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      • KCI등재

        박막트랜지스터의 습식 및 건식 식각 공정

        박춘식,허창우,Park, Choon-Sik,Hur, Chang-Wu 한국정보통신학회 2009 한국정보통신학회논문지 Vol.13 No.7

        본 연구는 LCD용 비정질 실리콘박막트랜지스터의 제조공정중 가장 중요한 식각 공정에서 각 박막의 특성에 맞는 습식 및 건식식각공정을 개발하여 소자의 특성을 안정시키고자 한다. 본 연구의 수소화 된 비정질 실리콘 박막 트랜지스터는 Inverted Staggered 형태로 게이트 전극이 하부에 있다. 실험 방법은 게이트전극, 절연층, 전도층, 에치스토퍼 및 포토레지스터층을 연속 증착한다. 스토퍼층을 게이트 전극의 패턴으로 남기고, 그 위에 n+a-Si:H 층 및 NPR(Negative Photo Resister)을 형성시킨다. 상부 게이트 전극과 반대의 패턴으로 NPR층을 패터닝하여 그것을 마스크로 상부 n+a-Si:H 층을 식각하고, 남아있는 NPR층을 제거 한다. 그 위 에 Cr층을 증착한 후 패터닝 하여 소오스-드레인 전극을 위한 Cr층을 형성시켜 박막 트랜지스터를 제조한다. 여기서 각 박막의 패터닝은 식각 공정으로 각단위 박막의 특성에 맞는 건식 및 습식식각 공정이 필요하다. 제조한 박막 트랜지스터에서 가장 흔히 발생되는 문제는 주로 식각 공정시 over 및 under etching 이며, 정확한 식각을 위하여 각 박막에 맞는 식각공정을 개발하여 소자의 최적 특성을 제공하고자한다. 이와 같이 공정에 보다 엄격한 기준의 건식 및 습식식각 공정 그리고 세척 등의 처리공정을 정밀하게 실시하여 소자의 특성을 확실히 개선 할 수 있었다. Conventionally, etching is first considered for microelectronics fabrication process and is specially important in process of a-Si:H thin film transistor for LCD. In this paper, we stabilize properties of device by development of wet and dry etching process. The a-Si:H TFTs of this paper is inverted staggered type. The gate electrode is lower part. The gate electrode is formed by patterning with length of 8 ${\mu}$m${\sim}$16 ${\mu}$m and width of 80${\sim}$200 ${\mu}$m after depositing with gate electrode (Cr) 1500 ${\AA}$under coming 7059 glass substrate. We have fabricated a-SiN:H, conductor, etch-stopper and photo resistor on gate electrode in sequence, respectively. The thickness of these thin films is formed with a-SiN:H (2000 ${\mu}$m), a-Si:H(2000 ${\mu}$m) and n+a-Si:H (500 ${\mu}$m), We have deposited n-a-Si:H, NPR(Negative Photo Resister) layer after forming pattern of Cr gate electrode by etch-stopper pattern. The NPR layer by inverting pattern of upper gate electrode is patterned and the n+a-Si:H layer is etched by the NPR pattern. The NPR layer is removed. After Cr layer is deposited and patterned, the source-drain electrode is formed. In the fabricated TFT, the most frequent problems are over and under etching in etching process. We were able to improve properties of device by strict criterion on wet, dry etching and cleaning process.

      • KCI우수등재

        MCC 모델에 의한 연약지반의 교대측방이동 영향범위에 관한 연구

        박춘식,김종환,백진술,Park, Choon Sik,Kim, Jong Hwan,Baek, Jin Sool 대한토목학회 2013 대한토목학회논문집 Vol.33 No.1

        This study, using the MCC Model to consider consolidation, estimated the range within which no influences occur from lateral movement and its amount of the foundation pile and abutment on the soft ground. This study performed finite element analyses, with variations on the adhesiveness and internal friction angle, depth of soft clay, embankment height, consolidation parameters, and separation distance between the abutment and embankment. The abutment's horizontal displacement exhibits linear change with a longer separation distance, and changes into an exponential form as the embankment gets closer to the abutment. As the soft clay layer becomes 10 m deeper, the horizontal displacement tends to increase 1.5~3.0 times. However, it decreases at a rate of 0.3~0.95 when adhesiveness is increased by 10 $kN/m^2$ and internal friction angle is increased by $5^{\circ}$. The increase change rate in a lateral movement amount becomes greater if it is closer to the abutment when the abutment separation distance is long. When the distance is short, the change rate of horizontal displacement increases in similar a way, but it tends to be decreasing overall.

      • KCI우수등재

        삼축압축시험에 의한 국내 모래의 변형-강도 특성

        박춘식,김종환,박철수,Park, Choon Sik,Kim, Jong Hwan,Park, Cheol Soo 대한토목학회 2014 대한토목학회논문집 Vol.34 No.2

        This study conducted experiment for understanding engineering characteristics of domestic sands by examining standard sand and sand from Yokji Island and Nakdong River in terms of confining pressure, $K_0$, over consolidation and relative density factors through triaxial compression test. The test showed that deviator stress by strain positively changed as confining pressure and relative density grow while $K_0$ and over consolidation factors do not directly correlated with it. Angle of internal friction decreases as confining pressure increases which strengthens contact force between particles, and declines as relative density drops, whereas $K_0$ and over consolidation factors hardly affect the results. When it comes to volumetric strain, volume expansion decreases as confining pressure increase due to crushability and rearrangement of particles while $K_0$ and over consolidation shows same movement unconditionally, and relative density appears compressed as it grows at the beginning however it expands as axial strain increases. Modulus of elasticity ($E_{sec}$) by strain has tendency into convergence resulting in initial secant modulus of elasticity ($E_{ini}$) > secant modulus of elasticity($E_{sec}$) > tangent modulus of elasticity ($E_{tan}$). On the other hand, it grows as confining pressure and relative density increase while indicating similar modulus of elasticity ($E_{sec}$) regarding on $K_0$ and over consolidation. Slope of critical line (M) tended to decrease as confining pressure increases, follow same line according to $K_0$, confining pressure and relative density, and increase as relative density grows.

