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운반기체가 텅스텐 박막의 물성에 미치는 영향
이시우(H.-S. Choi),최희석(S. Rhee) 한국진공학회 1993 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-
저압 화학증착에 의한 텅스텐 박막의 층덮힘
이시우(S . Rhee),이청(C .Yi),이건홍(K . H . Lee),박상규(S . K . Park) 한국화학공학회 1991 추계학술발표논문집 Vol.- No.-
텅스텐 박막의 층덮힘에 대한 조업변수의 영향
최희석(H.-S. Choi),이청(C. Yi),이시우(S.Rhee),박상규(S.-K Park) 한국진공학회 1992 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-
텅스텐의 저압 화학증착에서 운반기체 영향
최희석(H . S . Choi),이시우(S . W . Rhee),박상규(S . K . Park) 한국화학공학회 1992 추계학술발표논문집 Vol.- No.-
연구발표초록 ( 재료 (Ⅱ) ) : 기판이 경사진 수평형 저압 화학증착 반응기 내에서의 실리콘 증착에 대한 전산모사
이주형 (학),이시우 (정),문상흡 (정) ( Ju H . Lee,S . Rhee,Sang H . Moon ) 한국화학공학회 1990 추계학술발표회 Vol.- No.-
Monte Carlo 법을 이용한 저압화학증착 공정에서의 미세박막 증착패턴에 관한 전산모사
윤종호(Jong-Ho Yun),박상규(Sang-Kyu Park),이시우(S. Rhee) 한국진공학회 1994 한국진공학회 학술발표회초록집 Vol.- No.-
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