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Aizaki, N.,Ohfuji, T.,Yoshino, H. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
Characterization of the Effects of Partial Coherence and Numerical Aperture on Isolated Dense Lines
Krisa, W. L.,Garza, C. W.,Yen, A.,Bennett, B. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
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Frazier, G. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
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Pang, S.-L.,Wang, J.-L.,Cheng, P.-C.,Liu, J.-S. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
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Charles, A.,Chandon, Y.,Capilla, J. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
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Rose, J. D. OCG 1994 INTERFACE -PROCEEDINGS - OCG MICROELECTRONIC MATER Vol.11 No.-
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