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MWPECVD法에 의한 H₂-CH₄-O₂계로 부터의 Diamond合成
구효근,이임숙,박상현 경남대학교 신소재연구소 1995 論文集 Vol.5 No.-
마이크로파 플라즈마 기상합성법으로 CH₄-H₂-O₂의 혼합가스로부터 실리콘 기판 위에 다이아몬드 박막을 성장시켰다. 가스 조성비에 따른 박막과 입자의 표면형태, 성정율 및 막의 질을 SEM, XRD 및 Raman 분광기로 조사하였다. 그 결과 CH₄-H₂화합가스에 산소를 첨가함에 따라 어떤 조건하에서는 막의 질과 성장률이 증가하였다. Diamond thin films deposited on Si substrate from CH₄-H₂-O₂gas mixtures were investigated by microwave plasma chemical vapour deposition. The surface morphology of films and particles, the deposition rate and the films quality(SEM. XRD and Raman spectroscopy) were measured as function of gas composition. The results demonstrate that the addition of oxygen to CH₄-H₂gas mixtures can under certain conditions improve the film quality and increase the deposition rate.
진입부속도 및 상충관리를 통한 회전교차로 통합평가방법론 제시
구효근 ( Koo Hyo-gern ),유병우 ( Yoo Byung-woo ) 한국도로교통공단 2012 교통안전연구 Vol.31 No.-
회전교차로는 안전성, 운영효율성 등의 측면에서 신호교차로에 비해 더 우수한 점을 가지고 있다. 그러나 아직 국내에는 회전교차로의 특성과 운영방식에 대한 인식부족으로 사고발생 등의 문제가 발생하고 있다. 따라서 본 연구의 목적은 회전교차로의 기하구조 변경과 표지 설치를 이용한 진입부 속도관리 및 자동차 상충관리를 통해 교통사고 발생확률을 낮춤으로써 이용자들이 안전성확보방안 제시를 목적으로 한다. 본 연구에서는 진입부 속도관리방법으로 표지판의 거리 및 S자도로의 유무를 통해 4가지 시나리오를 설정하였다. 분석구간에 대한 VISSIM 및 SSAM 시뮬레이션을 통해 수집된 자료를 활용하여 간접평가를 수행하였다. 차량평균지체 및 평균속도를 이용한 운영효율성 평가와 상충건수, Delta S, 진입속도, 회전 속도를 활용한 안전성 평가를 수행하여 통합분석방법론을 제시하였다. 분석결과 운영효율성과 안전성을 모두 고려했을때 회전교차로에서 100m거리에 진입부에 S자도로를 설치한 경우가 가장 우수한 시나리오로 분석되었다. 그러나 S자 도로는 넓은 도로폭이 요구되므로 부득이한 경우 전방 50m에 표지판을 설치하여 감속을 유도하는 방안 또한 유리할 것으로 판단된다. 본 연구는 회전교차로의 운영효율성 및 안전성을 종합적으로 평가가 가능한 통합평가방법으로써 시설물 설치 전 예비타당성 조사 등 교통시설 계획시 활용될 것으로 판단된다.
MWPECVD에 의한 박막의 합성과 방사선 검출 특성에 관한 연구
구효근(Hyo-Geun Koo),이덕규(Duck-Kyu Lee),송재흥(Jae-Heung Song),노경석(Kyung-Suk Noh),박상현(Sang-Hyun Park) 대한방사선과학회(구 대한방사선기술학회) 2004 방사선기술과학 Vol.27 No.2
방사선검출기에 시용되는 다이아몬드는 그 비저항이 10^12[Ωm]로 ao우 크기 때문에 고전압 하에서도 누설전류가 매우 작아 실리콘과 달리 p-n 접합을 하지 않고 바로 고전압을 걸 수 있는 이점이 있다. 또한 절연파괴 전압이 매우 크기 때문에 이동속도가 포화되는 전압까지 올릴 수 있다. 이 결과 다이아몬드 내에서의 전하 이동속도는 실리콘의 최대속도보다 약 20배 정도 빠르다. 200[㎛] 두께의 박막을 통해 전하가 모두 수집되는 시간은 불과 1[ns] 정도이다. 이상과 같이 독특한 다이아몬드의 성질을 이용하여 방사선검출기에 사용되는 물질로 파고계수형 전리조나 분광계, 열형광선량계, 형광검출기 그리고 핵방사선검출기 등에 사용된다. 본 연구에서는 마이크로파 플라즈마 CVD법으로 CH₄-H₂-O₂계로부터 몰리브덴기판 위에 100시간 동안 성장시킨 결과 약 100[㎛]의 두께를 가진 결정성이 좋은 방사선검출기용 다이아몬드막을 성장시킬 수 있었고, X-선 방사선량에 따른 방사선검출기의 전류파형을 측정한 결과 방사선량에 따라 전류가 증가됨을 알 수 있었다. Synthesis diamond films have been deposited on the molybdenum substrates using an microwave plasma enhanced chemical vapor deposition method. The effects of deposition time, surface morphology, infrared transmittance and Raman scattering have been studied. Diamond deposited on molybdenum substrate for 100 hours by MW plasma CVD from CH₄ - H₂ - O₂ gas mixture had good crystallity with 100[㎛] thickness needed for radiation detector. Diamond radiation detector of M-I-M type was made and the current of radiation detector was increased by increasing X-ray dose.
이동환,김철,구효근,엄근희,이정환,이익모 대한화학회 2011 Bulletin of the Korean Chemical Society Vol.32 No.6
A series of Ni(II) and Pd(II) complexes bearing N4-type tetradentate ligands, [Ni(X^1X^2-6-Me_2bpb) 1] and [Pd(X^1X^2-6-Me_2bpb) 2]; 6-Me2bpb = N,N'-(o-phenylene)bis(6-methylpyridine-2-carboxamidate), X^1 = Cl, H,or CH_3, X^2 = NO_2, Cl, F, H, CH_3, or OCH_3) were designed, synthesized, and characterized to investigate electronic and steric effects of ligand on the norbornene polymerization catalysts. Using modified methylaluminoxanes as an activator, the complexes exhibited high catalytic activities for the polymerization of norbornene and the nickel complexes exhibited better catalytic activity the palladium complexes. Ni complex 1a with NO_2 group on the benzene ring showed the highest catalytic activity of 4.9 × 10^6 g of PNBEs/molNi · h and molecular weight of 15.28 × 10^5 g/mol with PDI < 2.30. Complexes with electron-withdrawing groups are more thermally stable (> 100 °C), and tend to afford higher polymerization productivities than the ones having electron-donating groups. Amorphous polynorbornenes were obtained with good solubility in halogenated aromatic solvents. A vinyl addition mechanism has been proposed for the catalytic polymerization.