http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
유기 박막 트랜지스터를 위한 유기/무기 이중 적층 유전막의 특성 연구
김홍승,도이미,백규하,이원재,정은수 한국물리학회 2006 New Physics: Sae Mulli Vol.53 No.4
The characteristics of an organic/inorganic double-stacked dielectric layer were investigated for organic thin-film transistors. The double-staked dielectric layer was composed of a TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ mixed film deposited by using PEALD (plasma-enhanced atomic-layer deposition) at room temperature on a PMMA (poly-methyl methacrylate) organic film. The TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ film showed a dielectric constant of 150 for an electric field of only 0.5 MV/cm. On the other hand, the PMMA kept an electric field of over 20 MV/cm with a dielectric constant of 2. The double-stacked dielectric layer showed a dielectric constant of 18 and kept an electric field of as much as 3-10 MV/cm, depending on the thickness of the PMMA. 유기 박막 트랜지스터의 성능 및 신뢰성 향상을 위한 유전체 형성을 위하여 유기/무기 이중 적층 유전막 구조의 특성에 대해 살펴보았다. PEALD (plasma enhanced Atomic layer deposition) 법으로 상온에서 증착한 TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ 나노 혼합 무기 박막과 PMMA (poly-methyl methacrylate) 유기 박막을 이중 유전체로 구성하였다. TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ 무기 박막은 150 정도의 높은 유전상수를 가졌으나 전기적 절연 효과가 0.5 MV/cm정도도 되지 않았다. 그에 비해 PMMA 절연막은 2 정도로 낮은 유전상수를 갖는 반면 20 MV/cm 이상의 절연효과를 보여주었다. 이 두 박막을 함께 유전체로 사용한 결과 PMMA 두께에 따라 3-10 MV/cm의 절연 세기와 18 정도의 유전상수 값을 가졌다.