단일 영상 분광 타원계측기 기반 다층 박막 분석 기술 연구

김진섭 조선대학교 대학원 2020 국내석사

Recently, precise film structures have become essential for integrated circuit (IC) and flat panel display (FPD) products because of their multi-functional purposes and compactness. In these products, thin films are deposited on a silicon or glass substrate with various materials and thicknesses for conductivity, insulation and packaging. For the successful operation and performance, film structure should be manufactured as designed. In addition, the measurement or inspection of the geometrical dimensions and material properties of film layers becomes an important issue in order to confirm their functional uniformity. Ellipsometry has been very important for the characterization of thin film structures as a non-destructive metrological tool. Comparing the measured quantities such as ellipsometric angles of ψ and Δ with their counterparts of theoretical model, ellipsometry can determine the thin film thicknesses with high sensitivity and even a spectroscopic ellipsometry (SE) provides the reliability and robustness of the measurement results with sufficient spectral data of ψ(λ) and Δ(λ). However, most of SE only measure film thicknesses at a single point of the interest and adopt polarization adjustment of the light by using rotation of polarizing optic elements or electrical phase modulation, which leads to time consumption. Imaging ellipsometry has capability of obtaining 3D or line profile of film thicknesses, but it still needs rotating mechanisms for the polarization changes. In this study, I propose two types of spectroscopic ellipsometers, a spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer and a polarization pixelated spectroscopic ellipsometer that can measure the multi-layered film thicknesses with a single image. The spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer can collect all information, necessary to characterize film structures, with a single image acquisition. Instead of using temporal phase retardation devices, a spatial phase retardation plate is used and an imaging spectrometer can obtain the intensity variations by polarization states and wavelengths. As an optical source, a broadband light is used and the light with a small beam size is linearly polarized by a linear polarizer. Then, the light is incident to a film specimen and reflected off with the polarization changes caused by the ratio of p-pol and s-pol waves. The reflected light passes through a beam expander and the large size of the light goes through spatial phase retardations by a spatial phase retardation plate (SPR), designed to provide the periodic phase retardation along a horizontal axis. The spatially phase retarded light passes through an analyzer and detected in an imaging spectrometer. Then, the imaging spectrometer only images one of the horizontal lines of SPR at the center and spectrally resolve this line. The horizontal axis of the image indicates the polarization changes caused by the periodic phase retardations while the vertical axis means the spectral axis. As the result, the intensity variations by various polarization states and wavelengths can be obtained at once in a single acquisition of the image. In the polarization pixelated spectroscopic ellipsometer, the ellipsometric parameters can be acquired by adopting a polarization-pixelated CMOS camera and an imaging spectrometer without any mechanical or electrical moving parts and their spectral and spatial profile are obtained with a single image. As a light source, a spatially coherent broadband light is used and the light beam size is enlarged by beam expander to fully illuminate the measurement line of a film specimen (S). The light beam goes through a 45° rotated polarizer and is incident to S with the semi-Brewster angle of S. The reflected beam from S passes through a 45° rotated quarter-wave plate and is incident to an imaging spectrometer through an imaging lens. Then, the spectral density is distributed along the vertical axis of the captured image while each spectral density set corresponding to the point on the measurement line is horizontally located at the image of a polarization pixelated CMOS camera (PCMOS). In PCMOS, an individual pixel of the image sensor has its own polarizer, oriented by 0°, 45°, 90°, and 135° while a (2⨯2 pixels) unit cell block is repeatedly arranged in whole imaging area. In this case, these four kinds of polarizers of the unit cell in PCMOS can act as a role of rotating an analyzer with a step of 45° under the assumption that the light obtained in the unit cell is from the same point on the measurement line and its wavelength is the same. Then, the whole image obtained by PCMOS can be split as four images according to polarizing angles and the ellipsometric information can be obtained by these polarization changes. Subsequently, the proposed system is equivalent to a number of rotating-analyzer type SE, and it can obtain the ellipsometric spectral data for the line at once with a single image only. In order to verify the spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometer and the polarization pixelated spectroscopic ellipsometer, single and multi layered film structures were used as specimens, and it was confirmed that multi-layered film thicknesses could be successfully obtained at a point and a line, respectively, with each single image.

