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신완선,이규석,김세태 대한산업공학회 2009 대한산업공학회 추계학술대회논문집 Vol.2009 No.10
본 논문은 품질문화 수준진단에 대한 설문조사 설계와 분석 과정을 소개한다. 품질문화 진단에 필요한 범주 설정, 세부요소 도출, 인과모형 정립 등에 초점을 맞춘다. K회사를 대상으로 실시된 설문조사를 바탕으로 인과모형의 적용 결과와 분석 방안을 구체적으로 설명한다. 또한, 사례분석을 통해서 파악된 품질문화 수준진단의 성공요소도 제시한다.
NH4OH - H2O2 - H2O 혼합액을 이용한 GaAs 의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 시각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법
김종팔(Jong Pal Kim),박상준(Sang Jun Park),백승준(Seung Joon Paik),김세태(Se Tae Kim),구치완(Chi Wan Koo),이승기(Seung Ki Lee),조동일(Dong Il Cho) 한국센서학회 2001 센서학회지 Vol.10 No.5
In this research, we investigate wet-etching properties of GaAs in NH₄OH-H₂O₂-H₂O, and develop the fabrication method of GaAs microstructures with rectangular cross section using (001) GaAs substrate. For obtaining wet-etching properties with respect to crystallographic orientation, the etch rates and cross-section etch profiles of (001) GaAs with 16 different compositions and the undercut rates with 5 different compositions are measured using NH₄OH-H₂O₂-H₂O mixed solutions. From these experimental data, a new GaAs micromachining method in bulk (001) GaAs is proposed, and used to fabricate a released microbridges with a rectangular cross section. The developed GaAs micromachining method can be very useful for low-less, highly-tunable capacitors for RF components and for integration with GaAs optical components.