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배원규(Won Gyu Bae),최재훈(Jae Hoon Choi),서갑양(Kahp Y. Suh) 한국생산제조학회 2011 한국생산제조시스템학회 학술발표대회 논문집 Vol.2011 No.4
나노 스케일의 구조물은 반도체, 바이오 등의 여러 가지 연구 분야에서 폭넓게 사용되고 있다. 하지만 나노 구조물의 제작은 여전히 복잡한 공정을 필요로 하고 비용 또한 많이 든다. 따라서 본 연구에서는 형상 기억 폴리머를 나노 임프린트 리소그래피몰드로 이용하여 스케일 다운 과정을 통해 나노 구조물 제작 방법을 제안하였다. 형상 기억 폴리머는 열에 의해 원래의 기억된 형상으로 돌아가는 성질이 있는데 이러한 성질을 이용하여 제작이 쉬운 마이크로 구조물로부터 나노 구조물을 제작하고자 하는 것이다. 이 방법은 하나의 몰드로부터 여러 가지 사이즈의 나노 구조물을 제작할 수 있다는 장점을 가지고 있으며 간단한 제작방법과 경제적이라는 것이 가장 큰 특징이다.