정부의 주택공급정책과 주택 임차가구 보호에 관한 연구

김진섭 서강대학교 1994 국내석사

청주시 간판어 오류 실태 분석을 통한 국어 순화 방안 연구

김진섭 충북대학교 교육대학원 2016 국내석사

During this study, the researcher has found errors of signboard language, mainly in Cheung-ju, and investigated the signboards spelled wrong, which are not accordance with the language orthography. Also, errors in spells were analyzed in accordance with the rule, and were corrected. This study aims to seek and discuss a measure to purify the Korean language on the basis of the result of these analysis. For this reason, errors of signboards will be classified into four standards as follows : ‘over use of loanword’, ‘use of in-word and slang’, ‘vestige of Japanese language’, and ‘declaration error.’ With regard to ‘declaration error’, four rules - 「the rules of spelling of Hangeul」, 「the provision of the standard language」, 「standard of borrowed words」, and 「the Romanization standard of Korean words」 - are applied to analyze it. On the basis of the analysis to errors of signboards and declaration error, three major contentions will be discussed as follows; first, we need to realize the superiority of Hanguel and settle our identity. Second, we need to conduct a campaign to purify the Korean language, adding curriculum on Hangeul and the language orthography to schools’ language education. Third, we need to set up a national system to help purifying the Korean language.

