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    四重極 質量分析器(QMS)를 利用한 部分壓 測定 및 眞空 特性評價 = Partial pressure measurement and evaluation of vacuum characteristics using quadrupole mass spectrometer

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    https://www.riss.kr/link?id=T7756242

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    목차 (Table of Contents)

    • 제 1 장 서 론 1
    • 제 2 장 사중극 질량분석기(QMS)를 이용한 부분압 측정 3
    • 제 1 절 부분압 측정기술 3
    • 제 2 절 부분압 측정 장치의 구조와 원리 7
    • 제 3 절 사중극 질량분석기의 교정 및 동작특성연구 35
    • 제 1 장 서 론 1
    • 제 2 장 사중극 질량분석기(QMS)를 이용한 부분압 측정 3
    • 제 1 절 부분압 측정기술 3
    • 제 2 절 부분압 측정 장치의 구조와 원리 7
    • 제 3 절 사중극 질량분석기의 교정 및 동작특성연구 35
    • 제 4 절 소결 57
    • 제 3 장 사중극 질량분석기를 이용한 진공 특성평가 58
    • 제 1 절 진공 특성 평가의 필요성 58
    • 제 2 절 TDS를 이용한 진공재료 평가 60
    • 제 3 절 스테인레스 스틸재료의 탈가스(outgassing) 측정 66
    • 제 4 절 TDS를 이용한 반도체 재료의 오염 분석 86
    • 제 5 절 TDS를 이용한 CRT 공정 평가 110
    • 제 6 절 소 결 127
    • 제 4 장 결 론 129
    • 참고문헌 132
    • Abstract 136
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