified structure with less computational burden is proposed. Lyapunov stability theory is applied to achieve a stable deterministic nonlinear controller for the regulation of joint angle.
슬라이딩 섹터를 갖은 가변구조제어를 이용한 비선형시스템의 추적제어
한종길(Jong Kil Han),손영수(Yong Su Son) 한국전자통신학회 2007 한국전자통신학회 논문지 Vol.2 No.2
채터링 현상은 VSS의 주요한 약점이며 이 문제를 극복하기위하여 많은 연구들이 발표되었다. 슬라이딩 섹터 이론이 최근에 발표되었으며, 섹터 안에서 제어입력 없이 상태의 놈이 감소하고 상태가 섹터 안에 있는 동안에 상태의 놈은 영으로 수렴한다. 슬라이딩 섹터 이론은 기본적인 연구단계에 있으며 선형시스템에 대하여 연구되어있다. 본 논문에서는 슬라이딩 섹터를 이용하여 불안정한 비선형시스템의 추적제어하는 새로운 방식을 제안하며 슬라이딩 섹터에 리아프노프 함수를 이용하여 안정도를 분석한다. 역진자 시스템에 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 제안한 슬라이딩 섹터 제어가 채터링을 줄일 수 있는 것을 확인한다. Chattering phenomenon is still a large drawback of VSS. To overcome this problem, various approaches have been reported. A new notion of sliding sector has been proposed recently. Inside this sector, a kind of norm of the state decreases without control input. Therefore, so long as the state is constrained inside this sector, the norm of the state approaches to zero. The sliding sector theory is elementary study step and is studied about only linear systems. In this paper, new methods of the tracking control of unstable nonlinear systems using the sliding sector is proposed. This paper analyzes the stability, using Lyapunov function on the sliding sector. Through the computer simulations for an inverted pendulum system, it is verified that sliding sector control is capable to reduce the chattering.