월츠의 세 가지 이미지 이론에 의한 6·25전쟁 원인의 분석

김진섭 국민대학교 정치대학원 2017 국내석사

6・25전쟁의 원인에 대하여 기존 연구들은 대부분 책임론(기원론, 개전론, 복합론)에 중점을 두었다. 그래서 본 논문의 작성목적은 월츠의 세 가지 이미지 이론을 원용해 6・25전쟁의 원인을 고찰하고, 그 세 가지 이미지 가운데 어느 이미지가 가장 큰 영향을 미쳤는지 분석하기 위함이다. 탈냉전기 소련의 문서공개는 6・25전쟁의 원인을 연구하는 데 많은 변화를 주었으나, 기존 연구산물은 ‘책임론적’ 성격을 주장한 ‘전통・수정・후기수정주의’라는 틀을 벗어나지 못하는 한계가 있다. 따라서 본 논문은 현실정치의 설명력이 뛰어난 월츠의 세 가지 이미지 이론으로 6・25전쟁의 원인 연구에 관한 새로운 해석을 시도하였다. 월츠는 국제정치현상을 고찰하기 위한 기본 분석단위를 “개인, 국가, 국제체제”의 세 가지 이미지로 설정하였다. 첫 번째 이미지는 지도자의 성격이나 성향을 중심으로, 두 번째 이미지는 국가의 체제적 특성에 의한 분석이며, 세 번째 이미지는 무력을 독점하고 있는 정부가 없는 국제정치 현실에 초점을 맞춘 것이다. 이러한 세 가지 이미지 틀을 가지고 본 논문은 6・25전쟁의 원인 논쟁을 후기 수정주의 논의를 중심으로 분석하였다. 첫 번째 이미지는 ‘북한의 김일성’과 ‘남한의 이승만’을 중심으로, 두 번째 이미지는 ‘남북한 내전론’과 ‘중・소 음모론’을, 세 번째 이미지는 ‘미・소 양극체제하의 대립’, ‘미국의 남침 유도설’, ‘스탈린의 전쟁 주도설’ 등을 6・25전쟁의 원인에 영향을 미친 요소들로 선정하여 분석하였다. 이러한 이미지 분석틀은 6・25전쟁의 원인에 관한 냉전기의 주장을 탈냉전기 자료로 재평가하면서 역점을 둔 문제점은 다음과 같다. 소련의 세계전략과 미국의 봉쇄정책이라는 세 번째 이미지를 우선 고찰하지 않고는 6・25전쟁의 원인에 대한 객관적 파악하는데 제한되었다. 그 이유를 살펴보면, 첫 번째 이미지인 ‘김일성의 성향’과 ‘이승만의 성향’은 냉전기와 정권성립기라는 시대적 배경과 세 번째 이미지 요인을 간과한 것이 문제점이었다. 두 번째 이미지의 대표적인 주장인 남북한 내전론이 가졌던 오류 역시 세 번째 이미지에 대한 설명보다 나머지 요인들에 대하여 역점을 둔 분석이었다. 6・25전쟁 이전 ‘남북한 국경분쟁’이 중단될 수 있었던 이유가 스탈린의 명령이었으나, 내전론자들은 그러한 사실을 무시하였다. 세 번째 이미지에 의한 전쟁의 원인을 설명하였던 ‘미국의 남침 유도설’ 역시 한 측의 주장만을 중심으로 고찰하거나 문서에 의한 근거가 아닌, 당시 시대적 상황에 맞추어 주관적인 해석을 한 것이 문제였다. 따라서 본 논문에서는 월츠의 세 가지 이미지 분석틀을 통해 6・25전쟁의 원인을 고찰하는 것은 기존연구가 잘못된 해석의 오류를 교정할 수 있었다는 점에 객관적 분석틀과 공개된 문서 사용의 중요성이 다시 부각될 수 있었다. 6・25전쟁의 원인을 분석하였을 때, 첫 번째 이미지인 ‘김일성의 남침론’의 주장에 따른 책임론이 현재까지 주도적인 학설로 혹은 주장으로 알려졌다. 그러나 본 논문의 작성목적에서 밝힌 첫 번째 이미지보다 6・25전쟁의 발발은 중국의 지원과 미・소의 냉전 체제하에서 스탈린의 주도로 첫 번째 이미지인 김일성으로 하여금 불법적으로 기습 남침하도록 승인하였던 것이다. 이를 뒷받침 하는 주장으로 울람(Adam Ulam)은 김일성보다 스탈린에 더 비중을 두어 6・25전쟁을 설명하였는데, 그는 “달리기 선수들이 출발선에서 웅크리고 있는 것으로는 경주가 시작되는 것이 아니라, 심판이 출발을 선언해야 시작되는 것”이라는 비유로 스탈린이 전쟁에서 주도적 역할을 하였음을 강조하였다. 또 영화 촬영에 비유하면, 스탈린은 영화감독이고, 김일성은 주연배우이며, 마오쩌둥은 조연배우라 할 수 있다. 본 논문의 자료를 분석하는 과정에서 소련・북한・중국이 6・25전쟁의 결정에 관한 대화록을 분석하다보니 그들의 성향이 전쟁에 미친 영향이 매우 크다는 사실을 알 수 있었다. 6・25전쟁이 김일성에 의해 불법적으로 기습 남침한 사실로 취급하면, 첫 번째 이미지가 전쟁의 주도적인 원인으로 착각할 수 있다. 본 논문연구를 통해 김일성의 기습남침을 부정하는 것이 아니라, 주도적인 역할은 세 번째 이미지인 스탈린이 6・25전쟁을 주도하였다. 이와 같이 원용된 월츠의 세 가지 이미지 분석틀을 통해 6・25전쟁의 원인을 고찰하는 것은 미국과 소련의 냉전체제를 종합적으로 이해에 큰 도움이 되는 동시에 전쟁의 원인들이 서로 연계된 사실을 알게 해 주었다. 또한 6・25전쟁의 원인에 대한 기존 주장도 중요하지만 한반도를 중심으로 주변 국가들의 정책을 통해 올바른 이해와 향후 사건해결에 큰 도움이 될 것이다.

개혁교회의 교리적 표징에 관하여

김진섭 서울장신대학교 일반대학원 2017 국내석사

이 논문을 통해서 개혁교회 또는 장로교회가 지닌 고유한 진리인식을 고찰하도록 한다. 개혁교회의 교리의 발전과 쇠퇴의 원인을 살피도록 한다. 그리고 개혁교회가 현재의 침체나 오류를 벗어나기 위한 방안도 가능한 한 모색 한다.