      • KCI우수등재

        평면 변형률 상태에서의 모래의 변형 강도특성의 구속압 의존성

        박춘식,타츠오카 후미오,장정욱,정성교,Park, Choon Sik,Tatsuoka, Fumio,Jang, Jeong Wook,Chung, Sung Gyo 대한토목학회 1994 대한토목학회논문집 Vol.14 No.3

        본 연구는 공중낙하법으로 만든 공기건조 상태의 일본의 표준사인 풍포사(豊浦砂)(Toyoura sand)와 영국의 표준사인 Silver Leighton Buzzard sand 공시체를 배수상태에서 평면 변형율 압축시험을 실시하여, 구속압이 모래의 변형 강도특성에 미치는 영향을 조사하였다. 축방향 변위와 수평방향의 변위는 변형율수준(strain level) $10^{-6}$에서 파괴상태까지를 연속적으로 구할 수 있는 장치를 사용하여 정도 높게 측정함으로써 미소변형에서 파괴상태까지의 응력 변형율 특성을 상세히 연구하였다. 그 결과, 극저구속압에서는 구속압이 작아져도 내부마찰각 ${\sigma}^{\prime}{_{max}}=arcsin\{({\sigma}{_1}^{\prime}-{\sigma}{_3}^{\prime})/({\sigma}{_1}^{\prime}+{\sigma}{_3}^{\prime})\}_{max}$가 급격히 크게 되지는 않아, Bolton의 경험식을 사용할 시는 어느 정도 구속압이 클 때만 적용 가능하다는 것을 알았다. 또, 모래의 강성률은 근사적으로 구속압의 m승에 비례하는데(G or $E{\propto}{\sigma}{_3}^{{\prime}m}$), 이때 m은 변형율수준 $10^{-4}$이하에서는 약 0.4 정도이고 변형율=$10^{-1}$에서는 $m{\fallingdotseq}0.9$ 정도이었다. 이러한 경향은 모래의 종류, 혹은 시험종류에 따라 거의 변화하지 않음을 알았다. 이것은 구속압이 작을수록 강성률의 변형율수준 의존성, 응력수준 의존성이 크게 되는 것과 대응한다. 끝으로, Rowe의 응력-다이러턴시 관계는 미소 변형율수준($10^{-4}$ 이하)에서 파괴까지 거의 직선적으로 성립하고, 구속압의 영향을 거의 받지 않는다는 것을 알았다.

      • KCI등재
      • KCI등재후보

        흡연이 기관지폐포세척액내 Fibronectin 의 생성에 미치는 영향

        박춘식(Choon Sik Park),정연태(Yun Tae Jung),이승원(Seung Won Lee),이문성(Mun Sung Lee),김영순(Young Soon Kim),이상무(Sang Moo Lee) 대한내과학회 1988 대한내과학회지 Vol.34 No.3

        N/A Fibronectin (FN) is a large, dimeric glycoprotein found in plasma, other biological fluid and tissues and has a function of important non-immune opsonin. Although the origin of plasma FN remains obsclear, it is synthesized by a variety of cultured cells including human alveolar macrophage, which can be activated by smoking. To evaluate the effect of smoking on FN production by alveolar macrophage, FN concentration was measured in serum and bronchoalveolar lavage (BAL) fluid of 10 smokers and the results were compared with those of non-smokers. 1) BAL FN concentration of smokers was not different from that of non-smokers, but the ratio of FN to albumin in BAL fluid was higher in smokers than in non-smokers (16.04±2.3 ug/mg-Alb vs 10.0±1.2 ug/ mg-Alb, p<0.025). 2) Serum FN concentration and the ratio of FN to albumin in BAL of smokers were not different from those of non-smokers (112.1±15.5ug/ml and 2.89±0.33 ug/mg-Alb vs 99.6±15.4 ug/ml and 2.82±0.44 ug/ mg-Alb, p>0.05). 3) The ratio of BAL fluid to serum-FN to Alb ratio [BAL(FN/Alb)/serum(FN/Alb)] was above 1.0 in smokers and non-smokers and was not different from between smokers and non-smokers (5.66±0.67 vs 4.64±0.98, p>0.05). 4) The concentration of BAL FN per 105 cells of alveolar macrophage had higher tendency in smokers than non-smokers and the correlation between BAL-FN concentration and number of alveolar macrophage was not significant (5.09±1.80 ug/105 cells vs 3.83±0.99 ug/ 105 cells, p>0.05. r=0.22, p>0.05). We conclude that FN is actively secreted into intra-alveolar lumen and smoking might affect FN production through alveolar macrophage activation.

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