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스테인레스 스틸 고진공용기에 부착된 열음극 전리진공게이지의 주변 온도변화에 따른 압력요동
홍승수(S. S. Hong),임인태(I. T. Lim),신용현(Y. H. Shin),정광화(K. H. Chung),이치로 아라카와(Ichiro Arakawa) 한국진공학회(ASCT) 2004 Applied Science and Convergence Technology Vol.13 No.2
스테인레스 스틸로 가공된 진공용기에 제조회사와 사양이 각각 다른 세 개의 열음극 전리진공게이지를 부착하고 실험실 온도변화에 따른 게이지들의 압력요동 특성을 조사하였다. 상온 근방의 최소 20℃와 최대 26 ℃에서의 압력 편차는 각각 IG1은 5.0%, IG2는 5.3 %, 그리고 IG3은 10.3%이었다. 그러나 온도 21.5℃에서 22.5℃ 구간에서의 압력변화는 모두 게이지들의 불확도 보다 작고 안정한 성능을 보였다. 본 연구결과 상온 고진공에서 열음극 전리진공게이지의 압력변화는 게이지 자체의 특성 때문에 아니고 실험실 온도 때문에 변화는 압력변화에 기인한 것임을 알 수 있었다. Three hot cathode ionization gauges (HCIG) were used to study their responses of pressure measurements at the stainlee steel high vacuum (HV) chamber around room temperatures. The pressure variations of HV measured by the three HCIGs between 20 ℃ and 26 ℃ were 5.0 %, 5.3 %, and 10.3 %, respectively. However, pressure differences between 21.5 ℃ and 22.5 ℃ were lower than the gauges uncertainly limits. The pressure variations of the HCIGs at the<br/> HV chamber was not directly affected by gauge characteristics, but pressure changes due to room temperatures.