패치 임베딩과 데이터증강을 이용한 단일 클래스 분류기반 이상치 탐지

김진섭 서강대학교 일반대학원 2024 국내석사

이상 탐지(Anomaly detection)란 주어진 특정 데이터 분포에서 다소 벗어난 형 태의 데이터 패턴을 찾아내는 것을 목표로 연구하는 학문이다. 이상 탐지는 질병을 예측하거나, 사기 거래 및 네트워크에서 발생하는 이상 징후를 탐지, 불량품을 조기 선별하는 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 사람은 이상을 탐지할 때 기억을 사용한다. 정상적인 데이터 패턴을 기억하고 추 후 입력된 패턴이 정상에 벗어나는 패턴이라면 이를 비정상 데이터라고 분류하게 된다. 이러한 사람의 이상탐지 방법을 응용한 기법으로 메모리뱅크가 있다. 이는 정 상 데이터 패턴을 메모리뱅크에 저장해 두고 추론 시 얼마나 유사한지를 거리로 판 단하여 이상탐지를 수행한다. 메모리뱅크를 활용한 대표적인 이상탐지 방법으로 패 치코어(Patchcore)가 있다. 이는 이미지 넷으로 사전 학습한 심층신경망을 활용하 여 특징 맵을 추출하여 임베딩하고 이를 메모리뱅크에 저장하여 이상치탐지에 사용 한다. 이 방법은 MVTec-AD 데이터 셋에서 매우 높은 성능을 보여주고 있다. 하지만 이 방법에는 두 가지 문제점이 있다. 첫 번째 문제점으로 추론이 오래 걸 린다. 메모리뱅크 기반 이상탐지는 유사도 측정을 위해 거리 계산을 수행하기 때문 이다. 두 번째 문제점은 정상 임베딩 벡터간의 분산이 크다. 그 이유는 임베딩 벡터 를 추출할 때 사용하는 심층신경망 모델은 일반 이미지로 학습되었는데 이는 사용 하고자 하는 산업 이미지와는 다른 특징을 갖기 때문이다. 본 논문에서는 언급한 문제점을 개선하기 위하여 단일 클래스 분류 기반의 이상 치 탐지 방법을 제안한다. 이미지 넷으로 사전 학습한 심층신경망을 활용하여 생성 한 임베딩 벡터의 표현을 산업 데이터에 적절하도록 변환하기 위해 표현 계층을 추 가하였다. 그리고 Patch-Exchange와 Patch-Cutpaste라는 비정상 데이터 생성 기법을 활용하여 비정상 데이터를 생성하고 이를 다중 클래스 분류라는 프록시 태 스크로 모델을 생성한다. 그리고 그 모델에 단일클래스 분류를 적용하여 이상탐지 를 수행한다. 제안하는 방법은 MVTEC-AD에서 패치코어와 비슷한 성능을 보여주 었으며, 매우 빠른 추론 성능을 보여주었다. Anomaly detection refers to the field aimed at identifying data patterns that deviate somewhat from a given specific data distribution. Anomaly detection is widely used for predicting diseases, detecting fraudulent transactions and abnormal signs in networks, and early screening of defective products. Humans can detect anomalies through memory. If one remembers normal data patterns, any subsequent altered data patterns can be classified as anomalies. This memory based approach is known as memory bank based anomaly detection. It involves storing normal data patterns in a memory bank and determining the similarity during inference by calculating the distance. A representative anomaly detection method using a memory bank is PatchCore. PatchCore utilizes a pre-trained model on ImageNet to extract feature maps in patch units, storing these into a memory bank to detect anomalies. It has shown very high performance on the MVTec-AD dataset. However, this method has two issues. First, inference takes a long time due to the memory bank-based anomaly detection relying on distance. Second, the dataset that generated the pre-trained model, ImageNet, consists of general images, which differ from industrial datasets like MVTec-AD. This difference causes a distribution spread in normal features extracted from the same location, leading to significant deviations among normal product images. In this paper, to improve upon the aforementioned issues, we propose an anomaly detection method based on one-class classification. By training the embedding vectors generated from a pre-trained model with Patch SVDD method, we reduced the variance among similar patch features. We also propose anomaly data augmentation techniques called Patch-Exchange and Patch-CutPaste. Using these and a model trained with multi-class classification of normal training images, we performed anomaly detection. This method demonstrated similar performance compared to memory bank-based methods on the MVTec-AD dataset and achieved significantly faster inference performance.

비배수전단강도 변화에 따른 압입식경량강재앵커와 중력식앵커의 인발거동특성 비교

김진섭 충북대학교 2012 국내석사

Uplifting force affecting anchor fixed in floating structure increases. when external force like sea-wave force acts on floating structure. The anchors situated in seabed are divided into drag anchor, gravity anchor and buried anchor. However, these anchors have several disadvantages regarding constructibility and economical efficiency. In this study, in order to improve those disadvantages, the characteristics of pullout behavior for pressurized light-weight steel anchor was examined as well as gravity anchor which can be designed and constructed easily.

생활체육 참여에 미치는 세대 효과 : 국민생활체육조사를 중심으로

김진섭 서울대학교 대학원 2024 국내석사

본 연구는 ‘국민생활체육조사’의 2012년, 2017년, 2022년 5년 주기 3개 년도 자료를 바탕으로 세대별 생활체육 참여 행태의 차이를 실증적으로 분석한 것이다. 1차 분석에서는 렉시스 다이어그램(Lexis Diagram)을 활용하여 생활 체육 참여 양상을 크게 체육시설, 동반 참여자. 참여 종목, 체육경비의 네 가지 항목을 기준으로 성별, 연령 세대별로 어떠한 차이가 있는지 큰 흐름에서 분석한다. 2단계 분석은 1단계 분석을 통하여 발견된 특징적인 세대 간의 차이가 세대 효과에서 기인한 것인지 알아보기 위해 연령별, 5세 구간별로 빈도분석과 다항 로지스틱 회귀분석을 진행한다. 연구 결과, M세대의 높은 체육활동 지출과 민간체육시설 이용률은 M 세대의 특징이 아닌 20~30대의 연령 특성이며, 세대 간의 이용 체육시설 의 차이는 통계적으로 유의한 차이가 도출되지 않았다. 또한 베이비부머 2세대가 생활체육에 혼자 참여하는 비율이 낮은 세대 특성이 1단계 분석 에서 나타났으나, 2단계 분석에서 그 차이는 통계적으로 유의하지 않은 것으로 나타났다. 남녀 인기종목 상위 4개 항목에서는 남성의 보디빌딩 (헬스) 종목을 제외하고는 연령 효과가 지배적임을 확인하였다. 본 연구는 단일 연도로 생활체육 참여 양상을 분석한 기존의 세대 연 구들과 다르게 다년도의 비교를 하였다는 점, 대부분의 신체활동 연구에 서 사용하는 연령 기준이 아닌 세대 기준을 사용하여 코호트별 생활체육 참여 특성을 분석하였다는 점에서 의의가 있다. 또한 본 연구 결과는 성 별, 세대별로 다양한 집단의 생활체육 패턴을 파악하여 앞으로의 신체활 동 관련 후속 연구에 학술적으로 기여하고, 체육 정책 수립 등 밑바탕이 될 자료를 제공할 수 있을 것으로 기대된다. 주요어 : 세대, 생활체육, 렉시스 다이어그램, 운동행태 This study empirically analyzed differences in participation behavior in daily exercise by generation based on data from the ‘National Sport Participation Survey’ for three years in a five-year cycle: 2012, 2017, and 2022. The primary analysis utilizes a Lexis Diagram to analyze participation in physical activity in four broad categories: facilities, participants with whom they participate. . participation in sports, and expenditures on sports, and analyzes how these four categories differ across gender and age groups. In the second stage of analysis, frequency analysis and multinomial logistic regression analysis are conducted by age group and five-year intervals to determine whether the characteristic generational differences found in the first stage of analysis are due to generational effects. The study found that Generation M's higher spending on daily exercise and use of private gyms is not characteristic of Generation M, but rather of those in their 20s and 30s, and that no statistically significant differences in gym use were found between the generations. The study also found that Baby Boomers 2 were less likely to participate in physical activity alone in the first stage analysis, but the difference was not statistically significant in the second stage analysis. For the top four most popular sports for men and women, we found that age effects dominate, except for bodybuilding (fitness) for men. This study differs from existing generational studies that analyzed participation patterns in physical activity in a single year in that it compared multiple years. It used generational standards rather than the age standard used in most physical activity studies to determine physical activity participation by cohort. It is significant in that it analyzed participation characteristics. In addition, the results of this study are expected to contribute academically to future follow-up research on physical activity by identifying the physical education patterns of various groups by gender and generation, and provide data that will serve as a basis for establishing sports policies. keywords : Generaion, Daily Exercise, Lexis Diagram, Exercise Behavior

유한요소법을 이용한 네트워크 장비 구조물의 내진 해석

김진섭 忠南大學校 大學院 2006 국내석사

Mobile communication that most people are using today as communication means, are available due to the Base Transfer Stations which mobile communication companies installed on the top of buildings or mountains. Antennas and network equipments usually installed outside are under restrictions of space and can be easily damaged by external natural harassments. In order to minimize the loss of life from malfunctions or misbehavers of the network equipments from the earthquake, the structural stability of the network equipments should be secured. The purpose of this thesis is to check the structural safety of the network equipments by performing the static and dynamic finite element analysis. First, the accurate finite element model is constructed since the accuracy of the analysis results depends on the accuracy of the model. For this, the stiffness of electric modules are adjusted manually. Then, the stress and displacement of structures are evaluated by the static method and results are checked whether to satisfy the design requirement conditions. The deformation and stress are all satisfied and the accuracy of the finite element model could be acceptable. By performing frequency dynamic analysis, computed natural frequencies are similar to the results of experiment. So the model could be used for the response spectrum analysis where experimental acceleration value at each frequency are used as seismic input excitation. It is shown that the analysis results are a little bit larger than that of the experimental values. Also sensitivity analysis for the natural frequency and optimization are performed where design variables are the stiffness of the beam and plate compartments. The first natural frequency is very sensitive to the stiffness as shown in the results. Through the thesis, it is shown that the stability of network equipment structures can be confirmed by the finite element method, sensitivity analysis and optimization. And the most important thing is how to construct the correct finite element model to match the real physical model and experimental results, and such work is processed in this thesis. 현재 대부분의 사람들이 통신수단으로 이용하고 있는 이동통신은 각각의 개별 이동통신사에서 야산 및 건물의 옥상에 설치된 기지국을 운용함으로써 사용되고 있다. 따라서, 기지국에 포함된 통신 안테나 및 네트워크 장비들은 설치장소의 제약으로 인해 지진을 포함한 외부환경에 쉽게 노출되어 자연환경의 영향을 받기 쉽다. 또한 선상에 설치되는 통신기기 역시 험한 해양환경과 유사시 안정성 확보를 위해서는 인위적 극한 충격에 대한 내충격 기본설계가 확보되어야 한다. 지진이 발생했을 경우 피해 규모를 줄이기 위한 구조물의 안정성 확보가 절실히 필요하며, 또한 사고 후 통신 두절로 인한 인명의 피해를 줄일 수 있는 방안이 강구되어야 한다. 따라서, 지진 발생에 의한 네트워크 장비의 비정상 작동으로 인하여 인명의 피해가 최소화 되도록 장비 설계시 구조적 안정성을 반드시 고려해야만 한다. 따라서 본 논문에서는 네트워크 장비에 대한 유한요소해석을 수행하여 장비의 안정성 여부를 판단하였는데 물리적 현상과 비교될 수 있게 정확한 수치 모델 즉 정확한 유한요소를 만드는 경험이 본 논문 연구를 통해 축적되었다. 먼저 정적해석을 통하여 구조물의 응력 및 변형을 평가하고 제시된 장비의 설계 제한조건을 만족함이 확인되었다. 모드해석으로 구조물의 동적특성을 파악하고 지진하중에 대한 응답 스펙트럼 해석을 통하여 구조물의 안정성 및 신뢰성을 평가하였는데 역시 제시된 설계제한 조건이 만족되었다. 또한 구조물의 설계민감도 해석으로 최적설계대안도 제시하며 응답 스펙트럼에 대한 재해석까지 병행 하였다. 본 연구를 통하여 네트워크 장비 구조물의 동적 특성 및 지진하중에 대한 안정성 여부를 파악할 수 있었으며 향후 장비의 설계변경 등으로 인하여 발생되는 구조물의 거동을 미리 예측할 수 있게 되었다.

a-IGZO TFT에서 illumination stability mechanism 및 memory로의 적용 연구

김진섭 忠南大學校 大學院 2015 국내석사

In this paper,The amorphous indium-gallium zinc oxide thin film transistors (a-IGZO TFTs) with different oxygen flow rate and different Post Deposition Annealing (PDA) temperature was fabricated to clarify the effect of oxygen interstitial and vacancy on the VTH degradation under the illumination. Additionally, the amorphous indium-gallium zinc oxide thin film transistors (a-IGZO TFTs) with nanoparticle (NP) embedded in IGZO channel layer was studied for the memory applications.